【課題】フッ素含有ガスを用いたプラズマエッチング工程で発生するプラズマ重合物を有する被洗浄物を、良好に除去できる洗浄方法を提供する。
【解決手段】フッ素含有ガスを用いたプラズマエッチング工程で発生するプラズマ重合物を有する被洗浄物を、含フッ素化合物を含有する洗浄液に浸す浸漬工程を有する洗浄方法であって、前記含フッ素化合物が、炭素数５以上の直鎖または分岐構造のパーフルオロアルキル基を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２波長用半導体レーザを用いた安定した信号検出ができる高性能な光ヘッド装置を提供する。
【解決手段】波長λ₁の入射光を透過するとともに波長λ₂の入射光を回折させる回折格子１１Ｂと、２つの波長λ₁または波長λ₂のうち少なくとも一方の波長の透過光の偏光状態を変化させる位相板１１Ｃとが一体化された２波長用回折素子を作製し、光ヘッド装置に搭載する。 （もっと読む）

【課題】蛍光体を含有して半導体発光素子を４００℃以下で封止し、封止後の発光効率を向上させることができる発光素子被覆用混合ガラス粉末、それを用いたガラス被覆発光素子及びガラス被覆発光装置を提供する。
【解決手段】発光素子を封止することのできる発光素子被覆用ガラス粉末であって、レーザー回折式粒度分布測定による、ガラス粉末中の粒径１μｍ以下の粒子の相対粒子量が１％以下であるガラス粉末と、蛍光体粉末とを備え、電流１０ｍＡで操作した半導体発光素子を封止した際の発光効率は、電流１０ｍＡで操作した半導体発光素子の発光効率に比べて２倍以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光通信や光計測等に使用される伝送用光ファイバとの接続が容易で、伝送用光ファイバ間を伝搬する光の減衰または透過率の調整を確実に行う。
【解決手段】非線形結晶が析出した結晶化領域を内部に有する結晶化光ファイバを用い、前記結晶化領域を横断して電界を印加して該結晶化領域の透過光強度を変え、前記結晶化光ファイバを通る光の強度を調整する。結晶化光ファイバは湾曲していてもよい。 （もっと読む）

【課題】光学非線形性の高いフレスノイト型の結晶を選択的に結晶化でき、しかも十分に高い光学非線形性を発揮できる結晶化ガラスを効率よく製造でき、かつ、ファイバ形状に線引き可能なガラス、そのガラスを用いて得られるフレスノイト型の結晶が析出した結晶化ガラス及びその結晶化ガラスの製造方法、並びに、光学部材を提供する。
【解決手段】光導波用の光学部材を形成するためのガラスであって、アルカリ土類金属の酸化物を２０〜３５モル％、チタン酸化物を１０〜１５モル％、ゲルマニウム酸化物を１０〜４０モル％、ケイ素酸化物を１０〜６０モル％の割合で含有し、結晶化温度とガラス転移温度との差が１００℃以上であるガラス、およびそれらのガラスを熱処理して得られる結晶化ガラス。 （もっと読む）

【課題】伝送用光ファイバとの接続が容易で、光の透過率を低下させることもない光変調用部材を提供する。
【解決手段】コアとクラッドとを有し、かつ、コアを形成するガラス材料及びクラッドをガラス材料よりも低い温度好ましくは１０℃以上で結晶化するガラス材料からなる中間層が、コア外周面に接して形成されている光ファイバを加熱処理、放電加熱またはレーザー照射して中間層のみを結晶化させる。 （もっと読む）

【課題】透明性に優れ、かつ熱膨張係数がほぼゼロとなる温度領域をもつ透明超低熱膨張ガラスを得ることができるＴｉＯ₂を含有するシリカガラスの提供。
【解決手段】ＴｉＯ₂濃度が３〜１４質量％であり、かつ４００〜７００ｎｍの波長域で厚さ１ｍｍあたりの内部透過率Ｔ_400〜700が９７％以上であり、４００〜３０００ｎｍの波長域で厚さ１ｍｍあたりの内部透過率Ｔ_400〜3000が７０％以上であることを特徴とするＴｉＯ₂を含有するＥＵＶリソグラフィ光学部材用シリカガラス。 （もっと読む）

【課題】 半導体集積回路装置の製造における被研磨面の研磨において、埋込み金属配線を有する絶縁層の平坦な表面を得ることができる研磨用研磨剤組成物を提供する。
【解決手段】 半導体集積回路装置の被研磨面を研磨するための研磨用研磨剤組成物であって、シリカ粒子と、式（１）で表される化合物（ただし、Ｒ^２およびＲ^３は互いに独立に水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基、カルボン酸基またはアミノ基である。）と、プルランと、塩基性化合物とを含有し、ｐＨが８〜１１の範囲にある。
【化４】
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【課題】複数の異なる波長の光が入射してそれらの光に対する偏光状態を制御して出射させる広帯域波長板および光ヘッド装置を提供する。
【解決手段】透明基板上に第１の波長板１３ａと第２の波長板１３ｂとを積層させ、各波長板の光学軸（進相軸と進相軸または、遅相軸と遅相軸との組み合わせ）および入射する光の偏光方向を設定するとともに、各波長板の各波長におけるリタデーション値を設定することで、波長λ_１、λ_２、λ_３の光（λ_１＜λ_２＜λ_３）に対して、波長λ_１の光は偏光状態を変えず、波長λ_２および波長λ_３の光は直線偏光を円偏光として出射させる広帯域波長板１０が実現でき、光ヘッド装置の小型化、および記録・再生の高品質化が実現できる。 （もっと読む）

【課題】近赤外線カット機能を有する固体撮像素子パッケージ用窓ガラスを固体撮像素子用のカバーガラスとして用いた場合でも、紫外線硬化型接着剤を迅速に硬化可能とする。
【解決手段】本発明に係る固体撮像素子パッケージ用窓ガラスは、ＣｕＯを含有するフツリン酸塩系ガラスもしくはリン酸塩系ガラスからなり、周縁部の板厚が光学有効面の板厚に比べて薄いことで、近赤外線カット機能を有する固体撮像素子パッケージ用窓ガラスであっても、紫外線硬化型接着剤を用いてパッケージと迅速に貼り付けることができるため、これにより固体撮像素子デバイスの組立てを効率的に行うことが可能である。 （もっと読む）