本発明は、プレート型のアクチュエータに関し、アクチュエータにおいて定常音波を励起させるための少なくとも２つの発生器を備える。アクチュエータは、少なくとも２つの主面と主面に対して垂直に延在する対称面Ｓとを含む。発生器は、対称面Ｓに対して対称に配置され、アクチュエータの実質的に平坦な第一の側面領域に配置される。アクチュエータはさらに、被駆動要素に対して摩擦接触するように設けられた少なくとも一つの摩擦要素および／または少なくとも一つの摩擦層を有する。第一の側面領域は、アクチュエータにおいて励起された定常音波の波長に実質的に対応する長さＬを有する。本発明によれば、アクチュエータの第二の側面領域の長さＢは、アクチュエータにおいて励起された定常音波の波長より大きく、励起された定常音波の波長の半分の倍数に等しくない。
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本発明は、長さＬ、高さＨ及び厚さｔを有する圧電板の形態で超音波モータに好ましく使用される超音波アクチュエータに関するものであり、ここで、上記圧電板は、横方向対称平面Ｓｑ、縦方向対称平面Ｓｌ、及び少なくとも２つの主面を有し、また、上記圧電板には、上記対称平面Ｓｑに関して対称的に配置された、超音波定常波を発振するための少なくとも２つの発振器が備わっている。本発明によれば、上記圧電板は、少なくとも８つの側方面を含む形状を有し、これらの側方面のうちの少なくとも２つは、駆動される要素と接触するための作動面であり、また、これらの側方面のうちの少なくとも２つは、上記圧電板を保持するための保持面であり、また、残りの側方面は、自由面であり、ここで、少なくとも４つの自由面が、上記縦方向対称平面Ｓｌに対して同一の角度αで、且つ／又は、上記横方向対称平面Ｓｑに対して同一の角度φで配置されている。
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本発明は、主操作方向についてはそれぞれの位置を高分解能センサにより測定可能で閉ループ制御回路のＰＺＴ固体アクチュエータを用い、ＰＺＴ固体アクチュエータがジョイント２を介してプラットフォームに接続している、数マイクロメートルから数１００ミリメートルの移動距離でサブナノ〜ナノメートル範囲の高位置分解能を有する調節装置に関する。本発明によれば、各位置での垂直方向の位置誤差の補正のため、圧電体単結晶を用いた追加アクチュエータ５が設けられる。単結晶はエラーテーブル内に保存された値に従って駆動され、各制御値は主制御軸の、勾配符号が反転された関数として算出され、追加アクチュエータは補正プレート４にて調整装置のプラットフォームに接続されている。
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２つの平行する平らな主要面、２つの端面及び２つの側面を有するプレート型超音波発振器２と、少なくとも１つのガイドレール１０に係合されかつ２つの摩擦パーツを有する移動エレメント９とを備える超音波リニアモータであって、上記エレメントは上記摩擦パーツの側面を介して上記超音波発振器と摩擦的に相互作用する発明に関する。上記超音波発振器の２つの側面は平坦であり、かつ長手方向の対称面に対して、上記側面の平面と上記長手方向の対称面とが交差する線が上記超音波発振器の主要面に平行に延びるように同様の角度で傾斜される。移動エレメントの摩擦パーツは互いに弾性的に接続される。
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【課題】より小さい寸法、より低い励起電圧、より大きい動作安定性及び安全性、並びに単純化された制御及びより低い製造コストを特徴とする、改良された汎用タイプの圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明は、音響振動共振器を備える、特に超音波モータのための圧電アクチュエータに関し、上記音響振動共振器は実質的に、２つの主要な表面と、２つの側面と、２つの端面とを備える長方形の圧電プレートとして形成され、かつその内部に、共通電極の層と交互する励起電極の層及びこれらの間に置かれる分極セラミックの層を表す多層構造体を有し、分極ベクトルは電極の表面に対して垂直に伸張し、全ての励起電極は、互いに接続されない、先述のプレートの対称面に対して対称に配置される２グループに分割され、この対称面はプレートの主表面及び側面に対して垂直に、即ちその中心を通って伸張し、励起電極の各グループは、共通電極及びこれらの間の圧電セラミックと共に、圧電プレートの対称面に対して非対称に配置される音波の多層発生器を形成する。
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本発明は、光学ズームレンズ群２、焦点合わせ光学レンズ群４、及び２つのレンズ群の電気駆動機構を含み、組み合わせられた光軸が対物レンズの光軸７を形成する対物レンズ・モジュールに関する。本発明によれば、上記のレンズ群の電気駆動機構は２つのリニア形超音波モータ９、１１の形態で実現され、２つの超音波モータの各々は圧電板１２を含む。圧電板は２つの摩擦素子１４を含み、これらの摩擦素子は対向する前面を押しつけられ、圧力素子１５と一緒になって超音波モータの移動素子を形成する。移動素子の各々は、対応するレンズ群へ弾力的に接続される。超音波モータは、移動素子の変位方向が光学モジュールの光軸と平行になるように配列される。 （もっと読む）

本発明は、圧電プレート（４）または円筒状シェル部品（３）の形で実施される超音波振動子（１）と、音響振動発生器（５）と、被駆動要素（８）と摩擦的に相互作用し保持具中に配置された摩擦要素（６）とを含む超音波リニア圧電モーターに関する。本発明の保持具は被駆動要素を取り囲み、超音波振動子に固定され、音響伝導性材料から作られた弾性クランプ（１３）の形で実施される。
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本発明は固定子を有する中空円筒形の発振器の形状の圧電モータを動作させる方法であって、その発振器は定在波の発生器を含み、その発振器は、少なくとも一つの正面は回転子と摩擦接触する方法に関連する。本発明によれば、その中空円筒形は、その円筒形が主に接線および軸方向の振動要素を有するように、連結された接線および軸方向のモードに設定される。接線方向の要素の最大振動速度は、その中空円筒形の正面の上に形成され、軸方向の振動要素の最大振動速度は正面の下に直接形成される。これらの構成要素は円筒形の高さの中央に向かって減少し、円筒形の高さの中央において、正面とほぼ平行に交線が形成され、その交線の上において、軸方向の振動要素はゼロの値を取り、接線方向の要素は最小値を取る。モータは回転子の運動エネルギーが中空の円筒形の正面付近に集中するように動作し、このモータの機械的な付属品は、振動速度の構成要素のゼロの線の中央部に設置することが可能である。
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本発明は、プレート状の長方形の共振板と摩擦接触状態にあって、摩擦面は上記共振板の長手方向の狭い側面の少なくとも一方によって具現される移動エレメントと、上記共振板の長手方向の広い側面に配置される、音響振動を生成するための電極とを備えるリニア超音波圧電モータに関する。本発明によれば、音響振動を生成するための発生器は上記共振板を対称的に横断する平面に対して非対称に配置され、かつ励振されると非対称空間定在波を発生させる対向する２つの電極を備える。
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本発明は、中空円筒状圧電振動子２によって駆動される回転子１２を備える小型化可能なモーター１に関する。前記回転子は圧電振動子の摩擦面１３に効率的に接続され、主電極または対電極３および励振電極４、５、６が中空円筒の表面に設置される。中空円筒状圧電振動子は三方晶系の単結晶材料から作られ、互いに１２０°の角度に位置する３個の主電極軸ならびに光学軸が設けられる。前記光学軸は、電気的軸の交差点に沿って９０°の角度を含み、中空円筒状圧電振動子の長軸に一致する。さらに、それぞれの励振電極の軸方向対称軸は主電気的軸の１つと交差し、前記軸方向対称軸は光学軸に平行に延びる。
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