【課題】 エネルギー幅の小さい電子ビームを造り、球面収差補正電子顕微鏡の分解能を更に向上させる。
【解決手段】 電子銃２と観察用試料１１との間に電子線用プリズム３と分散角増幅用レンズ６とアパーチャ８とを設け、該プリズムによって電子線軌道のエネルギー分散を発生させ、分散角増幅用レンズによって分散角を増幅し、その後ろに設けたアパーチャを通り抜ける電子線のみを使って観察用試料の顕微鏡像を作成する。 （もっと読む）

【課題】収差補正器で使用する多数の電源のノイズの影響を低減し、安定した高分解能観察の可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】電子線を試料１８上に照射し、走査させるＳＥＭカラム１０１と、前記試料を載置する試料ステージ８０が格納される試料室と、前記電子線の走査により発生する２次電子を検出する検出器７３と、前記検出器の出力信号をＳＥＭ画像として表示する表示手段と、前記ＳＥＭカラム、前記試料室、前記表示手段を含む各構成部品を制御するための制御ユニット１０３とを備えた荷電粒子線装置において、前記ＳＥＭカラムは、一対の静電レンズ９１、９２と、前記一対の静電レンズの間に置かれた前記電子線の収差を補正する収差補正器１０とを有し、前記一対の加速電極に高電圧を印加して、前記収差補正器を通過する間の前記電子線を加速せしめる構成とする。 （もっと読む）

【課題】レンズアレイの枚数を少なくして小型化を図り、かつ高精度化といった各種条件を高いレベルで実現する荷電粒子線レンズアレイ、露光装置、及びデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】複数の荷電粒子線の電子光学特性を制御する荷電粒子線レンズアレイにおいて、上層電極（第一電極）３０３、中層上電極（第二電極）３０４、中層下電極（第三電極）３０５、下層電極（第四電極）３０６の４枚一組から成り、前記上層電極（第一電極）３０３と前記下層電極（第四電極）３０６を電気的にグランドに接地し、前記中層上電極（第二電極）３０４と前記中層下電極（第三電極）３０５には、それぞれ逆相の電圧を印加する。この荷電粒子線レンズアレイ３０１を露光装置に適用し、かつデバイス製造方法に適用する。 （もっと読む）

【課題】電極と真空用信号ケーブルとの接続が煩雑であり、また、電子光学コラムに長尺のケーブルが多数配置されることとなり、ケーブルの絶縁材に樹脂系の材料等を使用した場合には、その表面からの放出ガスが多いため、高い真空度に到達するまでに時間を要し、到達真空度も低くなる課題があった。
【解決手段】筒状の筒体１と、筒体１の内周面３０に形成された電極２と、筒体１の外周面に所定パターンの溝部３ａを備えるとともに該溝部３ａ内に前記電極２に接続する第１導電パターン３とからなる第１導電パターン３とを有し、内部に電子線２０を通過させる。 （もっと読む）