【課題】 作用部を自在に動かすことができる変位拡大機構であって、かつ、この変位拡大機構を研磨装置として使用しやすいように、コンパクトでシンプルな構造としたものを提供する。
【解決手段】 互いに平行に配置され電圧又は電流を供給することで各々伸縮自在の３本以上の伸縮部材１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、その伸縮部材のそれぞれの一端に接続する３箇所以上のヒンジ部１３ａ，１３ｂ，１３ｃと、すべての前記ヒンジ部が接続する基部１２と、すべての前記伸縮部材の他端で結合し前記伸縮部材の伸縮により変位を生じる作用部１４と、を有し、それぞれの前記ヒンジ部から作用部までの長さが前記ヒンジ部同士の間の距離よりも長く、かつ、すべての前記ヒンジ部が一直線上に並んでいないことを特徴とする変位拡大機構１０であり、また、この作用部にポリッシングツール又は被研磨物を取り付けた研磨装置とする。 （もっと読む）

【課題】 変位拡大機構により伸縮部材の変位量を拡大したアクチュエータを用いて、複雑かつ高精度な研磨にも使用可能で、かつ壊れにくい研磨装置を提供する。
【解決手段】 ポリッシングツールにより被研磨物の表面を研磨する研磨装置であって、電圧又は電流の供給により変形する伸縮部材と、その伸縮部材に生じる変位を拡大する変位拡大機構と、を備えたアクチュエータと、中央部にポリッシングツール又は被研磨物のいずれか一方を取り付け、周囲に前記アクチュエータを複数台接続するセンター部材と、それぞれの伸縮部材に所要の電圧又は電流の波形を供給し、アクチュエータに拡大された変位を生じさせる駆動回路と、を有し、それぞれのアクチュエータに生じる変位に伴ってセンター部材の位置が変化し、それによって被研磨物とポリッシングツールとの間に生じる相対的な動きにより被研磨物の表面を研磨することを特徴とする。 （もっと読む）