【課題】 本発明が解決しようとする課題は、基板処理部の端部領域における紫外線照度の低下を抑制することで、照射エリアの大面積化を図ることが可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】 実施形態の紫外線照射装置は、紫外線処理される基板Ａが配置される基板処理部１と、基板処理部１と面するように格子状に配置された複数の紫外線照射ユニット２１を有する紫外線照射部２と、を具備する紫外線照射装置において、紫外線照射部２は、第１の紫外線照射ユニット２１Ａと、前記第１の紫外線照射ユニット２１Ａに対して基板処理部１の位置における紫外線照度のピーク値Ｐが高く、かつ、ピーク値Ｐの５０％の値以上を照射する照射面積Ｓが狭い第２の紫外線照射ユニット２１Ｂとを備え、紫外線照射部２の配列の少なくとも一部の行または列においてその中央領域に第１の紫外線照射ユニット２１Ａを、その端部領域に第２の紫外線照射ユニット２１Ｂを配列する。 （もっと読む）

【課題】 この無電極ランプはランプホルダー、金属放熱部、動力連結装置とランプから構成されています。動力連結装置は芯金と誘導コイルから構成されています。ランプにはコイル腔があります。その特徴は金属放熱部にクーリングフィンがいくつあって、中心から四方へ発射型で配置しております。
【解決手段】 本実用新型には金属放熱部があり、その特別な構造で熱伝導の面積を拡大して、放熱能力を改善して、コイル腔の温度を減らして、無電極ランプの使用寿命を極延長しました。 （もっと読む）

【課題】例えば幅広ビーム源への使用に好適な、実用性に優れるラインプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】ラインプラズマ発生装置１０は、長手方向にマイクロ波を伝搬するための導波管１４と、長手方向に沿って配設され、導波管１４にプラズマを閉じ込めるための長手方向に交差する磁場を発生させるための磁石１６と、を備える。導波管１４は、側壁２４から管内に突き出して長手方向に延びるリッジ部２６を備え、リッジ部２６は側壁２４の外表面に長手方向に延びる凹部２８を形成してもよい。磁石１６は、凹部２８に配設されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな光照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態の光照射装置は、内部に細長い第１の空間として空間２１を備える、長尺でかつ幅がＷ１である給気側ボックス（第１のボックス）２と、空間２１と連通するように給気側ボックス２に接続された給気ダクト（第１のダクト）４と、給気側ボックス２の長手方向に沿って配置されたＵＶ照射モジュール（光照射源）５１〜５６と、内部に細長い第２の空間として空間７１を備え、空間７１の長手方向が空間２１の長手方向に沿うように配置された、長尺でかつ幅がＷ２であり、Ｗ２＜Ｗ１を満たす排気側ボックス（第２のボックス）７と、空間７１と連通するように給気側ボックス７に接続された排気ダクト（第２のダクト）８と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】それぞれの光照射源に略均一に冷却風を送風可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態の紫外線照射装置（光照射装置）は、給気ダクト４を介して内部に冷却媒体を給気可能な長尺で中空の給気ボックス２（ボックス）と、給気ボックス４の長手方向に沿って複数配置されたＵＶ照射モジュール５１〜５６（光照射源）と、給気ボックス４の長手方向に沿って複数設けられた、内部に空間６１１〜６６１を備え、空間６１１〜６６１を介してＵＶ照射モジュール５１〜５６に冷却媒体を供給する分岐ダクト６１〜６６と、複数の分岐ダクト６１〜６６の近傍に設けられた、空間６１１〜６６１において障害物となることにより、分岐ダクト６１〜６６を通過する冷却媒体の風量を調整可能な風量調整機構９１〜９６と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で複数の紫外線照射装置を適切に冷却できる紫外線照射システムを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、紫外線照射システムは、複数の紫外線照射装置を有する紫外線照射モジュールと、複数の冷却ダクトと、複数のブロアと、制御装置とを備えている。紫外線照射モジュールは複数のグループにグループ分けされ、複数の冷却ダクトはグループごとに設けられている。同じグループに属する複数の紫外線照射装置のそれぞれのランプハウスの内部は、グループごとに設けられた共通の冷却ダクトに通じている。制御装置は、同じグループに属する複数の紫外線照射装置の中で熱負荷が最大の紫外線照射装置を検知して、熱負荷が最大の紫外線照射装置に合わせた風量制御をそれぞれのグループごとに実行する。 （もっと読む）

