【課題】 長期に亘って安定した分光特性をもちグラデーション濃度分布を有する薄膜型ＮＤフィルタを実現させる。
【解決手段】 基板上に誘電体層と光吸収層を複数層に積層する光減衰膜の形成において、その誘電体層はその原料物質の原子層レベルでの全面付着（ステップＳ１）とその酸化または窒化性雰囲気への曝露（ステップＳ２）を繰り返して所定の膜厚にする。続いて、その光吸収層はその原料物質のスパッタリングによるマスク開口を通した原子層レベルの付着と（ステップＳ４）とその酸化性／窒化性雰囲気への曝露（ステップＳ５）を繰り返して所定の膜厚にする。上記誘電体層は緻密性に優れ酸素を通し難い良質の膜となる。また、上記光吸収層は膜厚が傾斜変化し安定した組成の原料物質の酸化物あるいは窒化物を含む膜となる。 （もっと読む）

【課題】例えば赤外光から紫外光にわたる広い波長帯域の光において適用可能であり、小型で低電圧駆動するファブリペロー型波長可変フィルタを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板１の表面に対し水平方向に変位する可動部２、可動部２を弾性可動に支持するサスペンション支持体３、ＳＯＩ基板１に固定された固定部４が設けられる。可動部３を変位させる櫛歯型静電アクチュエータの櫛型電極５により、可動部２表面に接合して形成された第１のミラー構造体６が水平方向に制御され変位する。このファブリペロー型波長可変フィルタでは、第１のミラー構造体６の第１のミラー面６ａと、固定部４の表面に接合して形成された第２のミラー構造体７の第２のミラー面７ａとが平行に対向配置されて光共振器をなし、上記水平方向の変位によりその共振器長を変える構成になっている。 （もっと読む）

【課題】 所定波長範囲の光のみを透過させる際にも、２枚のエッジフィルタが不要、また透過率の偏光依存性が少なく、大きい斜め入射光に対応でき、製造容易な光学多層膜バンドパスフィルタを提供する。
【解決手段】 対象光に対し透明な基板２の片面に形成された入射角度４５度の斜め入射光に対し透過率特性曲線の長波長側スロープ部分が、光学多層膜で形成された無偏波化されたショートウェーブパスフィルタ部（ＳＰＦ）３と、基板２の他面に形成された入射角度４５度の斜め入射光に対し透過率特性曲線の短波長側スロープ部分が、光学多層膜で形成された無偏波化されたロングウェーブパスフィルタ部（ＬＰＦ）４とを備え、さらに各フィルタ部３，４が、高屈折率膜Ｈと低屈折率膜Ｌとを交互に積層してなる基本ブロック７ａ，１０ａを、複数積層した基本構造７，１０を備えており、透過域は、ＳＰＦ３の長波長側透過域と、ＬＰＦ４の短波長側透過域とで形成される。 （もっと読む）

【課題】 複数の透過帯域間のアイソレーションが十分に大きく、1つのフィルタによっても複数の異なる波長域の光の分離がより確実に行える多重バンドパスフィルタを提供する。
【解決手段】 基板２上に、屈折率、材質の異なる２種類の誘電体を、光学膜厚が参考波長λ／４を１単位として積層したミラー層、キャビティ層等を設け、複数のファブリペロー干渉計構造を形成してなる薄膜積層部３を備えたフィルタで、薄膜積層部３は、誘電体膜をＸ，Ｙとし、ミラー層をＭ、キャビティ層をＣ、マッチング層をＴとした時の積層関係が、［Ｍ_０Ｃ_１Ｍ_１……Ｃ_ｉＭ_ｉ（Ｔ）］^ｋ または、［Ｍ_０Ｃ_１Ｍ_１……Ｃ_ｉＭ_ｉ］^ｋ 但し、ｉ，ｋは、２以上の整数であり、Ｍは、光学膜厚をλ／４の奇数倍としたＸまたはＹの単層である。 （もっと読む）

【課題】 フィルタ交換式波長可変モジールの提供
【解決手段】 対向するファイバーコリメータの平行光路直下に回動自在な支軸を配置する。干渉フィルタを内蔵するフィルタユニットをこの支軸に嵌合固定する。支軸と一体の回動片にマイクロメーターヘッドの先端を当接する。モジュール本体に斜めに配置したこのヘッドを微回転することで干渉フィルタの光路内での傾き角度を変化させる。
【効果】 所定の透過特性を有するフィルタユニットに交換できる光学モジールは光多重通信等に大いなる福音となる。 （もっと読む）