【課題】露光装置におけるマスクの交換時間、アライメント時間を短縮し、露光処理時間を短縮することが出来るようにする。
【解決手段】露光用光学ユニット１と、マスクが固定されるマスクステージを装着しこのマスクステージが光学ユニット１に対向するように移動できるマスクチェンジャ２と、マスクステージに前記マスクを搬入・搬出するマスク搬送手段（１７）とを備えた露光装置において、マスク搬送手段は、１つのマスクを搬入中に他のマスクを搬出するように複数（１７，１７ａ）有し、マスクチェンジャ２は、マスク３〜５がそれぞれ固定される複数のマスクステージ７〜９を少なくとも一列に配置してその列方向に移動する機構を有し、複数のマスクステージ７〜９は、これらマスクステージ７〜９と前記各マスク３〜６とのアライメントを行なうアライメント手段（アライメントスコープ１４）をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】搬送される基板上に異物が存在する場合であっても、マスクを傷つけることがなく、高精度に露光を行うことができる近接スキャン露光装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】近接スキャン露光装置１は、複数のマスク保持部１１より搬入側の基板搬送機構１０上に、基板Ｗ上のごみを検出するための異物検出機構４０を有する。異物検出機構４０によって基板Ｗ上に付着したごみが検出されると、制御部１５は、ごみの高さに応じてマスク駆動部１２を駆動し、ごみの接触によるマスクＭの破損を防止する。 （もっと読む）

【課題】マスク面を境界とする空間を定義する空間定義部材を使用すべきマスクに応じて変更可能にする。
【解決手段】露光装置ＥＸは、マスク面を境界とする空間を定義する空間定義部材１とともにマスクＭを移動させるマスクステージＭＳＴと、前記空間の圧力を制御する圧力制御器と、複数の空間定義部材１のうち露光処理に使用すべきマスクＭに適合した空間定義部材を当該マスクＭに組み合わせるための操作機構ＭＬとを備える。 （もっと読む）