【課題】瞬低等が発生した場合であっても、ロボットを動作させるモータを停止させることなく、ロボットを適切に動作させることが可能なモータ制御装置を提供する。
【解決手段】ロボット動作用のモータ２を制御するモータ制御装置１は、位置指令から実測の回転位置を減算した位置偏差を算出する減算部９と、位置偏差を速度指令に変換する位置制御部１０と、速度指令から実測の回転速度を減算した速度偏差を算出する減算部１１と、速度偏差をトルク指令に変換する速度制御部１２と、トルク指令の上限値を設定するリミッタ１３と、モータ２を駆動するドライバ１４と、電源３の電圧変動を検出する電圧変動検出部１５とを備えている。モータ制御装置１では、電圧変動検出部１５で瞬低の発生が検出されると、位置指令出力部８は、モータ２の回転速度が下がるように位置指令を変動させ、位置制御部１０は、出力される速度指令を制限する。 （もっと読む）

【課題】サンプリング周期を細かくすることなく、モータの速度変動等に精度よく対応することが可能な制御システム及びこの制御システムに用いる位置推定方法を提供する。
【解決手段】第２モータ４３と、第２モータ４３の回転角度に基づくウェハのノッチの位置データを所定の周期で検出する第２エンコーダ４４と、第２モータ４３をサーボ制御するサーボ制御器３２と、サーボ制御器３２に対して動作指令を発する位置制御部２と、を有する制御システム１において、位置制御部２は、サーボ制御器３２の動作指令を生成するとともに、所定周期で第２エンコーダ４４から取得した位置データを取得時刻と共に記憶し、時刻ｔにおける被制御体の位置ｆ（ｔ）を位置データに基づいてｎ次の多項式で表し、ｎ次の多項式補間により任意の時刻におけるウェハ（ノッチ）の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】可動モジュールを小さな力で揺動させることができるとともに、衝撃を吸収できるように構成した場合でも、可動モジュールの共振を防止することのできる振れ補正機能付き光学ユニットを提供すること。
【解決手段】振れ補正機能付きの光学ユニット１００では、可動モジュール１０の底部と固定体２００の底部との間において２つの部材（支持板１８３および鋼球１８１）の光軸方向での接触部分により構成された揺動支点１８０を利用している。また、揺動支点１８０を構成する２つの部材（支持板１８３および鋼球１８１）のうち、支持板１８３が、ゴムなどの弾性材料からなる。 （もっと読む）

【課題】使用される情報記録媒体の厚みにかかわらず、重送される情報記録媒体を適切に分離することが可能な媒体重送防止機構を提供する。
【解決手段】複数枚重なった状態の情報記録媒体２を１枚ずつ送り出すための媒体重送防止機構６は、情報記録媒体２に当接して情報記録媒体２を搬送する搬送ローラ１１と、搬送ローラ１１に対向配置され搬送ローラ１１に向かって付勢されるとともに搬送ローラ１１と同方向に回転して重送される情報記録媒体２を分離するための分離ローラ１２と、１枚の情報記録媒体２は通過できるが重なった状態の２枚の情報記録媒体２が通過できないゲート部２０を有するゲート機構１３とを備えている。ゲート部２０は、搬送ローラ１１の回転中心と分離ローラ１２の回転中心とを結ぶ仮想線Ｌよりも情報記録媒体２の送出方向の下流側（Ｘ１方向側）に配置されている。 （もっと読む）

【課題】磁石を搭載した弁体の移動方向における寸法を正確に規定することができる構成を備えたバルブ装置を提供する。
【解決手段】バルブ装置１は、第１〜第４駆動コイル２７〜３０と、第１〜第４駆動コイル２７〜３０を励磁することによって移動させられる弁体２３を有する。弁体２３は、ホルダと、ホルダに収納されている第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃおよび弾性部材２３３を有する。ホルダの開口端部分に９０°以上の角度で内側に折り曲げられた下端折り曲げ部が形成されることにより、ホルダの軸線方向Ｌの寸法が予め定めた寸法に規定されるとともに、軸線方向Ｌに弾性変形して縮んだ弾性部材２３３の弾性復帰力によって第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃがホルダ内で移動しないように固定される。 （もっと読む）

【課題】レンズの光軸方向への振動を短時間で収束させることが可能なレンズ駆動装置を提供する。
【解決手段】レンズ駆動装置１は、レンズを保持しレンズの光軸方向へ移動可能な可動体２と、可動体２を光軸方向へ移動可能に保持する固定体３と、可動体２を光軸方向へ駆動するための駆動機構と、可動体２と固定体３とを繋ぐバネ部材５と、固定体３に対する可動体２の光軸方向における振動を吸収して可動体２の振動時間を短縮させる粘弾性を有する緩衝材１７とを備えている。緩衝材１７の設置箇所には、緩衝材１７の設置範囲の目安となる凸部５ｆが形成されている。 （もっと読む）

【課題】アームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材を備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材７と、基台８と、柱状部材７の下端を支持するとともに基台８に対して回動可能な旋回部材９と、基台８に対して柱状部材７を上下方向に直交する所定方向へ相対移動させる移動機構１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】消費電力の低い容積型ポンプを提供すること。
【解決手段】電磁式直動アクチュエータ３を用いてポンプ室８の容積を変化させる可動体１２を駆動する容積型ポンプ１は、可動体１２に接続されている移動体３３を、電磁式直動アクチュエータ３を励磁することにより発生する電磁力によって、ポンプ室８の容積が第１容積となる第１位置３３Ａと、ポンプ室８の容積が第１容積よりも大きい第２容積となる第２位置３３Ｂの間で直線往復移動させる。移動体３３を第１位置３３Ａから第２位置３３Ｂに移動させる第１移動工程、或いは、移動体３３を第２位置３３Ｂから第１位置３３Ａに移動させる第２移動工程では、電磁式直動アクチュエータ３に対し、連続して、或いは、間歇的に励磁電流を印加し、印加される励磁電流の電流値を、第１移動工程或いは第２移動工程の工程開始時点ｔ０から時間経過に連れて所定の減少形態で減少させる。 （もっと読む）

【課題】ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、ハンドの損傷を軽減することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】搬送対象物２を搬送する産業用ロボット１は、搬送対象物２が搭載されるハンド３と、産業用ロボット１の周辺機器にハンド３の先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、ハンド３が所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成されている。ハンド３は、ハンド３の先端部分を構成するとともに周辺機器にハンド３の先端が衝突したときにハンド３の基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】従来以上に、ノイズを低減させることが可能で、かつ、回転性能を向上させることが可能なモータを提供する。
【解決手段】モータ１は、回転軸２と、回転軸２に固定される駆動用磁石３と、駆動用磁石３の外周面に所定の隙間を介して対向配置される複数の極歯１６ｂと、回転軸２の出力側の端部を支持する出力側軸受８と、回転軸２の反出力側の端部を支持するとともに回転軸２の軸方向へ移動可能な反出力側軸受９と、反出力側軸受９を出力側へ付勢する付勢部材１０とを備えている。反出力側軸受９は、極歯１６ｂの内周面と反出力側軸受９の外周面とが当接するように、かつ、回転軸２の軸方向への移動が可能となるように、極歯１６ｂの内周面に保持されている。 （もっと読む）