【課題】 搬送用ガイドローラ６０の破損を防止することが可能な、搬送装置を提供する。
【解決手段】 被処理基板を縦型支持するキャリア３０と、キャリア３０の第１搬送経路１６および第２搬送経路１８と、搬送経路１６，１８に沿ってキャリア３０を案内する搬送用ガイドローラ６０と、第１搬送経路１６から第２搬送経路１８へとキャリア３０を移載する際に、キャリア３０を第２搬送経路１８上に案内する昇降用ガイドローラ７０とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネル用のガラス板を板厚方向に多数収納した板材収納カセットから、板材を一枚ずつ取り出す板材供給装置において、従来は一定高さに固定した搬送コンベアに対して板材収納カセットを上下動させる構成であったので、複数の板材供給位置を設定した場合に、構成が複雑になって据え付け期間の短縮化及びメンテナンスの簡略化を図ることが困難であった。本発明では、構成を簡略化して据え付け期間の短縮化等を図ることができるようにする。
【解決手段】 多数の板材を収納した板材収納カセット１０を一定高さに保持し、搬送コンベア３０をコンベア昇降装置５０により１ピッチずつ上昇させて板材Ｗを一枚ずつ取り出す構成とする。 （もっと読む）

【課題】 搬送経路１６，１８に存在する全ての基板を同時に搬送することが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】 被処理基板を縦型保持するキャリア３０と、キャリア３０の第１搬送経路１６および第２搬送経路１８と、搬送経路１６，１８に沿って配設された、前記キャリア３０の上部を非接触支持する支持装置４５と、第１搬送経路１６から第２搬送経路１８にキャリア３０を移載するため、キャリア３０を昇降させる昇降装置４０とを備え、前記支持装置４５は、昇降装置４０に同期して昇降可能とされている構成とした。 （もっと読む）

【課題】大型基板の貼り合せを行うチャンバ内への基板受け渡し時間を短縮し、かつ高精
度の貼り合せを行えるようにする必要がある。
【解決手段】チャンバ内に上下に２枚の基板を対向して間隔を開けて保持するための上テ
ーブルと下テーブルとを設け、この上テーブルを移動してテーブル間隔を縮めることで基
板を貼り合せる基板組み立て装置に基板を搬出入するロボットにおいて、基板を保持する
複数のアームを有し、これらアームに上下２枚の基板を保持して前記基板組み立て装置の
前に移動し、これら上下２枚の基板を前記基板組み立て装置内に搬入し終わった後、前記
基板組み立て装置にて貼り合わされた基板を保持しているように構成した。 （もっと読む）

【課題】 ダブルアーム型ロボットの旋回半径を小さくする。
【解決手段】 関節部３，４，５により回転可能に連結されて回転駆動源による回転力を伝達し所望の動作をさせるアーム２を二組備えてなるダブルアーム型ロボット１において、アーム２を構成する上腕６と前腕７とを伸ばしきった伸長位置と上腕６と前腕７とを折り畳みハンドを引き込んだ縮み位置との間を移動するようになされ、アーム２を縮み位置に移動させたときに、当該アーム２に取り付けられたそれぞれのハンド部８がアーム２の基端の関節部３の間に位置し、かつ、二組の肘関節部４を二組ともにハンド部８の移動方向に関して同方向でかつ水平方向側方に突出させ、ハンド部８の移動方向に関して肘関節部４が突出する方向と反対側に移動機構１１を配置するようにしている。 （もっと読む）

【課題】基板を保存する複数のラックを有し、コンベヤーを用いてラックの中の１つを任意に取り出せるカセット。
【解決手段】各カセットラック３０で複数のローラーを用いて基板をカセット１０の中に搬入し、またはカセット１０から基板を搬出する作業を行う。２列の連動するギアは、ローラーを同じ方向の同じ速度で回転させるのに用いられる。また、これらのローラーは、各ラック３０の中の基板を支持する機械の支持物として用いられる。搬送台８０は複数のローラーと２列の連動するギアを含み、この搬送台８０は、コンベヤーとして用いられ、カセットラック３０、搬送台８０の上のギアが同じようにカセット台のギアに接合した後、搬送台８０によって基板の搬送または搬出を行う。 （もっと読む）

【課題】 露光経過時間の違いにより露光パターンの線幅等に誤差が発生するのを防止することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 露光された基板Ｐを搬送する搬送装置２において、前記基板Ｐを載置した状態で移動させる移動手段８ａ，２２，２４と、前記露光された基板Ｐの温度管理を行なう温度管理手段とを備え、前記温度管理手段は、露光経過時間に基づいて、前記基板Ｐの領域ごとに温度管理を行なう。 （もっと読む）

【課題】非接触支持されるワークの接触／非接触の状態を簡易かつ確実に検査することができる非接触支持装置の検査方法を提供する。
【解決手段】搬送装置は、導電性を有しかつ平坦面である表面部から気体を噴出させる浮上テーブル１２を備え、該浮上テーブル１２による気体の噴出に伴い板状のワークＷが非接触状態で支持される。かかる搬送装置の接触検査に際し、テストワークＷＴを導電性面側を下にして浮上テーブル１２に搭載するとともに、浮上テーブル１２の表面部とテストワークＷＴとにテスタＴを接続する。そして、その状態で浮上テーブル１２から気体を噴出させてテストワークＷＴを浮上状態とし、テスタＴによる計測結果に基づきこれら浮上テーブル１２とテストワークＷＴとの接触の状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】設置スペースが少なくてすむばかりか、基板の供給と搬出とを同じ箇所で行なうことができる処理装置を提供することにある。
【解決手段】装置本体１と、装置本体に設けられ基板を所定の角度で傾斜させて搬送する搬送ローラと、搬送ローラによって搬送される基板を処理する処理部３と、装置本体の上部に設けられ基板を水平な状態で、傾斜させて搬送する搬送方向と逆方向に搬送する上部搬送部４と、装置本体の少なくとも一端に設けられ上部搬送部によって水平に搬送された基板を受けると、この基板を下降させると同時に所定の角度に傾斜させて搬送ローラに受け渡す傾斜受け渡しユニット６１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】搬送時間及び在庫品を最少に抑えることができる平板表示装置製造用搬送システムを提供する。
【解決手段】平板表示装置製造用搬送システムは、基板が積載された搬送容器１０を搬送する搬送装置と、搬送容器１０を製造工程の設備に移積する容器移積装置３００を備え、搬送装置は地面上に設けられた固定部材、及び固定部材に沿って移動する複数個の移動部材１４０を備える。これにより、平板表示装置製造用搬送システムは、リニアモータの駆動で推進される搬送装置及び容器移積装置３００を利用することで搬送時間を短縮することができ、基板を搬送容器１０内に積載して搬送することで安全搬送を実現することができる。 （もっと読む）