Fターム[5F031GA46]の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 移送装置、手段 (13,292) | アーム部 (5,670) | 動作 (3,504)
Fターム[5F031GA46]の下位に属するFターム
アームが回転 (1,258)
アームの支持部全体が水平方向に移動 (1,108)
アームの支持部全体が垂直方向に移動 (1,097)
Fターム[5F031GA46]に分類される特許
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移載機
【課題】リンク機構のみで、大きなストロークを確保して大型のガラス板でも、ストッカーなどと干渉することなく、高速で移載できるようにした移載機を提供すること。
【解決手段】先端に搬器4を取り付けた2本一対の搬器支持リンク2と、先端側に搬器支持リンク2を枢着したX字形の主リンク1と、主リンク1の基端側と枢着し、基端側の駆動軸Pにて揺動可能とした2本一対の揺動リンク3とよりなり、揺動リンク3の揺動にて前記リンク機構の屈伸作用で、姿勢を制御しつつ、直線の移載方向の運行軌跡に沿って搬器4を移動するように構成する。
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