【課題】高精度なリニアエンコーダを得る。
【解決手段】光源１から出射された光はコリメータレンズ２で平行光に変換され、音響光学素子３に入射する。音響光学素子３は、発振器７の出力する基本周波数信号によって駆動されており、入射した光を０次光E₀と１次光E₊₁に分岐し、反射型回折格子板４に出射する。そして、音響光学素子３から入射された０次光E₀は反射型回折格子板４で回折され、その-１次光E₀'がフォトディテクタ６に入射する。また、音響光学素子３から入射された１次光E₊₁は反射型回折格子板４で回折され、その+１次光E₊₁'がフォトディテクタ６に入射する。そして、フォトディテクタ６が検出したE₀'とE₊₁'とのビート信号に転化されたE₀'とE₊₁'との位相差より、被計測物１００の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】 薄型化が可能で且つ検出誤差の少ない非接触アブソリュート型のロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】 ロータリーエンコーダは、被測定体の回転変位に伴なって回動するスリット板１と、スリット板１に光束を入射する光源４と、スリット板１を介して出射する光束の移動軌跡に沿って配置され該光束の受光位置に応じた検出信号を出力する位置検出素子６と、該検出信号を処理して被測定体の回転変位情報を得る処理回路とからなる。光源４は、光束を放射する発光素子４１と、発光素子４１に対向する端面部及びスリット板１に対向する平面部を有する導光板４０とからなる。導光板４０は該端面部から受け入れた光束を該平面部に導き、更に該平面部からスリット板１に出射する。 （もっと読む）