【課題】コヒーレンス走査干渉計及びこのコヒーレンス走査干渉計を用いた物体の高さ形状測定するための方法に対して、測定精度や測定特性の再現性に関する改良を行なうことである。
【解決手段】光源２と、干渉計と、経路長変更ユニットと、検出面を有するカメラ３とが備えられている。経路長変更ユニットは、測定ビームと基準ビームの光路長を変更するように構成されている。経路長変更ユニットは、経路目盛１１と経路検出器１２とを有しており、経路目盛１１と経路検出器１２とは、経路長変更ユニットによる測定ビームの光路長変更または基準ビームの光路長変更あるいはその両方の光路長変更の際に、経路検出器１２の同期的な動きが経路目盛１１に対して相対的に行なわれるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】改良されたレベルセンサアレンジメント及びその動作を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置内の基板上の少なくとも１つの実質的な反射層表面の位置を測定するための方法、並びに、関連付けられたレベルセンサ及びリソグラフィ装置が開示される。該方法は、広帯域光源を使用して少なくとも２つの干渉計測定を実行することを含む。各測定間で、広帯域ソースビームの成分波長及び／又は成分波長全体にわたる強度レベルが変化し、強度レベルのみが変化する場合、強度変化はビームの成分波長の少なくとも一部について異なる。あるいは、成分波長及び／又は成分波長全体にわたる強度レベルが異なる測定データを取得するための単一の測定及び後続の測定の処理を、位置を取得するためにも同様に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】干渉計測システムなどの振動感知システムのために、データ取得中は音響ノイズを最小限にしながら、環境制御をするための方法およびシステムの提供。
【解決手段】計測機器を含む振動感知計測システムのために環境制御を提供するための装置であって、前記振動感知計測システムを囲う熱的に安定したミニ・エンバイロメントを提供するための手段と、音響ノイズおよび振動から生じる前記振動感知計測システムの測定誤差を最小限にするための手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化しても干渉縞強度が低下することなく、高精度の測定を行うことのできる干渉対物レンズユニット及び当該干渉対物レンズユニットを備えた光干渉測定装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ３１と、参照ミラー３２ａの設置された透明部材３２と、対物レンズ３１からの光を分岐させると共に、参照光と測定光とを合成して干渉光として出力させる分岐合成部材３３と、少なくとも対物レンズ３１を保持し、第１の線膨張係数を有する材料により形成される第１保持枠３４と、少なくとも透明部材３２を保持し、第２の線膨張係数を有する材料により形成される第２保持枠３５と、を備え、所定の使用環境温度の範囲内において使用環境温度に変化が生じた場合、第１保持枠３４と第２保持枠３５との熱伸縮性の差により、対物レンズ３１の焦点位置のずれが補正される。 （もっと読む）

