【課題】柔軟な物体同士の接触面の形状をより正確に測定できる測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる接触面形状測定装置１００は、柔軟な物体１０２、１０４同士の接触面１０６の形状を測定する測定装置において、接触面に沿って配置される柔軟性を有する基板１０８と、基板に貼付され貼付位置での基板の歪量を測定する２つ以上の歪センサ１１０と、歪量に基づいて曲率を算出し、該曲率に基づいて、２つ以上の歪センサが貼付された経路に沿った接触面の形状を近似した曲線を算出する形状近似部１２０と、基板上の経路に配置され配置位置での基板の傾斜角を測定する少なくとも２つの加速度センサ１１２と、いずれかの加速度センサの配置位置における近似した曲線の接線角と測定した傾斜角との差分を算出する比較部１２２と、差分が所定の値以内に収まるように、近似した曲線を補正する補正部１２４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電型歪みセンサをデバイスの表面上で形成するための、より簡単な方法を提供する。
【解決手段】本発明は、デバイスの表面における歪みを計測するために、該デバイスの該表面で導電型歪みセンサを形成するための方法であって、ステップ：（ａ）デバイスを準備すること、（ｂ）任意的に該デバイスの表面に絶縁層を設けること、（ｃ）ステップ（ｂ）で得られた該絶縁層の上に第１の金属の粒子の分布を作ること、および（ｄ）ステップ（ｃ）で得られた該第１の金属の粒子の分布の少なくとも一部分の上に、無電解めっき法又は電着法を用いて第２の金属の層を堆積させること、を含む。 （もっと読む）

【課題】 基板の変形量を正確に且つ簡便に計測できるようにする。
【解決手段】 ウエハホルダ等の搬送部材に保持されるウエハ等の基板に生じる変形量を計測する変形量計測装置１０である。前記基板と実質的に同一形状に形成されたダミー基板本体１１上に、ダミー基板本体１１に生じる歪みを検出する歪みゲージ１２及び歪み検出回路２０を設けて構成される。 （もっと読む）