【課題】少なくとも１つの光源を使用してエンドエフェクタ・アラインメントを校正するためのシステムおよび方法
【解決手段】プラズマ処理システムにおいてチャックに対するエンドエフェクタのアラインメントを校正するための方法が提供される。方法は、エンドエフェクタからチャックへ第１の光ビームを提供することを含む。方法は、第１の光ビームがチャックの表面を走査するようにあらかじめ定められた校正経路に沿ってエンドエフェクタを移動させることを含む。方法は、また、反射光信号の集合を受信することを含み、反射光信号の集合は、少なくとも、移動時に表面が第１の光ビームを反射するときに生成される。方法は、３つ以上の不連続性を特定するために反射光信号の集合を分析することを含む。３つ以上の不連続性は、第１の光ビームがチャックの縁に当たるときに生成される３つ以上の反射光信号に関係している。方法は、また、３つ以上の不連続性に基づいて３つ以上の座標データ点を決定することも含み、３つ以上の座標データ点は、チャックの縁上の３つ以上の点を表している。方法は、３つ以上の座標データ点に基づいてチャックの中心を決定することを含む。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板を一度に大量に処理できる縦型の高圧アニール水蒸気処理装置を提供する。
【解決手段】圧力容器２２が横臥状態に配置された円筒形状の中間胴部２２Ａと該中間胴部の一方の端部に配置された蓋部材２２Ｂと該中間胴部の他方の端部に配置された密閉部材２２Ｃとを有し、反応容器２４が一端部が閉じられ他端部が開放された容器本体２４Ａと該容器胴部の開放他端部を閉鎖する閉鎖部材２４Ｂとを有し、反応容器の容器本体２４Ａが圧力容器の中間胴部２２Ａの胴部保持手段６０及び反応容器位置決め構造体により浮上支持され、反応容器の閉鎖部材２４Ｂが圧力容器の密閉部材２２Ｃの係止手段、把持手段及び連結手段により浮上支持され、反応容器２４内にカセットユニット保持台４０が設けてあり、反応容器２４と圧力容器２２との間に反応容器支承手段が設けてある高圧アニール水蒸気処理装置。 （もっと読む）

【課題】改善された移送ユニットを有するリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、交換可能な対象物を含むリソグラフィ・プロセスを実行する処理ユニットを備え、処理ユニットは、放射のビームを提供する照明システムと、放射のビームに所望のパターンを与えるパターニング・デバイスを支持するように構成された支持構造体と、基板を保持するように構成された基板ホルダと、パターン形成されたビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムとを含む。リソグラフィ装置は、また単一のロボットを備える移送ユニットを含む。この単一のロボットは、第１の交換可能な対象物を装填ステーションから前記処理ユニットへ移送し、且つ第２の交換可能な対象物を処理ユニットから排出ステーションへ移送するように構成される。 （もっと読む）

【課題】低コスト且つコンパクトな駆動機構によってシート拡張を安定して確実に行うことができるシート拡張装置を提供する。
【解決手段】チップピックアップ装置に用いられウェハリング９に保持されたウェハシート１０を拡張するシート拡張装置において、ウェハリング９を保持した保持プレート７を下降させる保持プレート昇降機構を、保持プレート７を昇降させるエアシリンダ１５と、保持プレート７の下降動作における下降速度を規制する速度規制部材として機能するストッパ部材１７と、ストッパ部材１７を数値制御可能なモータによってベース部材に対して下降させてストッパ部材１７のベース部材に対する下降速度を調整する速度調整手段とで構成する。これにより、駆動力の大きいエアシリンダを用いて、シート拡張動作における保持プレート７の下降速度の精細な制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】筐体内外に収納容器の搬入搬出を行うロードポートにおいて、収納容器の蓋体を装着したり外したりするのを可能とし、構造をシンプルにする。
【解決手段】基板処理装置は、複数の基板を収納し基板出し入れ口を蓋体によって塞がれた収納容器２と、収納容器を載置するロードポートと、該ロードポートで基板出し入れ口に対する蓋体の着脱を行う着脱装置と、ロードポートで収納容器を載置し着脱装置に対して対向方向に遠近動作を行う第一載置ユニット１８Ａと、第一載置ユニットとは別体として設けられロードポートで収納容器を載置し着脱装置に対して昇降を行う第二載置ユニット１８Ｂと、を備える。 （もっと読む）

