２つ以上の静電容量センサ(３０ａ、３０ｂ)と、静電容量センサにエネルギを与える１つ以上のＡＣ電力源（３０６ａ、３０６ｂ）と、静電容量センサからの信号を処理する信号処理回路とを具備する、静電容量感知システム。センサは、ペアで配置されている。１つ以上のＡＣ電力源は、センサのペアのうちの第１のセンサに、センサのペアのうちの第２のセンサの電流又は電圧に対して位相が１８０度ずれている交流電流（３０７）又は電圧で、エネルギを与えるように構成されている。センサのペアは、１つの測定距離値に対する測定ユニットを備えている。信号処理回路は、ペアのうちの各センサから出力信号を受信し、ペアのセンサとターゲット（９）との間の平均の距離に関係する測定値を生成する。 （もっと読む）

【課題】真空用エンコーダセンサにおいて、ベーキングにより高い真空度を得ることができるようにする。
【解決手段】リード端子１４を接続された磁気抵抗効果素子１１と永久磁石１５とをセンサケース１７内に封止樹脂１６で固定された真空用エンコーダセンサにおいて、（１）センサケース１７と封止樹脂１６との境界部、（２）リード端子１４と封止樹脂１６との境界部のうちの少なくともいずれか一方に鉛筆硬度が３Ｈ以下の緩衝樹脂層１を備えるようにした。 （もっと読む）

取り付けられた可動物体の位置の検知に使用されるセンサー。このセンサーは空気圧アクチュエータに取り付けられ得る。センサーは、壁により分離される１対のキャビティ又はポケットを有するハウジングを含む。磁石キャリアが一方のキャビティに配置され、磁石が磁石キャリアに結合する。磁石キャリアは可動物体に結合する。磁気センサーは他方のキャビティ内に配置される。磁気センサーは、可動物体の位置を示す電気信号を生成する。 （もっと読む）

コントローラと、可動部と搬送経路とを有し前記コントローラと連通するワークピース搬送機と、前記可動部に固着した少なくとも１つの界生成プラテンと、搬送経路に沿って配置されコントローラと連通する少なくとも１つのセンサ群とを含み、前記界生成プラテンが位置計測とともに可動部を推進させるように構成される多次元測位装置とを備える装置であって、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサは、少なくとも１つの界生成プラテンで発生させる検知界内の単軸に沿ったばらつきに対応する１つのみの出力信号を提供するように構成され、前記コントローラは、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサに隣接した前記可動部の多次元位置を、前記の少なくとも１つのセンサ群内の少なくとも１つのセンサの前記１つのみの出力信号に基づいて、多次元位置には、少なくとも平面位置と、ワークピース搬送機と少なくとも１つの前記センサ群との間のギャップとを含めて算出するよう構成されている装置。
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【課題】 試料を大気暴露させることなく、試料の設置から測定まで制御された環境下で試料の形状情報や物性情報を計測できる装置を提供すること。
【解決手段】 先端に微小な探針を有するカンチレバー６と、カンチレバー６を保持するためのプレート２と、試料７を設置するための試料固定台４と、筺体３などからなる気密性が保たれるロードロック室１と、カンチレバー６の変位を検出する変位検出機構８と、試料７を移動させる試料移動機構である微動機構１８、ＸＹ粗動機構１９、Ｚ粗動機構２０が設けられた密封容器１７と、密封容器１７を真空排気する真空排気機構２１とガス導入機構２２と、密封容器１７にロードロック室１を取付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾルデポジション法を用いて成膜を行う過程において、精密に膜厚を測定すると共に、膜質の良否を確認することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】 この成膜装置は、原料の粉体を配置するエアロゾル生成部３と、該エアロゾル生成部において、該原料の粉体をガスによって噴き上げることにより、エアロゾルを生成するガスボンベ１及び圧力調整部１ａと、構造物が形成される基板を保持する基板ホルダ６と、エアロゾル生成部において生成されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル５と、基板上の成膜面における電位を測定する測定部８とを含む。 （もっと読む）