【課題】マイグレーションの発生を十分に防止でき、しかも圧電素子のストロークを細かく制御できるようにする。
【解決手段】昇圧スイッチング回路５は電源電圧を昇圧して圧電素子４に印加する。降圧スイッチング回路７は電源電圧から負電圧を生成して圧電素子４に印加する。スイッチング素子Ｓ１は閉じることにより圧電素子４をＧＮＤと接続する。スイッチング素子Ｓ２は閉じることにより圧電素子４を電源と接続する。ＰＷＭ制御回路９は昇圧スイッチング回路５及び前記降圧スイッチング回路７にそれぞれデューティ比を可変してＰＷＭ制御信号を入力する。制御装置１０はＰＷＭ制御回路９によるＰＷＭ制御信号のデューティ比を制御し、また、スイッチング素子Ｓ１，Ｓ２の開閉も制御する。 （もっと読む）

【課題】センサー機能とアクチュエータ機能とを備え、変位量出力と応力入力を同時に測定でき、また、変位を生じさせた結果生ずる歪みや応力などを検知するセンサーとして用いることもできる、センサー機能付アクチュエータ装置および粘弾性測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、２つの積層型ピエゾ素子を、中間体を介して、変位発生方向に直列的に接続した駆動部を備えたセンサー機能付アクチュエータ装置であって、駆動部の２つの積層型ピエゾ素子において、一方の積層型ピエゾ素子は、電圧を印加することによって変位を生じさせることによりアクチュエータとして機能するよう構成し、他方の積層型ピエゾ素子は、他方の積層型ピエゾ素子内部の圧力変化によって圧電電荷を発生させることによりセンサーとして機能するよう構成すること、を特徴とする。 （もっと読む）