【課題】可動部の場所を短時間に検出できるロボットを提供する。
【解決手段】可動部を有するロボットであって、可動部に配置され超音波信号を発信する複数のロボット用超音波タグ１３と、ロボット用超音波タグ１３が発信した超音波信号を受信する３個以上のロボット用超音波受信装置１９と、複数のロボット用超音波受信装置１９が受信する超音波信号の到達時間を用いてロボット用超音波タグ１３の場所を検出する発信位置演算部と、を有し、発信位置演算部は検出した複数のロボット用超音波タグにおける場所の情報から前記ロボットの姿勢を検出する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置で基板を搬送する基板搬送装置において、昇降する可動子が目的の位置に到達したことを確実に確認できる構成を提供し、それにより基板の破損を防止できるようにする。
【解決手段】アームとハンドを搭載した可動子５を上下に昇降させる昇降部において、装置の起動時に、搬送装置の制御装置で、インクリメンタル式のリニアスケール８のフィードバック値ＬnrＦb₀を、絶対値式エンコーダ１６から得られるフィードバック値ＭtrＦb₀のリニアスケール換算値ＭtrＦb₀'と同じになるよう記憶しなおし、所定のときにフィードバック値ＭtrＦbのリニアスケール換算値ＭtrＦb'とフィードバック値ＬnrＦbとを比較する基板搬送装置とした。 （もっと読む）

【課題】搬送中における基板に対して適切な処置を施すことができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置５０は、第１基板収容部２０と第２基板収容部３０との間を移動可能なフォーク支持体５１と、フォーク支持体に移動可能に支持されたフォーク６０，６５と、を備える。フォークは、第１基板収容部から第２基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置において支持し、第２基板収容部から第１基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置とは異なる第２支持位置において支持する。第１支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置に配置され、第２支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置とは異なる第２待機位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】ノイズに強い光通信方式を採用するとともに、キャリッジの位置ずれ検出を高い信頼性で、かつ安価な構成により実現する。
【解決手段】ガイドレール６の特定位置においてキャリッジ７を検出する近接スイッチ３７，３８，３９および位置検出板４０と、固定側に設けられるコントローラ３１と、キャリッジ７の現在位置を検出するエンコーダと、このエンコーダとコントローラ３１との間で光通信によりデータの授受を行う通信手段とよりなり、コントローラ３１は、キャリッジ７の前記特定位置に対する位置データを記憶する記憶装置と、この記憶装置に記憶されている位置データと、通信手段を介してエンコーダから送信されてくるキャリッジ７の現在位置データとを比較し、その偏差が許容範囲内にあるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 各スライダ２０、３０間の許容最短距離Ｌｍｉｎを、操作者が容易、かつ任意に変更・設定でき、被搬送物２２、３３同士の衝突を容易、かつより確実に防止することができると共に、ティーチング作業等をも安全に行うことを可能にする。
【解決手段】 第一及び第二スライダ２０、３０をそれぞれ独立して移動させるサーボモータ２７、３７に組み込まれたエンコーダ２８、３８の位置検出用信号をスライダ移動制御部１３に取り込んで両スライダ２０、３０の位置を検出して両スライダ２０、３０の移動を制御すると共に、これらの検出位置から両スライダ２０，３０間の距離Ｌを求める。他方、両スライダ２０、３０間の許容最短距離Ｌｍｉｎを任意に設定可能な最短距離設定部１４を設け、上記距離Ｌを許容最短距離Ｌｍｉｎと比較し、距離Ｌが許容最短距離Ｌｍｉｎに達したとき、両スライダ２０、３０の互いに接近する方向への相対的な移動を停止させる。 （もっと読む）

液晶表示パネル、ガラス基板等の薄板状基板を処理装置内に搬送する搬送装置に関し、大型の薄板状基板を搬送する回動アーム（１６）を有する比較的大型のロボット（１４）を備えた搬送装置において、２ｍ程度の高さであっても安定して持ち上げることが可能であり、かつ回動アーム（１６）を伸ばしたときの撓み量を補正した搬送が可能な搬送装置及び薄板状基板搬送システムを提供する。２つの直立支持体（１２）に昇降可能に片持ち支持される水平支持台部（１３）を設け、水平支持台部（１３）に回動アーム（１６）を有する搬送ロボット（１４）を載置する。また、アームを伸ばしたときの撓み量は、水平支持台部（１３）の高さを撓み量に応じて上げることにより補正する。撓み量は、水平支持台部（１３）に載置されるロボット（１４）の設置の角度を変化させることにより補正することも可能である。
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【課題】 簡単かつ信頼性の高い構成で、アームの任意の箇所に加えられた接触力を検出可能な、ロボットアームの接触力検出装置を提供する。
【解決手段】 ロボット本体１においては、ロボットアーム１０１の根元部のロボットベース１０２に力検出器１０３を設けて、ロボットアーム１０１に加わる力を検出する。制御装置２においては、接触力算出部２５０を設けて、ロボットアーム１０１に加わる力からロボットアーム１０１自身の動作による内力を差し引くことにより、ロボットアーム１０１に作用する接触力を算出し、また関節回避量算出部２２０を設けることにより、前記接触力を用いて接触力回避動作を算出し、さらに動作制御部２３０およびモータ制御部２４０を設けることにより、ロボットアーム１０１の接触力回避動作を実行させる。これにより、ロボット本体１の安全な動作を達成する。 （もっと読む）