【課題】フォトマスクを基板に接触させる際の、フォトマスクの横方向のずれを極力小さくする。
【解決手段】表面に感光層が形成された基板１を基板支持台１７上に保持する。パターンが描かれたフォトマスク６を、基板１を覆う位置に保持する。基板支持台１７上に基板１を保持する。基板１を覆う位置にフォトマスク６を保持し、基板１とフォトマスク６との間に、開放された周囲を有する空間２７を形成する。空間２７内の空気を外方へ導くための空気流を基板１の周囲に生じさせ、それによって空間２７内を負圧にさせる。空間２７内が負圧になることにより、フォトマスク６は基板１１上に接触する。 （もっと読む）

【課題】基板と第１フォトマスクと第２フォトマスクとを高精度に位置合わせする。
【解決手段】フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２の対応位置にある３つの位置合わせマーク２２，２５，２６ＣＣＤカメラで同時に読み取り、この読み取った画像からのマーク位置情報に基づき、フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１との間、及び、フレキシブル基板１０と第２フォトマスク１２との間の各相対的位置を調整して位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】基板１６の前端に仮付けした連続フィルム１４の先端に張力が加わり、フィルム１４が外れたり、基板１６が反ってしまうのを防止する。
【解決手段】連続フィルム１４は、一対の圧力ロール２３，２３’間で基板１６上にラミネートされる。仮付け部材１０は、連続フィルム１４を吸着保持して、基板１６に向かって移動可能である。仮付け部材１０の移動は、精密制御可能な独立した駆動装置によって行われる。駆動装置は、仮付け部材１０に対して、フィルム張力緩和のための第１段階の移動と、カッター２４によるフィルム切断のための第２段階の移動とを実行させる。仮付け部材１０は、駆動装置からの力を伝達するチェーン３の端部にて懸垂されている。 （もっと読む）

【課題】 ランプに代わる発光源として複数の面発光素子を用い、この面発光素子と光学系とを用いて高出力の平行光露光用光源を提供する。
【解決手段】 基板１に実装された複数の面発光素子から発する光を発光源として用い、この光を該面発光素子に接近して配置された光学多角柱３の端面から入射させ、光学多角柱３によって照度を均一化する。光学多角柱３の他の端面から出射する光９を、レンズ４によって集光させて曲面ミラー５に照射し、曲面ミラー５によって平行光１１に変えられて、フォトマスク６に平行光１１が照射される。フォトマスク６に照射された平行光１１によってフォトマスク６に描かれたパターンを基板７上に形成された感光膜に転写する露光を行なう。 （もっと読む）

【課題】 基板の垂れが発生せず基板にしわがよらず、高い品質と生産性のよい帯状基板を製造する。
【解決手段】 露光装置１は、帯状基板９をその長手方向に沿って間欠的に送りながら、該帯状基板を所定長さ領域ごとに露光する。感光材が付着された露光面を有するフレキシブルな帯状基板９は、送り駆動装置２３、２５によって、繰り出し用ロール７を有する繰り出し部と、巻き取り用ロール１５を有する巻き取り部との間を移動する。前記繰り出し部と前記巻き取り部との間には、垂直経路部が形成されている。前記垂直経路部には露光部が設けられている。露光部は、フォトマスク４１、４３を有する。フォトマスクに描かれたパターンは、光学系装置４５の光源４７の光５１によって帯状基板の露光面に転写される。前記繰り出し部と前記巻き取り部のうち一方が前記露光部の上方部に、他方が下方部に設けられている。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクを通して基板に照射される光を高精度な平行光とする。
【解決手段】露光用光源Ｕは、半導体レーザ１と、光学系７とを備える。光学系７は、第一レンズ群３と、光学多角柱４と、第二レンズ群５とを含む。半導体レーザ１から発する光２は第一レンズ群３によって光学多角柱４の入射面に集光される。光学多角柱４によって照度を均一化されて出射した光は、第二レンズ群５によって平行光６に変換され、フォトマスク８を通して基板１１に照射される。 （もっと読む）

【課題】基板を搬送する途中で、新たな駆動力源を必要とすることなく、基板を反転させる。
【解決手段】基板反転装置は、互いに向き合うように配置された第１および第２のユニットを含む。それぞれのユニットは、台車１，１’と、台車に取り付けられた基板支持部材２，２’と、基板支持部材に設けられたローラ１０，１０’と、ローラとの間でカム作用を行うようになされている固定カム板１１，１１’とを備えている。台車１，１’が移動して、ローラ１０，１０’とカム板１１，１１’とがカム作用を行うと、基板支持部材２，２’は、水平位置と垂直位置との間を枢動する。第１および第２のユニットのそれぞれにおける基板支持部材２，２’が双方とも垂直位置をとって向き合ったときに、一方の基板支持部材２に支持された基板６が他方の基板支持部材２’と接触し、双方の基板支持部材２，２’間で基板６の受け渡しが行われるようになされている。 （もっと読む）

【課題】小型軽量で信頼性の高い走査型露光用光源ユニットを提供する。
【解決手段】走査型露光用光源ユニットは、基板上の露光面に対して平行に相対移動をしながら露光面に光を照射する。光源ユニットは、複数の光源を備える。複数の光源は、相対移動の方向を横切る方向に沿って配列される。各々の光源は、発光ユニット１を含む。発光ユニット１は、少なくとも一つの半導体面発光素子５を有する。複数の半導体面発光素子５を六角形に集合させ、発した光を光学六角柱６に入射させると、照度が均一な六角形の照射領域が露光面上に得られる。 （もっと読む）

【課題】 少ない照射光学系によっても、効率よく描画することが可能な直接描画方式の露光方法を提供する。
【解決手段】 細い照射幅に対応する複数のＸ軸方向に長い形状の照射光３を得るための照射光学系からなる光照射ユニット１と、太い照射幅に対応する複数のＹ軸方向に長い形状の照射光４を得るための照射光学系からなる光照射ユニット２とを有し、ユニット１，２を基板５の上をＸ軸方向に移動させながら、照射光３，４を点滅させて直接描画露光を行なう。 （もっと読む）