【課題】 大面積の被処理物の表面に効率的に酸化皮膜を形成することを目的とする。
【解決手段】 アルミニウム又はアルミニウム合金からなる被処理物の一部を電解液に浸漬してマイクロアーク酸化処理を行うことにより酸化皮膜を形成した後、前記酸化皮膜が形成された部位と、他の部位との境界にマスク材を設けることなく、前記酸化皮膜が形成された部位と他の部位とを前記電解液に浸漬してマイクロアーク酸化処理を行うことにより、前記他の部位に酸化皮膜を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れ、高い成膜レートが実現可能なハースライナと、それを用いた電子ビーム加熱源、電子ビーム蒸着装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム加熱源１０は、ハース３と、ハースライナ４と、電子銃５とを有する。ハースライナ４は、ハース３の凹部３１に装着され、被加熱材料Ｍを収容することが可能であり、窒化ケイ素系セラミックスで形成される。電子銃５は、ハースライナ４に収容された被加熱材料Ｍに照射され、被加熱材料Ｍを加熱するための電子ビームＢを発生させる。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームの伸縮過程で湾曲による鉛直方向に沿った高さ位置の変動を抑制し、かつ、軽量化も可能な搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ロボットアーム１１は、それぞれのアーム部２１ａ、２１ｂの長手方向Ｌに沿った全長のうち少なくとも一部は、長手方向Ｌに対して垂直な方向に広がる断面の形状が長方形を成す第一領域Ｅ１と、この長方形の一方の長辺Ｗ１から直角な方向に向けて突出した第二領域Ｅ２とからなる形状に形成されている。例えば、第一領域Ｅ１を成す長方形の一方の長辺Ｗ１の中央部分を中心にして、矩形の第二領域Ｅ２が突出しているような、断面が略Ｔ字型となるように形成されていれば良い。 （もっと読む）

【課題】薬剤を使用せずに開放循環式冷却設備の冷却水の水質を改善する技術を提供する。
【解決手段】貯水槽を備えた開放式冷却塔と、熱交換器と、前記冷却塔と前記熱交換器との間に冷却水を循環させる配管とを有する冷却設備において、前記貯水槽に好気性微生物を担持した酸処理石炭から構成される生物学的処理材を備えてなる、開放循環式冷却設備。 （もっと読む）

【課題】簡便にオイルミストフィルタを交換することが可能なオイルミストトラップ及びオイルミストトラップ用容器を提供すること
【解決手段】本発明のオイルミストトラップ１は、オイルミストフィルタ１３と、トラップ本体１１と、蓋１２とを具備する。トラップ本体１１は、オイルミストフィルタ１３を収容するトラップ本体１１であって、排気流入用配管２に接続される流入口１１ｂと、排気流出用配管４に接続される流出口１１ｃと、オイルミストフィルタ１３が通過可能な大きさを有し流入口１１ｂ及び流出口１１ｃと離間する開口１１ａが形成されている。蓋１２は、開口１１ａを塞ぐ。 （もっと読む）

【課題】複数種の成膜材料に対しても安定した剥離防止機能を確保することができる成膜装置用シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】上記成膜装置用シートＳは、金属製のシート基材１と、複数の突出部２１と、凹凸部２２とを具備する。シート基材１は、任意の形状に折り曲げ可能である。突出部２１は、シート基材１の表面に形成され、その面内に島状に分布する。凹凸部２２は、シート基材１の表面及び突出部２２の表面に形成される。突出部２２は、成膜材料の所定以上の膜応力によって変形可能であり、例えば膜応力の比較的高い酸化物材料等の成膜材料の剥離を抑制する。一方、凹凸部２２は、突出部２１よりも微細に形成され、成膜材料との高い密着性を確保することで、硬度の比較的高い金属膜等の成膜材料の剥離を抑制する。 （もっと読む）

【課題】ルツボを築炉する際に、手間および時間を軽減することが可能な真空溶解装置と、その真空溶解装置で用いられるルツボユニットを提供すること。
【解決手段】真空吸引されるチャンバ２０内でコイル１２０に高周波電流を導通させて、鉄換算で５０ｋｇ以上の原料を誘導加熱して溶解するルツボユニットを有する真空溶解装置１０であって、コイル１２０の空芯部１２５に配置されると共に材質がセラミックスである外ルツボ１４０と、外ルツボ１４０の内筒部１４４に配置されると共に、材質をセラミックスとする内ルツボ１５０と、を具備し、内ルツボ１５０は、外ルツボ１４０よりも熱膨張係数が大きなセラミックスを材質として形成されていると共に、外ルツボ１４０の内筒面１４４ａと内ルツボ１５０の外周面１５３ａとの間の隙間寸法Ｓは、原料の溶解の際の熱膨張において外ルツボ１４０側から内ルツボ１５０側へ圧力を及ぼす状態に設定されている。 （もっと読む）

【課題】金属材料の表面に、腐食性ガスに対する十分な耐食性を有する被膜を設けるとともに、この金属材料のプラズマＣＶＤ装置の基板加熱ヒーターとしての使用に耐え得る十分な厚みの被膜を設けることができる金属材料の表面処理法を提供する。
【解決手段】本発明の金属材料の表面処理法は、酸化マグネシウム粉末をフッ化炭素系化合物分散液に分散させ、金属材料の表面に、前記分散液を塗布した後、大気中もしくは酸素雰囲気中にて加熱することにより、前記金属材料の表面に、フッ化不動態膜を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ルツボを築炉する際に、手間および時間を軽減することが可能な真空溶解装置と、その真空溶解装置で用いられるルツボユニットを提供すること。
【解決手段】真空吸引されるチャンバ２０内でコイル１２０に高周波電流を導通させることで、原料を誘導加熱して溶解するためのルツボユニット、ルツボユニットを有する真空溶解装置１０であって、コイル１２０の空芯部１２５に配置されると共に材質がセラミックスである外ルツボ１４０と、外ルツボ１４０の内筒部１４４に配置されると共に、材質をセラミックスとする内ルツボ１５０と、を具備し、内ルツボ１５０は、外ルツボ１４０よりも熱膨張係数が大きなセラミックスを材質として形成されていると共に、外ルツボ１４０の内筒面１４４ａと内ルツボ１５０の外周面１５３ａとの間の隙間寸法Ｓは、原料の溶解の際の熱膨張において外ルツボ１４０側から内ルツボ１５０側へ圧力を及ぼす状態に設定されている。 （もっと読む）

【課題】真空室の壁面に対して回動自在に取り付けることで、観察時の視野を拡大すると共に、冷却構造を有する工業用内視鏡装置を提供する。
【解決手段】真空室１の壁部２に開口部３を形成し、この開口部３の室内側にその軸方向に伸縮可能なベローズ８を有する保護カバー４を固定する。保護カバー４の先端に透明部材９を設け、保護カバー４内に内視鏡１３を挿入する。この内視鏡の対物レンズ部１５を透明部材９に対向させると共に接眼レンズ部１４を真空室１の外部に配置する。内視鏡１３の真空室１外には、内視鏡１３を回動可能に支持する支持部１０を設ける。内視鏡１３の回動に伴うベローズ８の変形により、内視鏡１３の対物レンズ側と保護カバー４の先端側の角度を可変とする。 （もっと読む）