【課題】エンコーダの検査を高精度且つ容易に行うことが可能なサーボモータを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、シャフトＳＨに連結され、複数の反射スリット１１１からなるスリットアレイＳＡが円周方向に沿って形成された円板状のディスク１１０と、スリットアレイＳＡに光を照射する点光源１２１、及び、点光源１２１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光する受光アレイ１２２を備えた光学モジュール１２０と、光学モジュール１２０が設けられる基板１３０と、モータＭのハウジング１０に固定され、ディスク１１０を内部に収容しつつ、光学モジュール１２０がスリットアレイＳＡと対向するように基板１３０を支持する、円筒状の支持部材１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】モータ軸の回転量を検出するための検出ユニットにおいて、エンコーダとしての信頼性を簡便に高める。
【解決手段】入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、複数の受光素子は、光の光量分布に応じて所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】 遮光手段を用いずに光源からの発散光がパッケージの外界との境界面で全反射して、受光素子に入射することを防止する。
【解決手段】 光線Ｌ０は発光素子２３から出射した光線のうち、境界面５３で屈折して透過し反射スケール２１で反射し、最後に受光領域Ｓ２に導かれる光線群であり、この光路がセンサ信号を得るための有効光となる。光線Ｌａは境界面５３で全反射してパッケージ内を伝搬する光線であり、この光線Ｌａはセンサ信号光とは無関係なノイズ光であり、受光すべきでない光線である。この光線Ｌａが受光領域Ｓ２に入射すると、センサ信号のＳ／Ｎが低下してしまうことになる。また、光線Ｌｂは境界面５３を挿通し反射スケール２１に至ることなく、外方に出射してしまうので、精度等に対する影響は殆どない。不要な光線Ｌａが受光素子２４の受光領域Ｓ２に入射しないように、発光素子２３の発光領域Ｓ１を基準として、受光領域Ｓ２を決定する。 （もっと読む）

【課題】中心射影方式に基づく回転式位置測定装置について、検査光路上における個々の構成部材間の最適でない間隔についてより影響度を抑え、及び／又は検査すべき被検査物の汚れの影響を極力受けないようにすること。
【解決手段】光源１０と、被検査物２０を備えたスリット板と、検出装置３０とを備える構成とするとともに、スリット板を光源１０及び検出装置３０に対して回転軸Ｒを中心として回転可能とし、相対回転時に回転角度に応じた位置信号を検出装置３０によって検出可能であり、回転軸Ｒ上の光源１０を被検査物２０から第１の距離ｕだけ離間させて配置し、検出装置３０を、第１の距離ｕとは異なる第２の距離ｖだけ被検査物２０から離間させて配置した。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、光学式エンコーダの原点信号検出を行うこと。
【解決手段】光源1と、配列方向に相対移動が可能なインクリメンタル信号生成用パターン5を有するメインスケール4と、光源1で照明されたメインスケール4を透過、または、反射した光束を受光し、インデックススケールを兼ねる複数のフォトダイオードから成る第1のフォトダイオードアレイと、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される第2のフォトダイオードアレイを有するインクリメンタル信号検出部2と、第2のフォトダイオードアレイからの出力信号を処理するインクリメンタル信号処理部3を有し、メインスケール4が、複数のインクリメンタル信号生成用パターン5と同一ピッチの原点信号生成用パターン9を有し、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される原点信号検出部10からの出力信号を処理する原点信号処理部11を有する。 （もっと読む）

