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Fターム[2H047PA11]の内容

光集積回路 (2,283) | 製法 (627) | 屈折率調整 (17)

Fターム[2H047PA11]の下位に属するFターム

熱拡散 (6)
イオン交換 (4)
イオン注入 (3)
重合 (2)
屈折率を低下させるもの

Fターム[2H047PA11]に分類される特許

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【課題】 簡易な工程により行うことができ、得られる光導波路の屈折率を容易に制御することが可能な光導波路の製造方法、および、これにより得られる高性能のGI型光導波路を提供する。
【解決手段】 連続的に形成されたコア部1とクラッド部2とを含む光導波路の製造方法である。フォトブリーチング材料を含む単層膜11を、一対のマスク部材12A、12Bにより挟持するマスク工程と、単層膜11に対し、一対のマスク部材12A、12Bを介して対向する二方向から光を照射する第一の光照射工程と、単層膜11から一対のマスク部材12A、12Bを剥離する剥離工程と、一対のマスク部材12A、12Bが剥離された単層膜11に対し、再度前記二方向から光を照射する第二の光照射工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】 光導波路部および電気配線部の3次元的な混載化および低コスト化を図る。
【解決手段】 光電気混載基板は、電気絶縁層4および微細銅配線5からなる微細電気配線部と、光導波路クラッド層6および光導波路コア層7からなる光導波路部とを有している。微細電気配線部の電気絶縁層4および光導波路部6,7は、照射される露光光量によって屈折率が変化する感光性樹脂で構成されている。 (もっと読む)


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