【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】触針式形状測定装置において、触針と被測定面の接触位置を算出することによって被測定面の形状を高精度に測定する。
【解決手段】最初にクランプ１３で触針１４をアーム１５に固定した状態で被測定面を走査し、走査によって変位検出機構１６で得られたＺ方向の変位データを測定する。次に、触針１４がアーム１５に対してクランプ１３による接続部分を中心にＸＹ平面に可動となるようにクランプ１３を切り替え、触針１４が走査した線上において、先端球１０を被測定面に接触させ、その位置からＺ方向に微小な変位を加えた場合のＸ、Ｙ及びＺ方向の変位を測定し、先端球１０と被測定面との接触位置を測定する。これらＺ方向の変位データ及び先端球１０と被測定面との接触位置データに基づいて走査線上における被測定面の形状を計算する。 （もっと読む）

【課題】傾斜を有する被測定物表面を高精度に倣い測定する表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】 測定部２１０により被測定物表面を倣い走査する。測定部２１０は、接触部２１２を先端に有するスタイラス２１１と、接触部２１２が被測定物表面に当接した際のスタイラス軸方向の測定力を検出する測定力検出手段を有する。移動機構は、測定力を一定にしながら測定部２１０を被測定物表面に対して相対移動させる。
移動機構は、接触部２１０を回転中心として測定部２１０を回転させてスタイラス２１１を被測定物表面に垂直にする回転機構４００を備える。 （もっと読む）