モジュラクラスタツールが開示される。一実施形態に従って、システムはウエハ移送ステーションを備え、該ウエハ移送ステーションは、複数の半導体ウエハを格納する第１の真空チャンバを含む。システムはまた、機器フロントエンドモジュールインターフェース、および２つ以上のシャトルロックインターフェースを含む。４つのリニアウエハドライブ１１１ａ〜１１１ｄおよびＥＦＥＭ１１５は、スロット弁１２２ａ〜１２２ｅを介して、ウエハ移送ステーション１０１に接続される。各リニアウエハドライブ１１１ａ〜１１１ｄはまた、スロット弁１２３を介して、プロセッシングモジュール１１２に接続される。
（もっと読む）

【課題】静電チャックからウエハを確実に離脱するウエハ離脱方法、ウエハ離脱装置および露光装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷの外周部を搬送アーム４３により所定距離Ｈだけ上昇させる。所定距離Ｈは、静電チャック２７に残留している状態のウエハＷが跳ね上がらない距離である。ウエハ検出センサ３５によりウエハＷが静電チャック２７に残留吸着していることが検出された場合には、ウエハＷの中央部を強制離脱手段２９の駆動部３３を駆動し、押圧部材３１を上方に移動する。最大移動量は押圧部材３１の上端が静電チャック２７の吸着面２７ｂから高さＨだけ突出する移動量とされている。 （もっと読む）

【課題】ウェハー検査に必要な個別工程を統合することで工程間のロスタイムを解消することができるウェハー検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】本発明による検査装置は、検査完了ウェハーの脱着及び新規検査対象ウェハーのローディングが行われる第１領域、及びウェハーの検査が行われる第２領域を備える検査ステージと、前記検査ステージ上に相互対向するように設けられた複数のウェハー載置部と、前記複数ウェハー載置部が設けられ、回転運動によって各ウェハー載置部の位置を第１領域と第２領域に相互に位置させる回転プレートと、前記第１領域に位置したウェハー載置部から検査完了ウェハーを脱着した後、新規検査対象ウェハーをロードするロボットと、前記第２領域に位置したウェハー載置部にロードされたウェハーの上下面を反転させるウェハー反転手段と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により、密閉性を有し、かつ、基板面内のエッチング量のばらつきを低減させるウェットエッチング装置およびウェットエッチング方法を提供する。
【解決手段】ウェットエッチング装置１は、内部に基板を収容可能であり、エッチングのための薬液を貯留する処理槽２と、処理槽２内に対して半導体基板６を搬送する搬送アーム３ａ・３ｂとを備えている。そして、搬送アーム３ａ・３ｂは、半導体基板６を保持するためのハンドリング部を有しており、上記ハンドリング部が半導体基板６を保持した状態で、半導体基板６を回転させる。 （もっと読む）

回転式チップ取り付けプロセスと製造の手法は、回転プロセスでチップ（例えば、集積回路（ＩＣ））をウェハから取り出すものである。位置決めユニットを備えたチップウェハは、スプロケットホイールの先端部の上方に配置する。この先端部は、ウェハから直接ＩＣをピックアップし、そのＩＣを半連続的にステッピング動作でＩＣを受け入れるウェブに移動させる。スプロケットホイールは、好適には、典型的なピックアンドプレースロボットシステムで使用されるのと同じタイプのチップを含み、（必要であれば）ウェハ平面の薄膜を貫通し、望みどおりにＩＣを取り込み、ＩＣを配置するように構成された真空ヘッドを備える。この位置決めシステムは、ＩＣの配置をウェブ上の正確な位置に保つ。これは、複数のホイールで連続的に位置決めユニットを定位置に移動させるためである。
（もっと読む）

