【課題】ステータの組立の作業性の向上を図ることができるとともに、小型かつ簡易な形状のインシュレータを備えるステータを提供する。
【解決手段】複数の分割コア２０と、各分割コア２０のそれぞれの軸線方向端面２０１、２０２に被せられる第一インシュレータ１１および第二インシュレータ１２と、を備え、第一インシュレータ１１および第二インシュレータ１２の一方の周方向側面１４２には係合凹部１８が形成されるとともに、他方の周方向側面１４３には係合凸部１９が形成され、第一インシュレータ１１および第二インシュレータ１２の係合凸部１９が、隣り合う他の第一インシュレータ１１および第二インシュレータ１２の係合凹部１８に係合され、複数の分割コア２０が環状に配置されている。 （もっと読む）

【課題】検査光の光源として発光ダイオードを用いた場合でも、パーティクルを精度良く検出することができるパーティクル検出用光学装置を提供すること。
【解決手段】パーティクル検出用光学装置２は、基板４の基板表面４ａに検査用光源部３１から検査光Ｌを照射し、基板表面４ａのパーティクルＰによって散乱された検査光Ｌの散乱光を撮像部２９により撮像し、得られた画像データに基づいて基板４上のパーティクルＰを検出する。検査用光源部３１は光源としての発光ダイオード４１と、発光ダイオード４１から射出された検査光Ｌを平面検査領域２４に向けて出射すると共に、平面検査領域２４に沿って走査する走査ミラー４３２と、検査光Ｌが収束光の状態で平面検査領域２４に照射される状態とする凸レンズ４４と、基板表面４ａによって反射された検査光Ｌの反射光を当該基板表面４ａの側に反射する反射鏡（反射部材）２６を備えている。 （もっと読む）

【課題】ステータコアに巻き回された駆動コイルの巻線端末を、ステータコアの外周よりも径方向外側にはみ出さないように容易に収容することができるステータを提供する。
【解決手段】第一インシュレータ２１および第二インシュレータ２２は、駆動コイル３０の巻き回し代となるコイル巻回部と、このコイル巻回部より径方向外側に形成された、軸線方向から見て前記ステータコア１０に重なる外側被覆部２１１と、を有し、外側被覆部２１１には、軸線方向に突出した係合突起部２４が形成され、係合突起部２４は、内側に位置する内側突起部２４１と、この内側突起部２４１に対向する外側突起部２４２と、を有し、内側突起部２４１と外側突起部２４２との間に駆動用コイル３０の巻線端末３２が保持されている。 （もっと読む）

【課題】検査光の干渉に起因する検出不良を解消することのできるパーティクル検出用光学装置を提供すること。
【解決手段】パーティクル検出装置では、パーティクル検出用光学装置において、基板４の基板表面４ａに検査用光源部から検査光Ｌを照射し、基板表面４ａのパーティクルＰによって散乱された検査光Ｌの散乱光を撮像部２９により撮像し、得られた画像データに基づいて基板４上のパーティクルＰを検出する。検査用光源部は光源としての発光ダイオード４１、発光ダイオード４１から射出された発散光を収束光に変換する凸レンズ４４、凸レンズ４４から出射された収束光を検査光Ｌとして平面検査領域２４に向けて出射すると共に平面検査領域２４に沿って走査する走査ミラー４３２を備えており、検査光Ｌは、発光ダイオード４１から出射されたインコヒーレント光の収束光である。 （もっと読む）

【課題】製氷装置全体の大きさの増大に対する製氷室数の増加効果に優れる製氷装置を提供すること。
【解決手段】製氷皿で製造された氷を掻き出す方式の製氷装置において、製氷皿２は、長さ方向に沿って複数の製氷室１２が並ぶ製氷室１２の列を幅方向に複数列有し、掻出部材３は、製氷室１２の上方において製氷室１２の列に沿って延びる回転軸１７と、回転軸１７から径方向に突出形成され、駆動部材５により回転軸１７を中心に回転されて各製氷室１２内に進入可能となる複数の掻出片１８と、を有し、製氷室１２の列数に対応して複数となるように構成した。 （もっと読む）

