【課題】半導体製造や液晶製造などの先端産業における原材料、半製品、製品の基材や基板表面の汚染を防止するための清浄気体の調製方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基材又は基板表面の汚染を防止するための方法であって、クリーンルーム内の気体を、吸着手段および／または吸収手段と、除塵手段とに通すことによって、非メタン炭化水素濃度が０．２ｐｐｍ以下且つ微粒子濃度クラスが１０以下の清浄気体を調整し、得られた清浄空気を基材又は基板の表面と接触させることを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造や液晶製造などの先端産業における原材料、半製品、製品の基材や基板表面の汚染を防止するための清浄気体の調製方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基材又は基板表面の汚染を防止するための方法であって、クリーンルーム内の気体を、吸着手段および／または吸収手段と、除塵手段とに通すことによって、非メタン炭化水素濃度が０．２ｐｐｍ以下且つ微粒子濃度クラスが１０以下の清浄気体を調整し、得られた清浄空気を基材又は基板の表面と接触させることを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

【目的】 紫外線分解法において、十分な分解ができしかも効率的で安全な揮発性有機塩素化合物の処理方法とその装置を提供する。
【構成】 揮発性有機塩素化合物を含有する気相中に水素源を付加した後、該気相を紫外線に曝露して前記気相中の揮発性有機塩素化合物を分解することを特徴とする揮発性有機塩素化合物の処理方法としたものであり、該処理装置として、揮発性有機塩素化合物を含有する気相２１中に水蒸気又は水素を含む気体２３を付加する水素源付加装置２２と、該水素源を付加された揮発性有機塩素化合物２４を含む気体に紫外線２５を照射する紫外線照射装置２６とを有し、さらに紫外線照射後の気体２７をアルカリ剤により処理する湿式中和装置２８とを備えたこととしたものである。 （もっと読む）

【目的】 先端が鋭利でアスペクト比の高い急峻な形状の探針と、常に一定のバネ定数を有しながらその一端に探針を支える片持つ梁を具備する原子間力顕微鏡用カンチレバー及びそ製造方法を提供すること。
【構成】 充分な機械的強度を有するシリコン単結晶母材１１と、母材に一端が接合されたシリコン酸化膜からなる片持ち梁１２と、該片持ち梁１２上の母材１１に接合された一端とは反対側の一端に形成された鋭い先端を有するコーン形探針とを具備し、且つ全表面が導電性薄膜で覆われている。また、片持ち梁を両側から囲むように母材から加工され且つ充分な強度を有する片持ち梁を機械的破損から防ぐための保護板を具備する。 （もっと読む）

【目的】 クリーンエネルギーである水素を高速、高効率で生産することができる微嫌気水素発酵法を提供する。
【構成】 有機性廃棄物１を水素発酵７させる微嫌気水素発酵法において、前記水素発酵における発酵液を酸化還元電位９が、−１００〜−２００ｍＶの範囲の微嫌気条件となるように制御３しながら発酵させる方法であり、前記水素発酵は、減圧発酵で行うか、又は、発生ガスをガス分離膜１１を通過させて水素１２と炭酸ガス１３を分離させながら行うのがよい。 （もっと読む）