【課題】そりが生ずるワークに対して簡単にワークのそりを矯正でき、描画精度を向上できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴を水平方向に吐出可能に取り付けられた液滴吐出ヘッド３５を備え、液滴吐出ヘッド３５から液滴を吐出してワーク５に塗布する液滴吐出部３０と、ワーク５を鉛直方向に吊り下げて把持し、ワーク５を液滴吐出部３０の液滴吐出ヘッド３５に対向して保持可能なチャック部７８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＰコーターを用いて基板表面にレジスト膜を形成する場合、基板面内の塗布膜厚の均一性が良好なマスクブランクの製造方法、及び基板面内の塗布膜厚の均一性を向上させることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】転写パターンを形成するための薄膜を有する基板の被塗布面に、液状のレジスト剤２１を収容した液槽２０からノズル２２を通過してノズル先端開口部に到達したレジスト剤を接液させ、基板とノズルとを相対的に移動させることによって、被塗布面にレジスト剤を塗布してレジスト膜を形成する工程を含むマスクブランクの製造方法である。このレジスト膜形成工程において、被塗布面へのレジスト剤２１の塗布中は、前記液槽２０内へレジスト剤を補給しながら液槽内のレジスト剤の液面高さが一定になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】傾斜角が大きい光学部材に対して、均一な光学膜を再現性良く形成する方法及び装置並びにその光学膜を有する光学物品を提供する。
【解決手段】基板１を回転自在な治具20に取り付け、基板１を回転させながら、基板１に光学膜成分を含有する塗布液をノズル40から滴下し、得られた塗膜を乾燥させることにより、基板１上に光学膜を形成する方法であって、基板１を8,000 rpm以上のほぼ一定の速度で回転させながら、基板１に塗布液を滴下した後、治具20の軸ぶれを50μm以下に保持しながら、基板１を上記ほぼ一定の速度で回転させて塗膜を形成する方法。
（もっと読む）

【課題】塗装ヘッドが建築板に衝突することを防止しながらも、鮮明な塗装が可能な建築板の塗装装置を提供する。
【解決手段】計測手段６は、搬送方向において塗装手段の入口側に配置され、建築板１の塗装面１ａの下方に設定した一つの水平面である基準面２ａからの塗装面１ａの高さについて搬送方向に直交する方向における最大高さを計測する。制御手段７は、計測手段６の計測結果を受けて建築板１の搬送方向の所定長さごとに前記計測結果の最大値を求め、建築板１のうち塗装ヘッド３の下方を通過している部位を含む前記所定長さで求めた前記最大値ｔに対して塗装ヘッド３の基準面２ａからの高さ位置が所定値Ｈだけ大きくなるように昇降手段５を駆動する。 （もっと読む）