【課題】評価ユニットとたわみボディとの間に生じるノイズの影響を受けにくい、光ファイバー手段を用いた干渉法原理による、たわみ測定機器を提供すること。
【解決手段】第１の光ファイバー手段と第２の光ファイバー手段は、たわみボディにのみ配置されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は入力側で、ビーム源を備えた唯一の光供給ファイバーと接続されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は出力側で、評価回路を備えた唯一の光評価ファイバーと接続されている。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーを伝わってくる振動を吸収することで、除振器の本来の性能を発揮させることにより高精度なレンズ、ミラーの形状・透過波面の計測を行う。
【解決手段】真空チャンバー１０８の外から干渉計１０１を除振するために真空と大気を隔て、且つ振動を吸収するベローズとして、弾性ベローズ１１３を用いる。さらに弾性ベローズ１１３の変形に関しては、剛体である規制部材１１４を弾性ベローズ１１３の内側に設けることにより変形量を制限している。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、光源部からの光を干渉計本体部に導入するファイバを光源部に対して容易に着脱することができるようにする。
【解決手段】光源部５２、干渉計本体部、およびファイバ１２を有し、光源部５２からの平行光３１ａをファイバ１２の入射端に入射してファイバ１２の出射端から干渉計本体部の内部に導入する干渉計であって、ファイバ１２の入射端側を保持するとともに、光源部５２に対して着脱可能に設けられたファイバ保持部材２５と、ファイバ保持部材２５の内部に、ファイバ１２の入射端に焦点位置を合わせて配置された集光レンズ２６と、を備え、光源部５２は、平行光３１ａを出射するレーザ光源２０と、ファイバ保持部材２５を着脱可能に保持し、装着時に平行光３１ａが集光レンズ２６の光軸に沿って入射するようにファイバ保持部材２５を位置決めする固定部材２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定装置において、大気の揺らぎに起因するレーザ干渉測長器の測定誤差を低減することができ、曲率半径の測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定装置１００は、可干渉性の光束を参照面で参照光と測定光とに分割し、この測定光を曲面からなる被検面８ａに向けて集光位置Ｐに収束するように照射し、被検面８ａの被検面反射光Ｌ_３と参照光とを干渉させて干渉縞を観察する干渉計２と、干渉計２の光軸Ｃ方向に沿って集光位置Ｐに対する被検面８ａの相対位置を変化させる移動機構１４と、移動機構１４によって移動される反射鏡に測長光を照射して移動距離測定を行うレーザ干渉測長器１０と、レーザ干渉測長器１０と反射鏡との間で、測長光の光路に沿う方向に伸縮可能とされ、測長光の光路を側方から囲繞する蛇腹カバー９とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＯＣＴ分析におけるプローブに対する機械的な運動および歪みの影響を最小限にする、光コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）のプローブおよびシステムを提供する。
【解決手段】光コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）のプローブ１００の干渉信号ファイバカプラ１１２が、コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）分析システムから光コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）信号を受信し、このＯＣＴ信号を参照光ファイバアーム１３０と信号光ファイバアーム１３２に分配する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、基準球支持部に対する各種配線、光ファイバ等の接触による張力や摩擦力による影響を無くして、高精度な測定を可能とする。
【解決手段】測定の基準を成す基準球１０と、該基準球を支持する基準球支持部１２と、前記基準球の周囲を２軸回転運動する、第一軸回転機構２１及び第二軸回転機構２２でなる回転機構部２０と、該回転機構部に搭載されたレーザ干渉測長機３０を有し、ターゲットとなる再帰的反射体（４０）からの戻り光の情報に基づきターゲットを追尾して、基準球の中心座標を基準とし、回転機構部に載ったレーザ干渉測長機からの出射光と戻り光の光軸が平行となる再帰的反射体との距離を測定する追尾式レーザ干渉計において、装置の基部（１４）に設置される第一軸回転機構２１の内周部を中空とし、該中空に、前記基準球支持部１２との隙間を介して筒状カバー６０を設け、その外部に第二軸回転機構２２への配線を通過させる。 （もっと読む）

【課題】光軸のずれを検出するセンサが小型で、その検出範囲が狭い場合でも、測定中に正確な絶対距離を推定可能とする。
【解決手段】レーザ干渉計１０１と、該レーザ干渉計の光軸のずれを検出する光軸ずれ量検出センサ１０２と、前記レーザ干渉計を任意の方向に向ける２軸回転機構１０４と、該２軸回転機構の回転角を検出する角度センサ１０５と、入射光と平行な方向に反射光を反射する再帰反射体１０７と、前記光軸ずれ量検出センサと角度センサの信号を元に再帰反射体を追尾するように２軸回転機構を駆動するコントローラ１０８とを有する追尾式レーザ干渉計において、前記再帰反射体の停止を検出し、該停止検出時に、前記光軸ずれ量検出センサで求めた移動中の光軸のずれ量の総和と、前記角度センサで求めた移動中の回転角を元に距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】アパーチャとして機能させるための金属層やドーピング層を用いなくても、アパーチャの光遮断能力を高めることができるファブリペロー干渉計を提供する。
【解決手段】半導体基板１１の他方の面１１ｂのうち透過領域４０に対応する領域に、半導体基板１１を通過する光をこの光の進行方向と同じ方向に射出する射出面１１ｃを設けると共に、半導体基板１１の他方の面１１ｂのうちアパーチャ部４１に対応する領域に、当該領域から射出される光を透過領域４０から遠ざける方向に屈折させる傾斜面１１ｅを設ける。これにより、透過領域４０の周囲の光を傾斜面１１ｅによって透過領域４０からアパーチャ部４１に遠ざけることが可能となり、アパーチャのための金属層やドーピング層を設けることなく傾斜面１１ｅを実質的にアパーチャとして機能させることができる。 （もっと読む）

【課題】エアギャップ長が大きい場合であっても大きな段差を形成することなく電極を形成することができるファブリペロー干渉計を提供
【解決手段】ファブリペロー干渉計１は、高屈折率膜２１，２３からなる下側ミラー１３と、高屈折率膜３１，３３からなる上側ミラー１５とを備え、両ミラー間に静電気力を作用させることで両ミラー間の距離を変化可能に構成されている。そして、両ミラー間のエアギャップ１４を取り囲むように配置されるとともに、高屈折率膜２３に達するトレンチ内に埋め込まれた形状の高屈折率膜３１，３３を有し、高屈折率膜２３と絶縁分離されたエッチングストッパ部３と、エッチングストッパ部３の外周側に配置されるとともに、高屈折率膜２３に達するトレンチ内に埋め込まれた形状の高屈折率膜３１，３３を有し、上側ミラー１５とは絶縁分離されるとともに高屈折率膜２１，２３とは導通される下側電圧印加部５を備える。 （もっと読む）

