【課題】 本発明は、プレートとヒータとの密着性を高めることで、熱伝導率が向上した、厚みが薄く、かつ、減圧下での使用を可能とするヒータユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の一実施形態に係るヒータユニットにおいては、金属からなる第１及び第２のプレートと、第１のプレートの凹部に配置された、マイカと発熱抵抗体とを有するヒータと、を備え、第１のプレートと第２のプレートとは、圧縮加熱によってろう付接合されている。 （もっと読む）