【課題】クリームはんだ印刷の３次元自動検査において検査領域の自動的な設定を実現する。
【解決手段】斜めの撮像角度で基板を撮像する１次元カラーイメージセンサカメラと、直上方向からからクリームはんだ上面を照明する第１色相光光源と、横方向からクリームはんだ側面を照明する第２色相光光源とが構成する３次元撮像幾何光学配置において、カメラのピクセル配置に直交する方向に素基板あるいははんだ印刷基板を移動することによって基板全面画像を獲得し、銅箔パッド領域あるいは基板面領域あるいはクリームはんだ印刷領域を、基板画像の画素値によって自動的に選択し、検査領域を自動的に設定することにより、誰でもクリームはんだ印刷基板の３次元画像検査ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】基準基板画像と検体基板画像を比較して異同箇所を検出する差分画像処理アルゴリズムで比較画像処理する基板検査装置は、教示プログラム作成が不要である上に最高速検査を実現できるというメリットがあるが、良品を不良と誤検出する「過検出」虚報の多発という課題があった。
【解決手段】複数基板画像の同一画素出力値を加算平均して平均化基準画像を作成し、この平均化基準画像を基準画像として用いられるようにしたので、正常範囲内変異による「過検出」虚報の発生を最少化した最高速の検査が実現する。 （もっと読む）