説明

テイラー・ホブソン・リミテッドにより出願された特許

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支持アームに取り付けられた姿勢アームは、回転軸周りに回転可能である。姿勢アームは、触針が、回転テーブル上で回転されるワークピースの表面に沿って移動するときに、測定方向における触針の振れを表す信号を生成する触針器を保持する。姿勢切替機構は、回転テーブルのスピンドル軸にほぼ沿って並ぶ第1の触針姿勢と、回転テーブルのスピンドル軸にほぼ直交して配置される第2の触針姿勢と、の間で切り替えることを可能にする。測定方向とスピンドル軸とを一直線上に並べることを可能とするために、第1調節部及び第2調節部は、第1の触針姿勢及び第2の触針姿勢のそれぞれにあるときに、触針先端部が、スピンドル軸及び測定方向に直交して移動されることを可能にする。配向機構は、触針の測定方向を回転させるために設けられる。触針傾斜機構は、測定方向に平行な傾斜軸周りに触針を傾斜させるために設けられる。
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測定プローブ(8)を、支持体が支持している対象物の表面に沿って測定経路を横断させるために、第1の方向(X)に支持体(4)と測定プローブ(8)のキャリッジ(7)との間で相対移動を行うドライバ(33)を有する計量装置。測定プローブ(8)は、表面特性を追従する場合に第1の方向を横切る第2の方向(Z)に移動する。第1および第2の位置トランスジューサ(35,32)は、それぞれ第1および第2の方向の測定プローブの位置を表す第1および第2の位置データを提供する。較正装置(300)は、既知の形状の表面上で入手した測定データを使用して較正手順を実行する。較正装置は、基準面の既知の形状を補正後の測定データとして使用することにより、補正後の測定データおよび実際の測定データに関する式の較正係数を決定する。較正装置は、少なくとも1つの式がデータに適合するまで、チェビシェフ点に対する較正係数を変化させる。 (もっと読む)


測定器具は、プローブ(11、12)と表面(61)の間の相対的移動を行うことによってワーク(60)の表面(61)の表面プロファイルまたは形態を測定し、それによってプローブは表面形態の変化に追従し、それによって変位する。表面に追従するときのプローブの変位手段は、干渉計ゲージ(35)であってもよい変位プロバイダによって得られる。表面(61)上で単一の測定経路に沿って測定を行う代わりに、それぞれの測定が対応する測定データセットを得るように測定経路の部分(61dおよび61eまたは61gおよび61h)上で行われ、これらの測定データセットは基準データセットに独立して位置決めまたは位置合わせされる。基準データセットは、測定経路(61)の別の部分(61c)上、構成部品の別の表面(62aおよび62b)の上の別の測定経路(61f)上、または構成部品が配置される表面の上の別の測定経路上で行われる測定によって得ることができる。位置合わせした測定データセットはその後互いに合わせられて、表面のプロファイルを形成する。
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