【課題】受動読取ヘッドを有する光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】受動読取ヘッドは、接続ケーブルを有さず、ただの光学式読取ヘッドである。スケールに対する相対位置を示す測定位置情報は、遠隔随伴部に通じる見通し線によって遠隔的に読み取られる。遠隔随伴部は、光源と、検出部と、を備える。検出部は、遠隔レンズ部と、光検出機構部と、を有していてもよい。遠隔随伴部は、受動読取ヘッドから得られる像領域の輝度（明暗）を光学的に検知し、検知した輝度（明暗）に基づいて、測定位置を示す複数の信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】２次元アブソリュートエンコーダの高分解能化に有利な技術を提供する。
【解決手段】互いに直交する第１方向および第２方向に沿って所定のピッチでマークが２次元配列されたスケールと、第１方向に配列された第１個数のマークを検出し、第２方向に配列された第２個数のマークを検出する検出器と、第１及び第２方向におけるスケールの絶対位置を、検出器の出力に基づいて、それぞれ決定する処理部とを備える。各マークは、第１方向における位置を示すための量子化された第１符号の情報と第２方向における位置を示すための量子化された第２符号の情報とを有する。処理部は、第１個数のマークの検出結果から第１符号列を生成し、第１符号列から第１方向におけるスケールの絶対位置を求め、第２個数のマークの検出結果から第２符号列を生成し、第２符号列から第２方向におけるスケールの絶対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】一次元のスケール格子に対するスケール光結像系の二次元の変位を検出でき、構造が簡単な変位センサを提供する。
【解決手段】Ｘ方向に配置されたスケール格子１１０から結像系１９０にＺ軸にほぼ平行なスケール光成分ＯＰ１Ａ、ＯＰ１Ｂを射出し、Ｚ方向に平行な光路ＯＰ１に沿って伝播した当該スケール光成分を受光した検出部２０１は、Ｘ方向の変位を示す変位信号を出力し、スケール格子１１０から結像系１９０にＺ軸から傾いた方向にほぼ平行にスケール光成分ＯＰ２Ａ、ＯＰ２Ｂを射出し、Ｚ方向から傾いた光路ＯＰ２に沿って伝播した当該スケール光成分を受光した検出部２０２は、Ｘ方向の変位とＺ方向の変位とを含む変位信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】相対移動可能な２つの物体の位置を測定する光学式位置測定装置において、基準信号を適切に発生させる。
【解決手段】一方の物体と結合された目盛本体が、基準位置に、鏡像対称に配置された２つの部分区域を含む基準マークを含み、該区域はそれぞれ、目盛周期が変化し移動方向に配列する格子構造パターンで構成されている。他方の物体には走査ユニットが結合され、該ユニットは光源と、１又は複数の格子と、基準信号検出装置と備えている。基準信号検出装置は、検出器アレイ２２．１〜２２．４を有し、基準マークを走査して検出器アレイで検出して、第１の対の逆相関係にある部分基準信号、該部分基準信号からオフセットされている第２の対の逆相関係にある部分基準信号を形成する。検出器アレイに接続された後段の処理回路において、第１及び第２の対の部分基準信号を処理して、基準信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】走査検知光路において構成要素が互いに理想的な方向を向いていない、または使用条件が理想的でない時でも、最大可能な品質を保証する走査検知信号を提供する。
【解決手段】測定方向に延伸するインクリメント目盛を有する基準尺と、光源と一つまたは複数の格子およびディテクタアセンブリを含んだ走査検知ユニットが設けられ、ディテクタアセンブリは検知面に配設された複数グループのディテクタ要素で構成され、測定方向に相対移動する場合に、検知面で生じる周期性縞模様の走査検知結果から、位相のずれた複数の走査検知信号を生成するようにディテクタ要素の前には、同じ位相の走査検知信号を伴うグループでは、ディテクタ要素の面積の合計が、他のグループのディテクタ要素の面積の合計と同一であり、かつ、ディテクタ要素の面重心が、他のグループのディテクタ要素の面重心と同一であるようにグループが形成されるようにブラインド構造を配設する。 （もっと読む）

【課題】安定して高調波歪を抑え、位置を高精度に検出することが可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】光源１２と、受光素子１７と、前記光源からの光を反射または透過することによって前記受光素子に導くパターン２４Ａを含む複数の単位ブロックパターンＫＡを含むスケール２０と、を備えるエンコーダを提供する。複数の単位ブロックパターンは、Ｘ方向に沿って、ピッチＰの周期で配置されており、パターンは、中心線Ｘｃに関して対称な形状であり、各単位ブロックパターンはＹ方向に複数の分割領域を含み、パターンの面積比は隣接する二つの分割領域の間で異なり、各分割領域において、前記パターンは、前記測位方向に延びる２つの平行な直線と前記測位方向に垂直な方向に延びる２つの平行な直線によって規定される矩形形状を有する。 （もっと読む）

【課題】光学長さ測定機構を提供する。
【解決手段】２つの物体の一方と接続され、測定方向に延びる反射測定区域を含む実量器と、他方の物体に接続された、測定区域を光学的に走査するための走査ユニットが、光学的実効点光源と、少なくとも１つの光学的実効検出器アレイとを含み、光学的実効光源から発散して放出された光束が、測定区域の方向に伝播し、測定区域で走査ユニットの方向に反射して戻され、少なくとも１つの光学的実効検出器アレイに当たり、変位に応じて変わるパターンが光学的実効検出器アレイに現れ、このパターンは、光学的実効検出器アレイによって、位置に応じた１つまたは複数の走査信号に変換可能である。走査ユニットは、測定方向で長手方向で案内され、結合点で連結棒と関節結合され、連結棒は他方の物体と接続される。結合点の位置は、結合点周りでの走査ユニットの前後傾が起こっても誤差のある走査信号が生じないように選択される。 （もっと読む）