【課題】 既存のロボット本体を交換することなく、基板の搬送可能領域を大きくすることができる基板搬送ロボットのロボットハンドを提供する。
【解決手段】 ロボットハンド２０を伸縮状態とすることによって、ロボットアームの先端部の可動領域では、ウェハ２１の搬送に必要な可動領域に達しない場合であっても、ウェハ２１の搬送に必要なウェハ２１の可動領域を得ることができる。これによってロボット本体を交換することなく、搬送元位置または搬送先位置の変更可能な範囲を広げることができる。またロボットハンド２０を縮退状態とすることで、ロボットアームを構成するアーム部分が他の装置と干渉する可能性を減らすことができ、ロボットの移動における制約を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】大型液晶基板等のカセットを搬送する場合において、スタッカクレーンの大型化、大重量化を回避するとともに、移載速度が速く作業効率の高いストッカを提供する。
【解決手段】垂直方向及び水平方向に複数並べてカセット３５を保管可能な棚本体７（保管棚）を備えるとともに、棚本体７と平行に敷設されたレール２８と、該レール２８上を走行可能なスタッカクレーン５と、カセット３５をストッカ６に対し入出庫するためのコンベアポート１７と、を備える。前記スタッカクレーン５は、垂直方向に昇降自在な昇降フレーム３２と、該昇降フレーム３２上に設置され前記棚本体７に対向して進退自在なリニアスライドフォーク３３とを備える移載手段３６と、この移載手段３６から前記カセット３５を受け継いで前記コンベアポート１７へ受渡しする、ローラ３０を有するコンベアテーブル３４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】小サイズから大サイズまでのガラス基板を離隔して縦姿勢で収納する容器の製作時の寸法誤差があっても、精度良く容器の載置位置や角度の補正を可能にする。
【解決手段】ガラス板収納用箱状容器の位置調整装置において、搬送方向の左右に分離して配置した複数本の搬送ロールからなる搬送コンベアによって、箱状容器の左右の底部が搬送ロールにより支持されて搬出入させる搬送コンベアと、左右に分離した搬送コンベア間に設けた補正テーブルを前後移動可能とする前後位置調整機構と、箱状容器の搬送方向と直交する方向の両側面より押圧挟持し、幅方向の位置を決める側部位置決め手段と、該搬送コンベアを下降させて搬送コンベア上の箱状容器を補正テーブル上に載置させる搬送コンベア昇降手段とからなり、補正テーブル上に載置された容器の溝部内にガラス板を積載可能に容器の載置位置を調整可能とする。 （もっと読む）

【課題】被処理板を収納するカセットの保管用自動倉庫と当該カセットから取り出した被処理板の加工処理を行う処理装置とが組み合わされた設備におけるカセット内の被処理板の支持位置の検出を自動倉庫内での搬送中に行えるようにする。
【解決手段】複数枚の被処理板を多段に収納するカセットＫを立体的に保管するカセット保管棚２５Ａと、この保管棚２５Ａに沿って走行可能で昇降キャレッジ６上にカセット移載手段７を備えた入出庫装置１と、この入出庫装置１により出庫されたカセットＫから被処理板を１枚ずつ取り出して処理装置３０Ａに供給する被処理板取り出し・搬入装置３１Ａとを備えたカセット保管及び被処理板の処理設備であって、前記入出庫装置１の昇降キャレッジ６上に、保管棚２５Ａ内からこの昇降キャレッジ６上に移されたカセットＫ内の被処理板のマッピングデータを得るための被処理板検出装置４２が搭載された構成。 （もっと読む）

