【課題】多数の半導体ウエハを水平に保持して使用する高温熱処理用ボートを使用しても半導体ウエハへのスリップ欠陥の発生を抑制することのできる半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】一体に固着された複数の高耐熱性支柱１がそれぞれ所定の間隔に刻まれた支持溝２を備え、該支持溝２は、前記複数の高耐熱性支柱１を直立させた状態で複数枚の半導体ウエハ３ａ、３ｂを水平に前記所定の間隔で保持する相互配列を備える高温熱処理用ボート１０を使用して、該ボート１０に保持される複数枚の半導体ウエハ群領域６、７の直上、直下に少なくともダミーウエハ３ｂ（１）を１枚配設し、該ダミーウエハ３ｂ（１）の直上、直下には少なくとも１枚分の空間を空けて、さらに延長部にダミーウエハ３ｂを複数枚配設して高温熱処理炉に炉入れする高温熱処理工程を有する。 （もっと読む）

【課題】上下方向に複数段設置される商品選択ボタンのレイアウトにかかわらず商品選択ボタンの配線を通す切欠きを備えたパネル押え金具の種類を削減することが可能な自動販売機を提供する。
【解決手段】透明パネル４にディスプレイ台に対峙する位置に商品選択ボタン９ａが設けられ、外扉２のヒンジ側に配設されたパネル押え金具１００に商品選択ボタン９ａの配線Ｗを通す切欠き１０１〜１０３が形成されてなる自動販売機において、前記切欠き１０２，１０３はディスプレイ台のレイアウトに応じて上下方向に変位して取付けられる商品選択ボタン９ａの位置に対峙するよう上下方向に長く延在して形成するとともにパネル押え金具１００に折り曲げ形成した目隠し部（目隠し部材１０２ａ，１０３ａ）を設けたことにより、ディスプレイ台（商品選択ボタン９ａ）のレイアウトにかかわらずパネル押え金具１００を共通に使用することが可能とする。 （もっと読む）

【課題】ストロークセンサを用いることなく、電磁石装置の動作状態の異常の判定を行う。
【解決手段】投入用コイル２１の電流値、電圧値を計測する電流計６、電圧計７と、釈放用コイル２１の電流値、電圧値を計測する電流計８、電圧計９を備えている。投入動作の為に投入用コイル２１を励磁する場合には、電流計６と電圧計９の計測値を用いて投入用コイル２１の励磁電流特性と釈放用コイル２２の誘導電圧特性を取得して、これらの特性から複数の特徴点を検出することで、電磁石装置の動作状態の測定を行い、これより電磁石装置の動作状態の異常の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の主面に形成した溝部表面へのイオン注入量やイオン注入深さのバラつきを抑え、イオンが注入されたドーパンド領域を活性化して、厚み、イオンドープ量、活性化状態がほぼ均一なドーパンド層を形成できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板の主面に溝部を形成し、該溝部を形成した半導体基板の主面側にイオンを注入した後、イオンが注入されたドーパンド領域にレーザを照射してアニール処理を行う半導体装置の製造方法であって、前記ドーパンド領域にイオンを注入する前に、前記溝部の側面にレーザを照射して、該溝部の側面の表面段差を平滑化する。 （もっと読む）

【課題】開発プロセス改善効果の評価精度を向上させる。
【解決手段】開発リスクによる開発プロセスの改善効果の評価を行う評価装置において、開発を行う組織毎又はプロジェクト毎の開発プロセスに対する改善計画を設定する開発プロセス改善計画設定手段と、設定された改善計画データと、予め設定された費用データ及びリスクデータとに基づいてリスクを見積もりするリスク見積設定手段と、前記リスク見積設定手段により得られるリスクデータを、コストリスク、品質リスク、及び納期リスクのうち、少なくとも１つのリスクをコストに変換するリスクコスト変換手段と、前記リスクコスト変換手段により得られるコストに基づいて、前記開発プロセスの改善効果に対応する費用対効果を取得する効果費用取得手段と、前記効果費用取得手段により得られる計算結果に基づく評価結果を出力する評価結果出力手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】過渡状態においても磁極位置検出回路を用いずに磁極位置と速度を正確に演算する。
【解決手段】回転子に同期した直交回転座標軸γδ軸を定義し、高周波電圧を前記γ軸基本波電圧指令値に加算してγ軸電圧指令値を印加する。検出した電動機電流δ軸成分微分値から前記高周波電圧と同じ周波数のフーリエ級数を演算し、位置推定誤差を演算する。 （もっと読む）

