【課題】滑りにくく作業性に優れ、半導体製造装置用部材として使用可能な炭素複合部材を提供する。
【解決手段】炭素複合部材１は、炭素基材１０上に、熱分解炭素層１１が形成されている。熱分解炭素層１１の表面には突起１２が形成されており、この突起１２は、炭素系粉末１３を核とし、その周りに熱分解炭素を結晶成長させることにより形成される。突起１２の短径は５〜３０００μｍの範囲であり、その面密度は１０^２〜１０^８個／ｍ^２の範囲である。 （もっと読む）

【課題】透明性が優れた導電膜を作製できる微細炭素繊維構造体及びその製法を提供する。
【解決手段】炭素繊維と粒状部とを有する微細炭素繊維構造体であって、当該構造体において少なくとも２つの粒状部が炭素繊維で結合されており、また、炭素繊維の外径のメディアン径をＤ_１とし、粒状部の面積基準の円相当メディアン径をＤ_２としたときに、Ｄ_２／Ｄ_１が１．３〜１０であり、Ｄ_２が０．０５〜０．４μｍであり、炭素繊維メディアン長さが２０μｍ以下であり、粒状部は炭素繊維の成長過程で形成されたものであり、かつ炭素繊維と粒状部とは少なくとも表面においてグラフェン層が連続している炭素繊維構造体である。 （もっと読む）

本発明は、グラファイトが有する面方向の高熱伝導特性を維持しつつ、層方向の熱伝導性も改善した高熱伝導性部材を提供することを目的とする。本発明は、グラファイト系マトリックス中に炭素粒子が分散してなる高熱伝導性部材であって、（１）前記グラファイトを構成する各グラフェン層のｃ軸が実質的に平行であり、（２）前記ｃ軸に垂直な方向の熱伝導率κ‖が、４００Ｗ／ｍ・ｋ以上１０００Ｗ／ｍ・Ｋ以下の範囲であり、（３）前記ｃ軸に平行な方向の熱伝導率κ⊥が、１０Ｗ／ｍ・ｋ以上１００Ｗ／ｍ・ｋ以下の範囲である。
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【課題】強度、特に圧縮強度、曲げ強度などの基本特性が極めて優れ、卓越した補強効果を示す膨張化炭素繊維の特性を活かした膨張化炭素繊維複合材料を提供する。
【解決手段】本発明の膨張化炭素繊維複合材料は、製法としてピッチ系、PAN系あるいは気相成長炭素繊維などの炭素繊維を化学的にあるいは電気化学的にサイジング処理して得た炭素繊維層間化合物あるいは残余化合物を熱分解することによりナノメーターサイズの小繊維形状を得てこれを微少量マトリックスに分散含有させて成形したものである。 （もっと読む）

【課題】 フラーレンを用いた加圧焼結法によって、従来のように異なる結晶からなるものや、ポリマー化したものとは異なり、単一構造を有し、力学的強度、及び電気伝導性の高い優れた特性を備えたガラス状炭素類似構造による緻密な組織を有する緻密硬質導電性カーボンを提供する。
【解決手段】 フラーレンウィスカーを炭素源とし、これを高温（８００〜1２００℃
）で加圧焼結（０．１ＭＰａ〜１０ＧＰａ）し、フラーレン構造をガラス状炭素類似構造に変化させる。 （もっと読む）