【課題】突起欠陥部の過研磨を防止すると共に欠陥修正のタクトを短縮する。
【解決手段】平坦な基板５表面に形成された微細パターンの突起欠陥部７を研磨して修正する突起欠陥修正装置であって、前記基板５表面に対向して平滑面２ａを有する研磨板２と、前記研磨板２を前記基板５表面から所定距離だけ離隔した状態で前記基板５に対して相対的にスライド移動させる移動機構３と、を備え、前記研磨板２に移動方向と交差して設けた切削部１７により、前記研磨板２の相対移動に伴って前記突起欠陥部７を切削するものである。 （もっと読む）

【課題】 容易に且つ高精度な加工を可能とするシール部材の加工方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 射出成形された後のシール部材２０の表面を切削して所定寸法に仕上げるシール部材の加工方法であって、シール部材２０固定用の固定部１１０に予め設けられた溝部１１１に、シール部材２０を挿入し、溝部１１１の底部１１１ａからの浮きが生じないように、シール部材２０の切削部近傍を押え部１２０で押え、切削部に対して負のすくい角を有する刃具１３０をシール部材２０の長手方向と交差する方向の全領域に押し当て、刃具１３０を押え部１２０と共にシール部材２０の長手方向に、シール部材２０に対して相対的に移動して切削部の切削を行う。 （もっと読む）