【課題】製造が容易で精度の高い測定を可能にするエアマイクロメータの測定ヘッドを提供する。
【解決手段】被測定孔に挿入される測定子１７の内部に、軸方向に沿って延びる複数の縦通路Ｔ１〜Ｔ３と、測定子１７の軸方向の複数箇所Ａ〜Ｃにおいて径方向に沿って延びるとともに前記各縦通路Ｔ１〜Ｔ３に連通し、測定子１７の外面で開口する複数の横通路Ｙ１〜Ｙ３と、が形成されているエアマイクロメータの測定ヘッド１３であって、測定子１７が、同心状に径方向に重合された複数の管Ｐ１〜Ｐ３からなり、縦通路Ｔ１〜Ｔ３が、径方向の最内側の管Ｐ１の中心と、互いに重合する管Ｐ１〜Ｐ３の間とに形成される。 （もっと読む）

【課題】各種の内径を高精度に測定可能なエアーマイクロメータの実現。
【解決手段】円筒状の筐体31と、外周面にエアー噴出し口をそれぞれ有する少なくとも１組のヘッド部材21A,21Bと、筐体に取り付けられ、少なくとも１組のヘッド部材を保持する少なくとも１組のヘッド保持機構32A,33AA,33AB;32B,33BA,33BBと、少なくとも１組のヘッド部材の中心軸に対する位置を変化させるヘッド位置変化機構41と、少なくとも１組のヘッド部材のエアー噴出し口にエアーを供給するエアー供給機構Pと、を有し、少なくとも１組のヘッド保持機構のそれぞれは、筐体に取り付けられる基材32A,32Bと、基材とヘッド部材を連結する平行な２枚の板バネ33AA,33AB;33BA,33BBと、を有し、ヘッド部材を筐体の中心軸に垂直な方向にのみ移動可能に保持する。 （もっと読む）

【課題】エアマイクロメータの測定ヘッドにおいて、部品の交換が可能でありながら、精度の高い測定を可能とさせる。
【解決手段】エアの流入口２１が形成されているリング状の外側部材２と、この外側部材２の内周側に取り付けられているリング状の内側部材３とを備えている。内側部材３の内周には、被測定物Ｗを取り囲んで案内するガイド面、及び、流入口２１に流入したエアを被測定物Ｗに噴射するノズル口３１が形成されている。内側部材３と外側部材２とは締まり嵌めの状態にあり、内側部材３は、単一の部材として製造されており、当該単一の部材に、ノズル口３１とガイド面とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡便な操作で、高い精度の寸法測定を行なうことができるエアマイクロメータを提供する。
【解決手段】空気流路１１の上流側と下流側が多孔質部１２材により仕切られて構成された測定部１と、測定部１の上流側の空気の第１圧力を検出してその信号を出力する第１圧力センサ３と、測定部１の下流側の空気の第２圧力を検出してその信号を出力する第２圧力センサ４と、測定部１内の空気の温度を検出し信号を出力する温度センサ５と、を備える。第１圧力センサと第２圧力センサから出力される信号を取り込み、第２圧力センサの第２圧力が一定値となるように、空気流路１１の制御バルブ６の開度を制御し、第１圧力と該第２圧力の圧力差、第２圧力、及び空気の温度に基づき、測定ヘッド２の噴出孔２２から噴出する空気の単位時間当りの質量流量を算出し、質量流量に基づき、ワークの寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】２つの独立した構成部品からなる構造（セパレート化）とすることにより、高い製作精度を得ることが可能であるとともに、製作コストおよび製品コストの低減化が可能な計測用エアノズルを提供する。
【解決手段】 計測用エアノズル１は、ノズル本体５とシャンク部６とを独立した構成部品として備えてなり、これらノズル本体５とシャンク部６が、接合解除可能な接合手段３０により同軸状に接合組立てされてなる。これにより、高い製作精度を得ることが可能で、製作コストおよび製品コストの低減化が可能である。 （もっと読む）

【課題】 内輪に形成してある貫通孔の真円度を、製造ライン上の全数検査という形で精密に且つ低コストで測定することのできる真円度測定装置を提供する。
【解決手段】 貫通孔５を有する内輪２が配置されるテーブル９と、テーブル９に配置してある内輪２の貫通孔５内に上方から挿入される空気マイクロメータの測定ヘッド６と、テーブル９に配置してある内輪２の上面に乗せられる重り部１０と、重り部１０を上下動させる上下駆動機構１１と、測定時にテーブル９と測定ヘッド６を相対的に回転させる回転駆動機構１２とを具備した真円度測定装置とする。 （もっと読む）

物体（１）のベース領域（５）からテーパ領域（１．１）の所定の直径（Ａ）を有する断面までの距離を測定するための方法であって、テーパ領域が仰角または俯角を形成するとともに円形断面形状を有する方法において、直径（Ａ）を有する測定体（３）がベース領域（５）上に配置される。この配置は、物体（１）の直径（Ａ）を有する断面領域と測定体（３）との間に隙間（６，Ｘ）の形態を成す距離が形成されるように行なわれる。隙間（６，Ｘ）を通じて流体媒質が押し進められ、流体媒質の圧力及び／又は流量が測定される。距離値は、測定された圧力及び／又は流量に基づいて評価ユニット（９）で決定される。
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【課題】円筒内径を高速測定可能な測定方法、装置及び円筒内径測定から円筒三次元表示までの時間を短縮し円筒三次元表示の高速化が可能な表示方法、装置を提供する。
【解決手段】エアーマイクロセンサの測定ヘッドを被測定円筒内で軸方向に移動させて円筒内径を測定する方法において、測定ヘッドを被測定円筒開口端の一方側から他方側に螺旋移動させながら、被測定円筒の内径測定と測定ヘッドの位置（被測定円筒の軸方向位置及び軸周り方向位置）の検出を行う。被測定円筒軸方向の１点で測定ヘッド停止状態での被測定円筒の内径を基準内径値として測定し、この基準内径値と、螺旋移動状態での内径測定値群中の基準内径値測定位置近傍での内径測定値との差を用いて螺旋移動状態における各内径測定値を補正する。補正済み円筒内径測定値を測定ヘッドの各位置における円筒内径測定値とする。 （もっと読む）

【課題】 ワークの位置合わせにかかる時間を低減させることができるワーク保持位置検出システムを提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明に係るワーク保持位置検出システムは、設定位置に保持されたワークＷの外壁ＷＳに当接又は近接する位置に配置された流体吹き出し口１２と、流体吹き出し口１２から流出する流量を検出するセンサと、このセンサで検出された流量に基づいて、ワークＷが設定位置に位置しているか否かを判断する演算ユニットと、を備えている。ワークＷが設定位置に保持されていると、流体吹き出し口１２はワークＷの外壁ＷＳに当接又は近接しているので、流体吹き出し口１２から流出する流量は少ない。従って、この流量に基づいて、ワークＷが設定位置に位置しているか否かを演算ユニットで判断することができる。 （もっと読む）