【課題】小型かつ高精度な位置検出が可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターン列はＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向にそれぞれ異なるピッチを有する複数の領域２３Ａ、２５Ａを有し、領域２５Ａのエネルギー分布の振幅がスケールのＸ方向の位置に従って変化するように構成されている。エンコーダは、受光素子アレイ１６Ａの出力信号からそれぞれ対応する領域の振幅を取得する第１、第２の振幅取得手段３７、３８と、第１、第２の振幅取得手段３７、３８が取得した複数の領域の２つの振幅の比で表される振幅信号Ｓ＿ａｍｐをスケールの絶対位置を表す絶対位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なスケールの位置検出をすること
【解決手段】エンコーダにおいて、パターン列は、移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列されたＸ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。信号処理手段３０は、受光素子アレイの出力からピッチＰ１の位相を取得する第１の位相取得手段３２を有する。エンコーダは、領域２３を検出する複数の受光素子１７Ａの出力信号に対して受光素子アレイ上の位置に応じた重みを使用して重み付けをし、重みは、第１の位相取得手段の空間周波数応答のピッチＰ２に対応する空間周波数を含む所定の範囲において、重み付け有の値が重み付け無の値以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】検出波形の誤差成分を低減し、高精度な位置検出を可能とする。
【解決手段】スケールの透過率分布または反射率分布を、測位方向に垂直な方向の積分値が測位方向に均一な変調振幅となる細周期パターンに対応した変調成分と、測位方向に均一な変調振幅となる粗周期パターンに対応した変調成分と、の加算された値となる分布とする。 （もっと読む）

【課題】移動体の曲面からの信号に関してデフォーカスによる信号振幅減少を低減し、移動情報の検出精度の低下を抑制する。
【解決手段】光源と、移動方向に曲面を備える移動体と、前記曲面からの集光された反射光または透過光を受講する受光素子と、を有する移動情報測定装置において、前記曲面が移動方向に複数種の曲率を備える。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上させることができるエンコーダ、光学モジュール及びサーボシステムを提供すること。
【解決手段】複数の反射スリットが測定軸に沿って並べられたスリットアレイＳＡ１，ＳＡ２と、スリットアレイの一部に対向し測定軸Ｃ上で相対移動可能な光学モジュール１３０とを備え、光学モジュールは、スリットアレイに光を照射する点光源１３１と、スリットアレイと平行な面内において測定軸と垂直な幅Ｒ方向で点光源に対してオフセットした位置に配置され、点光源から照射されて反射スリットで反射された反射光をそれぞれ受光する複数の受光素子が測定軸に沿って並べられた受光アレイＰＡ１，ＰＡ２とを有し、複数の受光素子は、測定軸方向で点光源に近い受光素子ほど幅方向の長さが短い形状をそれぞれ有し、幅方向における点光源と反対側の端部Ｅｎが測定軸に沿った位置になるように並べられる。 （もっと読む）

【課題】経済的で頑丈であるとともに設置しやすく高分解能な光学式エンコーダおよびその読取ヘッドを提供すること。
【解決手段】２つの部材間の相対位置を測定する光学式エンコーダは、スケール格子と、この格子を照らす第１波長光源を備える読取ヘッドとを備える。格子はスケール光を出力し、変位する周期的強度パターンを第１波長で形成する。読取ヘッドは複数の空間位相検出器を備え、空間位相検出器は、周期的な空間フィルタと、第１波長周期的強度パターンから生じる光を受光し、第２波長光を出力する蛍光体層と、この第２波長光を受光・感知する光検出素子とを備える。光検出素子は、第１波長周期的強度パターンの空間フィルタ処理後のパターンに対応する第２波長光を受光し、当該空間位相検出器に対する空間位相を示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】クロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置を得る。
【解決手段】移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第１の発光部と前記マークを介した光を検出する第１の受光部とを備える第１の検出部と、前記第１の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第２の発光部と前記マークを介した光を検出する第２の受光部とを備える第２の検出部と、前記第１の発光部と、前記第２の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第１、第２の検出部で各々検出する第１のタイミングと前記第１のタイミングと異なる第２のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第１のタイミング及び前記第２のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有する。 （もっと読む）