【課題】超高圧水銀ランプにおいて、アーク長を長くすることなくかつ過大なランプ電流を流すことなく水銀密度を増加して演色性を改善する。
【解決手段】発光管及び発光管の放電空間に突出した一対の電極を備えた超高圧水銀ランプにおいて、放電空間の水銀密度ρ［ｍｇ／ｃｃ］、電力Ｐ［Ｗ］、内容積Ｖ［ｃｃ］について、Ｐ／Ｖ≧−４．３３ρ＋５２４５、及び、１５００≦Ｐ／Ｖ≦３１００を満たし、平均演色評価数Ｒａが８０以上であり、マイクロ波電力によって点灯される構成とした。 （もっと読む）

【課題】 効率的に放電管の全長にわたってほぼ均一に放電を生起させることのできる無電極放電紫外放射装置を備えた高効率の液体処理装置の提供。
【解決手段】 被処理液体の流入口から流出口に至る処理液体流路に配設されて前記流路を通る処理液体に対して紫外線を照射する放電管を有する液体処理装置において、前記放電管を内部を貫通する空洞部を有してなる筒状に形成し、該空洞部内に誘導コイルを巻き回したフェライトコアを配置する。誘導コイルは複数あって、各誘導コイルは放電管の長手方向に沿って分散してフェライトコアに配設される。複数の誘導コイルを分散して巻き回したフェライトコアの外周を囲むように放電管を配置したので、高い周波数でコイルを励磁する必要がなく、また放電を放電管の一部に集中させることなく放電管全長にわたって均一的に生起させることができる。更に、フェライトコアを冷却する手段を講ずる必要が無く簡便な構成である。 （もっと読む）

【課題】 常に良好な液体処理能力を発揮することのできるようにした無電極放電管からなる液体処理装置の提供。
【解決手段】 リード線を介して通電される誘導コイルを巻き回したフェライトコアが一部を囲む形で無電極の紫外線放電管と鎖交して配置される凹凸ある複雑な形状の装置全体を、紫外線透過性の被膜部材によって被膜する。こうすると、装置全体が均一形状でなく凹凸形状であっても被膜部材で覆うことのできない箇所を生じさせることなく、そうした箇所からの被処理液体の侵入を許してしまうことがない。特には被膜部材により紫外線放電管と被処理液体とが直接的に接した状態とならないが故に、被処理液体の汚れが紫外線放電管に付着することがなくまた温度変化による紫外線放電管からの紫外線の出力低下を抑制することができる。したがって、液体処理能力を常に良好に発揮することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】それぞれの光照射源に略均一に冷却風を送風可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】光照射装置は、内部に細長い空間２１を備える長尺の給気側ボックス２と、出風口４１を備え、出風口４１から空間２１に冷却媒体を供給可能なように、給気側ボックス２に接続された給気ダクト４と、空間２１の長手方向に沿うように配置されたＵＶ照射モジュール５１〜５７（光照射源）を具備している。さらに、給気側ボックス２１は、空間２１の長手方向に沿うように設けられた分岐ダクト６１〜６７と、分岐ダクト６１における空間２１の高さＨ１を、分岐ダクト６２における空間２１の高さＨ２よりも低くするように設けられた傾斜面２３をさらに備えているとともに、給気ダクト４の出風口４１は、傾斜面２３に向かって冷却媒体を送風するように、空間２１の長手方向の端部に配置されている。 （もっと読む）