【課題】円周方向におけるステータコアと磁気センサとの相対位置精度を従来以上に高めることが可能なポンプ装置を提供する。
【解決手段】ポンプ装置は、突極部２４ｂが形成されるステータコア２４と、ポンプ室とステータ５とを隔てる隔壁２８ａを有する隔壁部材２８と、駆動用磁石の外周面に形成される磁極を検出するための磁気センサ２０とを備えている。ステータコア２４に取り付けられる絶縁性部材２５は、突極部２４ｂの先端部の一部を覆う先端側絶縁部２５ａを備えている。隔壁２８ａの外周面には、ステータ５の回転を防止する複数の凸部２８ｈ、２８ｊが形成され、凸部２８ｊの下端面２８ｍは、凸部２８ｈの下端面２８ｋよりも上側に形成されている。磁気センサ２０は、凸部２８ｊを挟んで配置される先端側絶縁部２５ａの間であって、かつ、凸部２８ｊよりも下側に配置され、先端側絶縁部２５ａによって円周方向で位置決めされている。 （もっと読む）

【課題】ステータコアが複数の分割コアによって構成されている場合であっても、装置の構成を簡素化することが可能なポンプ装置を提供する。
【解決手段】ポンプ装置１は、羽根車２と、羽根車２が取り付けられるロータ４と、駆動用コイル２３とステータコア２４とを有するステータ５と、羽根車２およびロータ４が配置されるポンプ室９と、ステータ５の配置箇所へのポンプ室９内の流体の流入を防止する隔壁２８ａを有する隔壁部材２８とを備えている。隔壁２８ａは、底部２８ｄと円筒部２８ｃと鍔部２８ｅとを有する鍔付きの略有底円筒状に形成され、鍔部２８ｅは、円筒部２８ｃの開口側端部からステータ５の径方向の外側へ広がるように形成されている。隔壁部材２８は、円筒部２８ｃの外周側に配置され鍔部２８ｅから底部２８ｄ側に向かって立ち上る略円筒状の外周壁部２８ｂを備えており、ステータ５は、円筒部２８ｃと外周壁部２８ｂとの間に保持されている。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物が上下方向で重ならないように配置される第２配置位置と産業用ロボットとの間にゲート部が配置されていても、本体部に対するハンドの旋回半径を小さくしつつ、ハンドとゲート部との干渉を防止することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、第１ハンド３および第２ハンド４と、アーム５と、本体部６とを備えている。第１ハンド３の基端部と第２ハンド４の基端部とは、上下方向で重なるようにアーム５の先端部に取り付けられている。第１ハンド３と第２ハンド４とは、アーム５に対して個別に回転可能であり、かつ、上下方向から見たときにアーム５に対して共通の回転中心Ｃ１を中心にして回転可能である。また、第１ハンド３と第２ハンド４とは、上下方向から見たときに屈曲するように形成され、かつ、上下方向から見たときに回転中心Ｃ１を通過する所定の仮想線に対して略線対称に形成されている。 （もっと読む）

【課題】出力軸と歯車部材との間の摩擦力を利用して出力軸と歯車部材との間の動力伝達を断続するクラッチが構成されている場合であっても、歯車部材の割れを防止することが可能な減速歯車機構の出力軸機構を提供する。
【解決手段】減速歯車列１２を有する減速歯車機構３の出力軸機構３２は、出力軸１１と、出力軸１１がその内周側へ挿通されるとともに径方向へ弾性変形可能な軸挿通部３０ａと減速歯車列１２の最終段歯車２４とが形成される歯車部材３０と、軸挿通部３０ａの内周面と出力軸１１の外周面とが所定の接触圧で接触するように軸挿通部３０ａを径方向の内側へ付勢する付勢部材３１とを備えている。この出力軸機構３２では、軸挿通部３０ａの内周面と出力軸１１の外周面との摩擦力を利用して、出力軸１１と歯車部材３０との間の動力伝達を断続するクラッチが構成されている。 （もっと読む）

【課題】可動体の位置検出にフォトリフレクタを用いた場合でも、光軸方向および光軸方向に対して交差する方向のサイズの増大を防止することができるとともに、フォトリフレクタへの漏れ光の入射を抑制することができる振れ補正機能付き光学ユニットを提供すること。
【解決手段】振れ補正機能付きの光学ユニット１００では、光軸方向に交差する２つの方向において、第１空芯コイル５６０ａの内側領域に第１フォトリフレクタ５８０ａが設けられ、第２空芯コイル５６０ｂの内側領域に第２フォトリフレクタ５８０ｂが設けられている。このため、２つの方向毎の可動体１０の変位を監視し、その監視結果に基づいて、振れ補正用駆動機構５００を制御することができる。かかる２つのフォトリフレクタ５８０は、振れ補正用駆動機構５００に用いた空芯コイル５６０の内側領域５６１という空きスペースにおいて、空芯コイル５６０の厚さ方向の途中位置に設けられている。 （もっと読む）