芝浦メカトロニクス株式会社により出願された特許

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【課題】従来のような二流体ノズルや高圧ジェットを用いた場合、たとえば、パターン等が形成された基板を洗浄する場合、洗浄液の供給される力によって、基板上に形成されたパターンに損傷が生じる場合があり、一方、損傷を防止するために供給する力を抑制すれば、洗浄を十分に行えないという問題があった。
【解決手段】微細気泡を含む洗浄液を用いて基板の洗浄を行う。洗浄液を供給するノズルの先端を、基板上に形成された液膜の液面より低い位置に配置し、ノズルの先端部分付近(微細気泡発生領域)を洗浄液が通過する際に、洗浄液中に微細気泡が発生するように構成する。 (もっと読む)


【課題】配線膜を良好に形成する。
【解決手段】配線基板の製造装置1は、基板K上に所定の配線パターンの配線膜を形成して配線基板を製造する配線基板の製造装置であって、基板Kに非導通の金属膜を形成する金属膜の形成装置2と、基板Kに形成された非導通の金属膜上に、導電性インクの液滴を吐出して配線膜を形成する配線膜の形成装置3とを備える。これにより、導電性インク中の金属粒子が非導通の金属膜に密着して固定されるため、加熱などによる乾燥後も基板上の配線膜の形状を維持することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することのできる貼り合せ板状体検査装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラ50と、照明手段51と、照明手段51により照明がなされている状態で貼り合せ板状体10を走査するラインセンサカメラ50から出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、処理ユニットは、映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、検査画像情報から得られる第1板状体11の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、検査ライン上での第1板状体11の縁端と接着剤13の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する。 (もっと読む)


【課題】接着剤を介して貼り合わされたワーク間において、所定の領域に気泡の残留がなく、良品率の高い貼合構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ワークS1における視野範囲Wの周囲に、接着剤により形成されたシール部3、シール部3内に接着剤を充填した接着剤充填部4、シール部3及び接着剤充填部4に貼り合わされたワークを有する。シール部3は、視野範囲Wを囲む線上に、ワークS1の平坦面から隆起した土手部31と、土手部31の一部が欠如した切欠部31a、切欠部31aから流出した接着剤の流動方向を変換する第1の変換部32及び第2の変換部33、接着剤の流路を延長する延長部34を有する。 (もっと読む)


【課題】接着剤を介して貼り合わされたワーク間において、所定の領域に気泡の残留がなく、良品率の高い貼合構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】一部に平坦面を有するワークS1と、ワークS1の平坦面における視野範囲Wの周囲に、平坦面から隆起するように、接着剤により形成されたシール部3と、シール部3によって囲まれた領域に接着剤が充填された接着剤充填部4と、シール部3及び接着剤充填部4に対して貼り合わされた第2のワークとを有する。シール部3は、ワークS1の平面側から見て、シール部3の内縁の一部を、視野範囲Wの外方へ拡大させた拡張部31を有する。 (もっと読む)


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