【課題】装置全体を簡素化することができ、メンテナンス性に優れ、安価にシリコンを生成することができるシリコン製造装置の提供。
【解決手段】本発明のポリシリコン製造装置は、反応管１０と、反応管１０を加熱する加熱炉２０と、反応管１０内に亜鉛を供給する亜鉛供給管３０と、亜鉛供給管３０内に亜鉛を投入する亜鉛投入部４０と、反応管１０内に珪素化合物を供給する珪素化合物供給管５０と、を備え、亜鉛供給管３０は、反応管１０内に亜鉛を吐出する亜鉛吐出口３０ａと、亜鉛吐出口３０ａと亜鉛投入部４０との間に設けられ、亜鉛投入部４０より投入された亜鉛を加熱する加熱部３０ｂと、を備え、亜鉛吐出口３０ａ及び加熱部３０ｂは、反応管１０内に設けられ、かつ、加熱炉２０によって加熱される加熱領域α内に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造工程および製造装置を煩雑化させることなく、生成シリコンの回収率の向上を図ることができるシリコンの製造方法を提供する。
【解決手段】四塩化珪素ガスを亜鉛ガスにより還元する亜鉛還元法を用いたシリコンの製造方法において、鉛直方向に立設された反応管１０を、周囲に配置された加熱炉２０で加熱しながら、前記反応管１０内に、亜鉛ガスを前記反応管１０の側周面に設けられた亜鉛ガス供給口３０ａから供給するとともに、四塩化珪素ガスを前記亜鉛ガス供給給口３０ａよりも下方から前記反応管１０の中心軸Ｃに沿って上方に向かって吐出させて、前記反応管１０内の温度分布を側周面側よりも中心軸Ｃ側の方が低くなるように制御して、シリコン粉を生成させる。 （もっと読む）

【課題】装置全体を簡素化することができ、安価でシリコンを生成することができるシリコン製造装置の提供。
【解決手段】本発明のポリシリコン製造装置は、反応管１０と、反応管１０を加熱する加熱炉２０と、反応管１０内に亜鉛を供給する亜鉛供給管３０と、亜鉛供給管３０内に亜鉛を投入する亜鉛投入部４０と、反応管１０内に珪素化合物を供給する珪素化合物供給管５０と、を備え、亜鉛供給管３０の連結部３０ｂ及び加熱部３０ａは、加熱炉２０の加熱領域α内に設けられている。 （もっと読む）

【課題】四塩化珪素の亜鉛ガスによる還元反応によって、太陽電池用として十分な純度を有する高純度シリコンを製造する方法を提供する。
【解決手段】亜鉛ガス、または亜鉛ガスを主体とする亜鉛混合ガスを定常的に送り込んで、亜鉛ガス雰囲気とした反応塔内に、四塩化珪素を液体状態で導入して、亜鉛還元反応を生起させ、この反応で生成されたシリコンを、反応塔終端部において、反応生成ガスのみを反応塔外部に排出し、前記生成シリコンを反応塔内に局所的に蓄積する。生成シリコンを反応塔内に局所的に蓄積する部分は、シリコン溶融保持槽であり、シリコンの溶融温度以上に保持されていることを特徴とする製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明はいわゆる亜鉛還元法によるシリコンの製造に副生する塩化亜鉛から電解により塩素と金属亜鉛を得るに当たり、プロセスを単純化すると共にその消費エネルギーを最小とする電解装置を提供することを課題とした。
【解決手段】塩化亜鉛を電解して塩素ガスと融体の金属亜鉛を得る電解装置において、原料塩化亜鉛が塩化亜鉛ガスを含む塩化亜鉛融体であり、該融体を電解液表面近傍に置いた供給口から供給するようにしたことを特徴とする電解装置であって、反応装置から出てきた塩化亜鉛、あるいは未反応亜鉛を含む塩化亜鉛を直接電解する電解装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明では四塩化珪素の亜鉛還元によって高純度シリコンを得るシリコン製造装置及びシリコンの製造方法であり、気相反応により生成した高純度シリコンをより高い収率で得、しかも系内で溶解し、他の反応成分との分離操作を実質的に廃し、シリコンのみを分離取り出しが可能な装置を提供することを課題とした。
【解決手段】気相で四塩化珪素を亜鉛により還元して、高純度シリコンを得るシリコン製造装置であって、予め所定温度に調整した亜鉛ガスを反応塔に送り反応塔内を亜鉛ガス雰囲気とする工程と、予め所定温度に調整した四塩化珪素ガスを該亜鉛ガス雰囲気である反応塔内に供給する工程と反応塔内で反応により生成したシリコンを含む反応ガス中で、該シリコンを固相として成長させる工程と固相シリコンを反応ガスから分離する工程を有し、シリコンを固体、あるいは融体として取り出すことによる。 （もっと読む）

【課題】本発明は四塩化珪素の亜鉛還元によって高純度シリコンを得るシリコン製造装置であり、気相反応により生成した高純度シリコンを系内で溶解し、他の反応成分との分離操作を実質的に廃し、シリコンのみを分離取り出しが可能な装置を提供することを課題とした。
【解決手段】気相で四塩化珪素を亜鉛還元して、高純度シリコンを得るシリコン製造装置であって
１．亜鉛ガスを作る工程と
２．該亜鉛ガスを反応塔内に送り込む工程と
３．該反応塔内の亜鉛ガスの流れ中に四塩化珪素ガスを吹き込む工程と
４．反応塔内で亜鉛ガスと四塩化珪素が反応してシリコンを生成する工程と
５．該シリコンを含む反応ガスがシリコンの融点以上に保持されたシリコン溶解壁に衝突する工程と
６．液状シリコンが下方に有るシリコン保持槽に導かれる工程と
７．反応塔から出た残部反応ガスを冷却して該残部反応ガス中の亜鉛を液化し分離すると共に亜鉛ガス製造工程に戻す工程と
８．生成した塩化亜鉛を取り出す工程
とからなる高純度シリコン製造装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明は四塩化珪素の亜鉛還元によるシリコン生成に当たりその製造手間、エネルギー消費を増大させることなくより高純度化したシリコンを製造する製造方法並びに該目的のための製造装置を得る事を課題とした。
【解決手段】本発明は第一に四塩化珪素と亜鉛を高温気相中で反応させてシリコンを製造するに当たり、非酸化性雰囲気中で行い、シリコン結晶として析出した後該系内でシリコンの融点以上に加熱して融体化した後に、シリコン結晶又は融体で取り出す高純度シリコンの製造方法であり、第二に雰囲気ガスの循環機構と亜鉛ガスの供給機構、該亜鉛ガスの供給機構の下流側に四塩化珪素供給機構を有し、結晶成長部を経てガス分離機構と生成シリコン保持槽、並びに生成ガスの回収機構とを有し、該機構の各部分に温度制御機構を有する高純度シリコン製造装置である。 （もっと読む）