【課題】 起伏のある被測定物に測定プローブを高速で接近させ、かつ被測定物への物理的影響を最小限に抑える。
【解決手段】 測定プローブ先端部を覆いかつ測定プローブ先端部でスライド可能なプローブキャップと、そのプローブキャップが測定プローブから脱落するのを防ぎかつ被測定物に接触するまでは測定プローブ先端面とプローブキャップ内部が一定の隙間を保つように支持するプローブキャップ支持部と、プローブキャップがプローブキャップ支持部から浮き上がったことにより被測定物との接触を検出する接触検出部と、接触検出後に測定プローブ先端面とプローブキャップ内部に設定した距離を残して停止させる機能を持たせた。 （もっと読む）

【課題】強い振動環境下においても長期にわたって高い測定精度を維持しうる接触センサの提供。
【解決手段】ハウジング４２と、プローブ４４と、プローブ４４に固定され、ハウジング４２の内部に配置される接続子４８と、接続子４８と当接することにより導通する端子４９と、接続子４８が端子４９に当接するようにプローブ４４を付勢する第一付勢手段５３と、第一付勢手段５３による端子４９への接続子４８の当接を解除する解除手段４５と、ハウジング４２の内部であって、少なくとも端子４９と接続子４８との周囲を満たす絶縁性を備えるオイル８０と、オイル８０をハウジング４２内部に留める封止手段７０と、端子４９と接続子４８との当接の解除状態において、ハウジング４２に設けられる保持孔６２と係合し、プローブ４４をハウジング４２に対して固定する固定部材６０と
を備える。 （もっと読む）

【課題】シャフトの加工が容易で、しかも接触球に早期に摩耗や損傷を来す恐れのない接触子を提供すること。
【解決手段】シャフト２０の先端部に形成した収容孔２３に球面の一部を外部に露出させた状態で接触用の接触球３０を転動可能に収容させるとともに、収容孔２３の内底面と接触球３０との間に支持用の支持球４０を複数個介在させて成る接触子であって、収容孔２３の奥側端部に手前側端部よりも内径の大きな収容部２５を形成するとともに、収容孔２３の内底面において少なくとも外周側に位置する部位にシャフト２０の軸心に直交する連続した平坦面２３ａを形成し、複数の支持球４０を収容部２５の内周面２５ａ及び平坦面２３ａに当接させた状態で収容孔２３に接触球３０を収容させた。 （もっと読む）

【課題】有機汚染については有機物の分解により表面のセルフクリーニングで洗浄を省くと共に、親水性の制御により洗浄を必要とする場合でも容易に汚れを除去可能とする。
【解決手段】測定子１２４を被測定物１０２に直接接触させて、その形状測定を行う形状測定機１００において、前記測定子１２４の先端表面に、光触媒膜１２４ｂを有する。前記形状測定機１００は、前記光触媒膜１２４ｂを活性化させる光源を備えることができる。前記光触媒膜１２４ｂは、金属酸化物を有することができる。前記光触媒膜１２４ｂは、少なくとも炭素又は窒素のいずれかを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】ベースモジュール（２０、１２０）に取り付けできるスタイラスモジュール（２２、１２２）を備えるタッチトリガプローブなどの測定プローブを提供すること。
【解決手段】スタイラスモジュール（２２、１２２）は、筺体と、筺体に移動可能なように取り付けられているスタイラスホルダ（２４、１３２）とを備える。ベースモジュール（２０、１２０）は、筺体に対するスタイラスホルダ（２４、１３２）の移動を示す測定データを生成するための測定部（３６、１２４）を備える。スタイラスモジュール（２２、１２２）は、内蔵故障モードを有し、それによって、実質的な所定の稼働寿命を有する。一実施形態では、内蔵故障モードは、バッテリ（３４）をスタイラスモジュール（２２）内に一体化することによって実行される。また、スタイラスモジュール（１２２）の構成要素が、特定の量の使用後に、その内部で突発的に機能しなくなる機械的故障モードを実行することもできる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で且つ安価な座標測定用補助具により、厚みが薄い板状の被測定物の測定を、容易且つ正確に行なえるようにする。
【解決手段】座標測定用プローブ（ボールプローブ５１）の外周に装着される筒状体（円筒体６２、段付き円筒６３、四角筒６８、外筒８０、内筒８２）と、該筒状体をプローブ先端に位置決めして固定するためのクランプ機構７０とを備えた座標測定用補助具６０を用いる。前記筒状体の少なくとも一部を透明とすることができる。前記筒状体のプローブ先端に対する位置を調整可能とすることができる。 （もっと読む）

【課題】触針や接触子を破壊したり被測定物の測定対象部に傷をつけたりすることなく清浄な測定対象部を確保でき、測定の信頼性を向上させることができる測定機を提供する。
【解決手段】プローブ６と被測定物とを相対変位させながら被測定物の測定対象部Ｗにプローブ６を接触させ、そのときの相対変位量から被測定物の寸法等を測定する測定機であって、エアを供給または吸引するエア制御手段９を備え、プローブ６は、被測定物の測定対象部と当接される接触子６１が先端に設けられた触針６２と、エア制御手段９に接続され接触子６１近傍にエアを噴出または接触子６１近傍からエアを吸引する洗浄手段６４と、を備え、洗浄手段６４は、触針６２と略同じ方向にエアを噴出または吸引することを特徴とする測定機。 （もっと読む）

【課題】プローブ先端の洗浄を容易に実行可能とし、使い勝手の向上、信頼性の向上を図った表面性状測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】接触子１７ａを先端に有するプローブ１７の末端は、スピンドル１６にピエゾ素子１８を介して固定されている。このピエゾ素子１８には、加振回路４４により所定の振幅及び周期を有する交流電圧Ｓが印加可能とされている。交流電圧Ｓを印加することにより、ピエゾ素子１８は、周期的に変形し、プローブ１７の位置を周期的に変化させることが可能である。すなわち、プローブ１７は、加振回路４４により、振動を加えられる。この振動した状態にある接触子１７ａを洗浄液が入れられた容器に挿入して洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】小型化された探針と膜状センサーシステムとを備えた構造的ユニットの交換が単純化され、操作の高い信頼性を維持して実行できるようにする。
【解決手段】交換可能で小型化された探針１０８を有する座標測定機械のためのプローブヘッド。前記探針１０８は剛性があり、かつ前記探針１０８に力が作用したときに所定の仕方で撓むことのできる膜状センサーシステム１００と共に構造的ユニット１１６を形成している。前記構造的ユニット１１６はプローブホルダー７０に恒久的に結合されており、また前記探針１０８を交換する際に前記プローブホルダー７０と一緒に取り扱うことができる。更に前記センサーシステム１００は、たわみを検出するための電気的センサー要素１１４を有することができる。前記構造的ユニット１１６を前記プローブヘッド上に機械的に固定し、また前記センサー要素１１４と電気的に接続するために、別々の手段が備えられる。
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