【課題】タービンや発電機等の回転体軸の軸伸び量を非接触でかつ遠方での測定が可能であり、かつ装置の信頼性と安全性が高く高精度の測定が可能となる回転体軸の軸伸び量測定装置を提供する。
【解決手段】回転体軸に放射線源を設けこれと放射線検出器を対向させて配置し、放射線検出器の検出信号に基づいて回転体軸の軸伸び量を測定する回転体軸の軸伸び量測定装置において、回転体軸１の軸長方向に沿って設けられ、回転体軸の半径方向に放射線を放射するように配置された放射線源３と、回転体軸の半径方向に放射線源と離間して対向配置され、放射線を検出する放射線検出器５と、放射線源と放射線検出器との間に配置され、回転体軸の軸伸び量がゼロの状態において放射線の放射線検出器への入射を遮蔽する遮蔽部材６とを備え、回転体軸の軸伸びに伴って放射線検出器で検出される放射線の線量率の変化に基づき、回転体軸の軸伸び量を測定する。 （もっと読む）

【課題】成膜した薄膜の膜厚を従来より広い範囲で測定できる膜厚測定方法と、均一な膜厚の薄膜を成膜する真空蒸着装置及び真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】
薄膜材料６０に電子線を照射して、薄膜材料６０から蒸気を放出させ、成膜対象物８０を薄膜材料６０に対して走行移動させながら、成膜対象物８０の表面に薄膜を成膜する際に、薄膜材料６０から放出され、成膜対象物８０上のＸ線検出装置２０で薄膜と成膜対象物８０とを透過した透過Ｘ線の強度を検出し、あらかじめ記憶された透過Ｘ線の強度と薄膜の膜厚との対応関係から、成膜対象物８０に形成された薄膜の膜厚を測定する。測定結果を基準値と比較して、比較結果から、成膜対象物８０の移動速度や電子線の照射位置の移動速度を変更し、薄膜の膜厚を増減させることで、薄膜の膜厚を基準値に近づける。 （もっと読む）

【課題】 シート状部材の厚さ測定精度を向上させると共に，放射線源を含む測定構成機器の耐圧防爆構造を実現すること，及び，成形されたシート状部材の形状にかかわらずシート成形直後におけるシート厚さの測定を可能とし，ダイの間隙の早期調整を実現すること。
【解決手段】 Ｘ線源１（放射線源）と，Ｘ線検出器２（放射線検出器）と，Ｘ線が照射された際に固有のエネルギーを持つ特性Ｘ線を発生するＴｉ板６（特性Ｘ線発生物質）とが適宜配置されてなり，上記Ｘ線源１から出射されたＸ線が上記Ｔｉ板６に照射され，該照射により上記Ｔｉ板６で発生しシートＳ（被測定部材）を透過して上記Ｘ線検出器２に入射した特性Ｘ線の強度の減衰量に基づいて上記シートＳの厚さを演算，算出するように構成する。 （もっと読む）