【課題】ウェーハ切削工程時に生成されるスラリーから高純度珪素、炭化珪素、及びＰＥＧを回収するための方法、システム、及び装置を提供すること。
【解決手段】ウェーハ切削工程時に生成されるスラリーから高純度珪素、炭化珪素、及びＰＥＧを回収するための方法、システム、及び装置が本明細書に開示される。珪素含有物質は、珪素が豊富な組成物の生成のために処理することができる。珪素含有物質から回収された炭化珪素及びＰＥＧを使用してウェーハソー切削流体を形成することができる。珪素が豊富な組成物は、高純度の堆積珪素を形成するために精製及び／又は使用することができるヨウ素含有組成物と反応させることができる。生成された珪素は、太陽光発電産業又は半導体産業で使用することができる。 （もっと読む）

【課題】固相炭化反応の進行に高温が必要であるという欠点と、高価な原料を使用しなければならないという欠点を同時に解決する。
【解決手段】周期率表の第４Ａ族、第５Ａ族または第６Ａ族の遷移金属、鉄および不可避的不純物を含有するフェロアロイと、炭素を主体とする炭素材料とを、真空または不活性ガス雰囲気下で共粉砕により固相反応させる、該遷移金属を含む炭化物または該遷移金属および鉄を含む複合炭化物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリコンおよび炭化珪素砥粒を含む使用済スラリから、シリコンと炭化珪素を分離抽出して、双方を回収する方法およびそれに用いる装置を提供することを課題とする。
【解決手段】不活性ガス雰囲気下、容器中で炭化珪素粒とシリコン粒とを含む混合物を第１温度に加熱してシリコン粒を溶融させ、次いで得られた溶融シリコンを含む融液を第２温度に保持し、次いで融液の上層部位に取り出し治具を浸漬して取り出し治具に炭化珪素を析出させ、析出した炭化珪素を回収し、かつ容器から精製された溶融シリコンを回収することにより炭化珪素とシリコンとを分離することを特徴とする炭化珪素とシリコンとの分離方法により、上記の課題を解決する。 （もっと読む）

本発明は、炭化珪素結晶中の窒素含量を調整することに関するものであり、また詳しくは、炭化珪素の昇華成長中の窒素の混入を低下させることに関する。本発明は、グロースチャンバ中にすべて水素の雰囲気を提供することによって、成長炭化珪素結晶中の窒素濃度を制御する。水素原子は、成長結晶の表面における窒素原子の混入を実質的に遮断するか、減少させるか又は妨害する。 （もっと読む）