【課題】 大型化、重量化する大型フォトマスクを高清浄度で把持し、保管時および運搬時に、マスクが損傷したり、汚染したりすることを防止し、マスクの出し入れが容易なマスク用ケース、及びケース交換装置を提供する。
【解決手段】 大型フォトマスクを収納し搬送するためのトレーと上蓋からなる大型フォトマスク用ケースであって、少なくとも前記ケースの上蓋に金属のフレームと、前記フォトマスクを把持し固定するために前記金属フレームから前記ケース内部に突き出た爪と、前記金属フレームから前記ケースの外側に突き出たハンドルと、を有し、前記トレーと前記上蓋を分離した状態で、前記上蓋の内側に前記フォトマスクを前記爪で固定し、前記上蓋の外側の前記ハンドルを人間あるいは搬送装置が把持して搬送できることを特徴とする。 （もっと読む）

電子ビーム・リソグラフィ・システムは、主室（４）およびゲート弁（７）を介して接続された交換室（５）を備える。ロボット（１５）を用いて、半導体ウェハを搬送するチャック（８）がカセット（１０）とレーザ干渉計ミラー・アセンブリ（１３）との間で移送される。ロボットは、バー（１７）と、チャックを支持するためにバーから側方に延ばされた側部部材（１８）とを備える。

（もっと読む）

【課題】簡易な低床の構造で大きな移動量を得る事が可能な多段伸縮位置決め移動装置の提供。
【解決手段】基台１の片側に立設した固定柱部材２の一対の従動伝動輪２１，２２を枢支するとともに内側面に直動ガイド溝２３を垂直に設ける一方、直動ガイド溝２３に滑嵌する直動スライド３１を延在した初段昇降可動部材３に一対の中間伝動輪３２，３３を枢支するとともに直動ガイド溝３４を垂直に設け、他方、直動ガイド溝３４に滑嵌する直動スライド４１を全長に延在した初段昇降可動部材３と同一の中間段昇降可動部材４を次々と同様に複数多段に組合せて行き、基台１に設けた固定ブロック７に枢支したガイド伝動輪７１と軸一体回転自在な駆動輪１１を上下に配し、最終段昇降可動部材５に始端６１を止着したノンスリップ伝動帯６を、蛇行状に巻掛し、最終段昇降可動部材５の下中間伝動輪５２を経た終端６２を始端６１に臨ませて止着する特徴的構成手段の採用。
（もっと読む）

【課題】 チャックテーブルに吸着保持した半導体ウエハの表面に、外周面が弾性変形可能な貼付けローラを介して保護テープを貼り付ける保護テープ貼付け方法において、貼付けられた保護テープの収縮方向への応力を極力小さくして、薄型化の後におけるウエハの反りや歪みを少なくすることができるようにする。
【解決手段】 チャックテーブル１０に吸着保持した半導体ウエハＷの表面に、外周面が弾性変形可能な貼付けローラ２５を介して保護テープＴを貼り付ける保護テープ貼付け方法において、半導体ウエハＷの外周部に中央部よりも先行して保護テープＴを貼り付ける。 （もっと読む）

本発明のフークハンドリング装置は、ワークを載せるトレイを担持すると共に所定方向に往復動自在な可動テーブル（２１）、ワークに対して所定の処理を施す処理部（３０）を略中央に挟むようにしてトレイと処理部との間で往復動自在に配置され，かつ，ワークを搬送するべく水平方向及び鉛直方向に駆動される関節型アーム（４１０）及びその先端に設けら
れた複数の吸着ヘッド（４２０）をそれぞれ有する一対のハンドラ（４０，４０’）、一対のハンドラ及び可動テーブルを駆動制御する制御ユニット（７０）を備え、制御ユニットは、トレイから処理部への未処理ワークの搬入動作及び処理部からトレイへの処理済みワークの搬出動作の両動作を，一対のハンドラにそれぞれ行わせるように駆動制御する。これにより、装置が完全に停止するのを防止できる。
（もっと読む）

【課題】複数のロボットを用いた加工システムのスケジュール用の技術を提供する。
【解決手段】ロボット20を用いた製造システム10であって、製造プロセスの一連のステージ14間で材料を搬送するために複数のロボット20を備えていてもよい。効率を向上させるため、これらロボット20の各々は、加工の流れとは逆に、操作の周期的なスケジュールに従って、独立して操作されてもよい。 （もっと読む）