【課題】高い検出感度を有する物理量検出デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る物理量検出デバイス１００は、基部１０と、基部１０に継ぎ手部２０を介して設けられており、物理量の変化に応じて変位する可動部３０を備えている検出部３５と、基部１０から延出しており、可動部３０と間隙を介して可動部３０の周囲に設けられている枠部５０と、を含み、基部１０は、第１固定部８０を備えている第１脚部１２と、第２固定部８２を備えている第２脚部１６と、を含み、枠部５０は、枠固定部８４を備えており、平面視において、第１固定部８０、第２固定部８２、および枠固定部８４に囲まれた範囲Ａ内に、重心Ｇがある。 （もっと読む）

【課題】物理量検出素子に応力が伝達することを抑制できる物理量検出デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る物理量検出デバイス１００は、基部１０と、基部１０に継ぎ手部１２を介して支持されており、物理量の変化に応じて変位する可動部１４と、基部１０と可動部１４とに掛け渡されている物理量検出素子４０と、基部１０から延出しており、第１固定部２４を備えている第１支持部２０と、基部１０から延出しており、第２固定部３４を備えている第２支持部３０と、を含み、第１固定部２４と第２固定部３４との間の距離Ｌ１は、第１支持部２０の基部１０との根元の部分２３と第２支持部３０の基部１０との根元の部分３３との間の距離Ｌ２よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】可動部や物理量検出素子の破損を低減可能な物理量検出器の提供。
【解決手段】加速度検出器１は、ベース部１０と、ベース部１０に継ぎ手部１１を介して接続された板状の可動部１２と、継ぎ手部１１を跨いでベース部１０と可動部１２とに架け渡された加速度検出素子１３と、平面視において、ベース部１０から可動部１２に沿って延びる部位を有した支持部１４と、を備え、可動部１２は、両主面１０ａ，１０ｂに質量部１５が配置され、可動部１２は、主面１０ａと交差する第１方向（Ｚ軸方向）に加わる力に応じて、継ぎ手部１１を支点にして第１方向に変位可能であり、質量部１５は、平面視において、一部が支持部１４と重なるように配置され、質量部１５と支持部１４とが重なる領域では、質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが設けられ、支持部１４には、Ｚ軸方向の厚さが隣接部よりも薄い肉薄部１４ｃが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】、検出精度、検出感度などの物理量検出特性を向上させることが可能な物理量検出器の提供。
【解決手段】加速度検出器１は、圧電性を有し、慣性力によって撓むことが可能な板状の可撓部（ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２）と、ベース部１０及び可動部１２の主面１０ａ，１２ａに搭載された加速度検出素子１３と、可動部１２に搭載された導電性を有する質量部１５と、ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２と加速度検出素子１３と質量部１５とを収容するパッケージ２０と、を備え、加速度検出素子１３には、検出した加速度を電気信号として取り出す配線１３ｆ，１３ｇが設けられ、質量部１５は、所望の電位に保持されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電片に加わる外力を高精度にかつ容易に検出することができる外力検出装置を提供すること。
【解決手段】水晶片２を容器１内に片持ちで支持する。水晶片２の例えば中央部にて上面及び下面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶片２の下面側の先端部に、下面側の励振電極４１に引き出し電極４２を介して接続される可動電極５を形成し、この可動電極５に対向して容器１の底部に固定電極６を設ける。上面側の励振電極３１と固定電極６とを発振回路１４に接続する。水晶片２に外力が加わって撓むと、可動電極５と固定電極６との間の容量が変わり、この容量変化を水晶片の発振周波数の変化として捉える。 （もっと読む）

【課題】検出感度、検出精度などの物理量検出特性を向上させることが可能な物理量検出器、この物理量検出器を備えた物理量検出デバイス及び電子機器、並びに物理量検出器の製造方法の提供。
【解決手段】加速度検出器１は、ベース部１０と、ベース部１０に継ぎ手部１１を介して接続され、継ぎ手部１１を支点にして変位可能な平板状の可動部１２と、ベース部１０と可動部１２とに継ぎ手部１１を跨いで架け渡された状態で固定され、可動部１２の変位により物理量を検出する物理量検出素子１３と、を備え、可動部１２は、主面１２ａに質量部１５が搭載され、質量部１５は、肉厚部１５ａと肉厚部１５ａよりも薄い質量調整用の肉薄部１５ｂ，１５ｃとを有し、肉薄部１５ｂ，１５ｃは、主面１２ａとの間に空隙を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子を用いた物理量センサに関し、物理量センサにおける検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ８の開口部１１に振動子９とＩＣ１０を収容し、この開口部１１に上蓋１２を接着して封口する物理力センサにおいて、開口部１１とパッケージ８の外部を連通させる通気口２６を、上蓋１２における振動子９との非対向部分、或いは接着層３１に設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】検出感度、検出精度などの物理量検出特性を向上させることが可能な物理量検出器の製造方法の提供。
【解決手段】ベース部１０と、継ぎ手部１１と、可動部１２と、ベース部１０と可動部１２とに継ぎ手部１１を跨いで架け渡された加速度検出素子１３と、を備えた加速度検出器１の製造方法であって、ベース部１０と、継ぎ手部１１と、可動部１２と、を一体で形成する素子支持体（１０１）形成工程と、加速度検出素子１３をベース部１０及び可動部１２に対して位置決めする位置決め部１０２ａ，１０２ｂを、加速度検出素子１３と一体で形成する加速度検出素子体（１０２）形成工程と、加速度検出素子１３をベース部１０と可動部１２とに架け渡し、位置決め部１０２ａ，１０２ｂを用いて位置決めし、ベース部１０と可動部１２とに固定する加速度検出素子体固定工程と、位置決め部１０２ａ，１０２ｂを除去する位置決め部除去工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】温度特性がよい物理量センサーを実現する。
【解決手段】加速度センサー１０は、固定部２１と、固定部２１に継手部２４を介して接続された板状の可動部２３を有するカンチレバー２０と、第１の支持部３４と第２の支持部３３とを有し、第１の支持部３４は固定部２１の主面に固定され、第２の支持部３３は可動部２３の主面に固定される加速度検出素子３０と、可動部２３の主面上であって、第２の支持部３３よりも可動部２３の先端側に配設される質量部５１、及び質量部５１から二股に延在され歪緩衝部５４，５５を介して連続する第１の固定端部５２と第２の固定端部５３とを有し、質量部５１と第１の固定端部５２と第２の固定端部５３とが、可動部２１の主面に固定されていて、歪緩衝部５４，５５は可動部２３に固定されていない錘体５０と、を備え、可動部２３は継手部２４を支点にして主面２０ａと交差する方向に変位可能である。 （もっと読む）