【課題】投影露光装置において、広い露光エリアを確保しながら、高精度のパターンを形成する。
【解決手段】投影露光装置の投影光学系３０において、第１レンズ群３２、第２レンズ群３４、第３レンズ群３６、第４レンズ群３８を備え、第１レンズ群３２と第２、３レンズ群３４、３６との間に、偏光ビームスプリッタ４０を配置する。そして、マスクＰＭの光軸上点からのマージナル光線ＭＬ１、ＭＬ２が偏光ビームスプリッタ４０の入射面に対し垂直入射するように、第１レンズ群３２の光学特性が定められている。 （もっと読む）

【課題】マイクロリソグラフィ投影露光装置用の照明光学系を提供する。
【解決手段】マイクロリソグラフィ投影露光装置（１）用の照明光学系は、光源（２、２’）からの照明光（３、３’）で物体表面（１９）を照明するのに用いられる。少なくとも二つの照明設定を照明光学系の瞳面（１２）に設定するために、少なくとも二つの個々の光学モジュール（２８、２９）を用いる。光学モジュールの上流にある光路には、第１の光学モジュール（２８）及び／又は第２の光学モジュール（２９）に照明光（３、３’）を任意に送る分離要素（９）がある。二つの光学モジュール（２８、２９）の下流にある光路には、第１の光学モジュール（２８）及び／又は第２の光学モジュール（２９）を通過した照明光（３、３’）を照明領域に送る結合要素（３５）がある。これにより、照明光学系と光源をも有する照明系とがもたらされ、異なる照明設定間の高速切り換えが可能となる。 （もっと読む）

【課題】温度の影響による変形を低減する、ＥＵＶリソグラフィ用の光学機構、特に投影レンズと、光学素子を有する該光学機構を構成する方法とを提供する。
【解決手段】反射面３１ａ及び第１ゼロ交差温度Ｔ_ＺＣ１でゼロ交差を有する温度依存性の熱膨張率を有するＴｉＯ_２ドープ石英ガラスから構成された基板３２を備える第２ミラー２２と、反射面及び第１ゼロ交差温度とは異なる第２ゼロ交差温度でゼロ交差を有する温度依存性の熱膨張率を有するＴｉＯ_２ドープ石英ガラスから構成された第２基板を備える第２光学素子とを備え、第１ゼロ交差温度における第１基板３２の熱膨張率の勾配（ΔＣＴＥ_１>）及び／又は第２ゼロ交差温度における第２基板の熱膨張率の勾配（ΔＣＴＥ_２）は負の符号を有する光学機構に関する。 （もっと読む）

【課題】スペックルノイズが目立つことなく、被照明領域（像形成領域）を均一に照明する照明装置、光学装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る照明装置は、コヒーレント光を出射する光源１１と、光源１１から出射されたコヒーレント光を走査する光走査部１５と、複数の要素レンズを有し、光走査部で走査された光を発散させるレンズアレイ２２と、レンズアレイ２２の各点から出射される発散光の発散角度を抑えるとともに、発散角度の抑えられた発散光が被照明領域を経時的に重ねて照明するように設定された光路変換系２３と、を備え、レンズアレイ２２の入射側あるいは出射側には、隣接する要素レンズ間で通過光束同士が干渉しないように、偏光制御素子もしくは光路差長を与える光学素子が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】読取ヘッドの製造コストの低減と小型化を図る
【解決手段】光学素子１５は、光学ブロック２０と、この光学ブロック２０の第１，第２曲面２３，２５の表面に形成された第１反射膜２１及び第２反射膜２２と、補償光学ブロック１８ａから構成される。第１反射膜２１が形成された第１曲面２３は、Ｐ偏光を透過し、Ｓ偏光を反射する。光源部１３ａからＰ偏光の照明光が第１曲面２３の外面に入射し、これが透過して対物面２４から原稿１１に照射される。原稿１１からの物体光が対物面２４から第１曲面２３に入射する。物体光のうちＰ偏光の正反射光は、第１曲面２３を透過し、Ｓ偏光となる拡散反射光が第２曲面２５に向けて反射される。反射光は、第２反射膜２２が形成された第２曲面２５で反射されて射出面２６から光学ブロック２０の外部に射出されて結像する。 （もっと読む）

【課題】広いスペクトル幅を有する発光体を用いる場合であっても、色再現範囲の拡大を図ることを可能とする投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】投写型映像表示装置１００は、励起光を出射する励起光源（光源１０Ｂ_１）及び所定色成分光を出射する固体光源（光源１０Ｂ_２又は光源１０Ｒ）を有する光源ユニット１０と、カラーホイール２０と、複数のＤＭＤ４０と、投写ユニット５０とを備える。カラーホイール２０は、励起光に応じて発光光を発光する発光体が設けられた回転面２１を有する。分離光学素子（プリズム２２０又はプリズム２３０）は、発光光のうち、所定波長を有する主成分光を第１光変調素子（ＤＭＤ４０Ｇ）に至る第１光路に分離するとともに、発光光のうち、主成分光以外の残成分光を（ＤＭＤ４０Ｂ又はＤＭＤ４０Ｒ）に至る第２光路に分離する。 （もっと読む）

【課題】接着剤を用いて光学素子を光学素子保持装置に接着固定する場合でも、光学素子の歪みや変形を極力除去して、その光学素子を光学素子保持装置に固定することのできる光学素子保持装置への光学素子の接着方法を提供する。
【解決手段】本発明の光学素子保持装置２０への光学素子ＬＥＮの接着方法は、光エネルギーの照射により硬化する第１接着剤２０ｓを用いて局所的に光学素子ＬＥＮを保持枠部材２０Ｃに仮止めするステップと、光学素子ＬＥＮの外周部２０ｔを第１接着剤２０ｓよりも硬化時間の遅い第２接着剤２０ｘを用いて保持枠部材２０Ｃに接着固定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 必要以上の広い視野角を持つことによるエネルギーの無駄をなくし、以て省エネに貢献することができる狭視野角の画像表示装置を提供する。
【解決手段】焦点距離ｆの凸レンズ手段１２と、凸レンズ手段１２の入射面１４側に設けた入射面からほぼａの距離にアイリス面がある投射光学系１０と、上記入射面１４に画像を結像できる透過型画像表示手段（液晶パネル）８を備え、凸レンズ手段１２の出射面１６から（１／ａ） ＋（１／ｂ） ＝ １／ｆの等式を満たす距離ｂに空間結像アイリス面１８が生じるようにしてなる。 （もっと読む）

【課題】 極紫外スペクトル範囲（ＥＵＶ）内の波長に向けて構成された反射投影レンズを用いてマスクを層上に結像するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置を提供する。
【解決手段】 マイクロリソグラフィ投影露光装置は、投影光源（ＰＬＳ）と、加熱光源（ＨＬＳ）と、反射投影レンズ（２６）と、好ましくは投影レンズ（２６）の外側に配置され、ドライバ（１２４）を用いて第１の位置と第２の位置との間で変位させることができる反射スイッチング要素（１２２；２２２；３２２；４２２；１４；１４，１４０）とを含む。この場合、スイッチング要素の第１の位置では、投影光（ＰＬ）のみが投影レンズ（２６）に入射することができ、スイッチング要素の第２の位置では、加熱光（ＨＬ）のみがこの投影レンズに入射することができる。 （もっと読む）