【課題】コストの低減化を図ることができる自動販売機を提供すること。
【解決手段】複数の商品収納コラム３１を左右方向に沿って並設して成り、収納室１ａに上下方向に沿って複数段設けられた商品ラック３０ａ〜３０ｄを備え、待機状態においてはすべての商品ラック３０ａ〜３０ｄを商品の取り出しを規制する状態にし、販売指令が与えられた場合には指定された段の商品ラック３０ａ〜３０ｄのみ商品の取り出しを許容するラック選択機構４０と、常態においては商品収納コラム３１から商品が取り出されることを規制し、ラック選択機構４０により商品の取り出しを許容された場合に動作して最前の商品のみが取り出されることを許容する取出機構５０と、商品ラック３０ａ〜３０ｄが商品の取り出しを許容された場合に、いずれか１つの取出機構５０のみが動作することを許容する規制手段６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】キャパシタ電極として用いた場合に短絡を生じることのないように、基材表面の平滑度が高く、原料紙由来の繊維状炭素が表面に露出していない、紙由来の賦活した多孔質炭素基材の製造方法を提供する。
【解決手段】紙を炭化、賦活して得られる多孔質炭素基材の一方の表面に、繊維を含まない樹脂のみを炭化、賦活した層を形成する。 （もっと読む）

【課題】高圧モジュール内のゲル状絶縁物中で発生した部分放電などを検出し、高圧モジュールの主要機能回路における絶縁破壊を未然に防ぐための機構を備えた高圧モジュールを提供する。
【解決手段】半導体素子４が搭載される素子搭載用表面金属基板２ａが絶縁基板１表面に接合されるとともに、接地電位とされる裏面金属基板３が絶縁基板１裏面に接合され、ゲル状絶縁物５で封止された高圧モジュールにおいて、絶縁基板１表面に素子搭載用表面金属基板２ａとは分離して部分放電発生用表面金属基板２１を設け、部分放電発生用表面金属基板２１の電位は素子搭載用表面金属基板２ａと同電位とし、部分放電発生用表面金属基板２１の端部の位置は絶縁基板１を挟んで対向する裏面金属基板３の端部に対して絶縁基板端部側により突出した位置とし、裏面金属基板３側で発生する部分放電を検出する部分放電検出手段３１を設ける。 （もっと読む）

【課題】永久磁石回転機の回転性能のばらつきを低減するとともに、トルク制御性能に影響を与えずに特に極数成分のコギングトルクを低減する永久磁石式回転機の製造方法を提供する。
【解決手段】永久磁石を有する回転子と、互いに同一形状に設計されるが２種類の製造条件間の相違に起因した形状の相違によって互いに異なる磁気抵抗を有する２種類のコアピースから構成される複数のコアピースと、複数のコアピースを円環状に並べて配置することによって構成される固定子コアと、この固定子コアを有する固定子とを備えている２ｎ極３ｎスロット式の永久磁石式回転機の製造方法であって、回転子を、１周回転角３６０°を永久磁石の極数２ｎおよび固定子のスロット数３ｎの最小公倍数で割った角度、回転させる毎に、回転子と固定子との間で流れる磁束の磁束密度分布を等しくするように、２種類のコアピースを組み合せて配置するステップを含む永久磁石式回転機の製造方法。 （もっと読む）