自己混合干渉を用いて光センサ（６００）に対する対象の動きを検出する光センサ（６００）を有するスイッチについて記載する。光センサ（６００）はレーザ（１００）、検出器（２００）及びフィルタ装置（５００）を有する。フィルタ装置（５００）は、検出器（２００）によって生成される測定信号を、その測定信号が所定閾値を下回る速度での対象の動きによって生じる場合に、抑制する。光センサ（６００）は、対象の動きの速度に依存した選択的なスイッチングを可能にすることができる。
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【課題】干渉計において、構成を簡素化することができ、光軸調整後に迅速に干渉縞観察を行うことができるようにする。
【解決手段】レーザ光源２からのレーザ光Ｌ_１を参照レンズ６の参照面６ａと被検体２０の被検面２０ａとに照射し、参照面反射光Ｌ_４と被検面反射光Ｌ_３とを重畳して干渉させて干渉光束を形成し、この干渉光束の干渉縞の像を観察する干渉計１であって、干渉光束の入射方向側の表面が反射面９ｂとされ、その中心部に干渉光束を透過させる開口９ａが形成された絞り板９と、干渉光束の光路上で、絞り板９の反射面９ｂと対向して配置されたハーフミラー面８ａと、絞り板９の開口９ａを透過した光を集光する撮像レンズ１０と、撮像素子１１とを備え、撮像レンズ１０は、ハーフミラー面８ａを介して、反射面９ｂと撮像面１１ａとを共役の関係にするように設けられた構成とする。 （もっと読む）

【課題】各光成分の偏向調整作業が簡単で、出力されるレーザ光の各光成分の平行度を向上させることができ、ロール方向の位置偏差の測定精度を向上させる。
【解決手段】２枚の平面鏡４，５を有する反射鏡２と、互いに直交する２つの直線偏光を入力して分光する偏光ビームスプリッタ８及び分光した各光成分を平面鏡４，５に対して垂直に入反射するように屈折させるバイプリズム６を有し、各光成分をバイプリズム６と反射鏡２との間で２往復させてから出力するレーザ干渉部３とを備えたレーザ干渉計１において、レーザ干渉部３は、各光成分が最初に往復する際に一方の光成分が通過し、各光成分が次に往復する際に他方の光成分が通過するよう、偏光ビームスプリッタ８とバイプリズム６との間に配置され、通過する光成分の偏向方向を調整自在とする一対のウェッジプリズム１５ａ，１５ｂを有する偏向部１５を備えた。 （もっと読む）

本発明は測定対象を光学的に検査する光学的プローブ（１）に関する。このプローブは、固定プローブ部材と、該固定プローブ部材に機械的及び光学的に結合された、回転軸（３）を中心として回転可能なプローブ部材（５）とを有しており、回転可能プローブ部材（５）は測定光線を出力させる少なくとも２つの光出力側（１０ａ；１０ｂ；１０ｃ）を有しており、測定光線は互いに異なる焦点距離ｄ（１５）を以て前記光出力側から前記回転軸（３）に対して垂直に出射する。本発明はまた、前記光学的プローブ（１）と接続された干渉計を含んだ、測定対象を干渉法により測定するための装置にも関する。
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【課題】
液浸露光装置の投影光学系の波面収差を高精度に測定する波面収差測定装置を提供する。
【解決手段】
光源からの光を被検光と参照光とに分離し、投影光学系に前記被検光を入射させる入射光学系と、前記投影光学系から出射される前記被検光を、再び、同一光路で前記投影光学系に向けて反射する反射光学系と、前記反射光学系により反射され前記投影光学系から出射される前記被検光と、前記投影光学系を通過しない前記参照光との干渉により生成された干渉縞を検出する検出器と、を有し、前記投影光学系と基板との間の浸液を介して前記基板を露光する露光装置の前記投影光学系の波面収差を測定する波面収差測定装置において、前記反射光学系を回転させる回転機構および傾斜させる傾斜機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】干渉計のアライメント装置において、干渉計のアライメント調整を簡素な機構により高精度かつ高効率に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１のアライメント装置であって、参照レンズ３ｂを光軸に対して傾動可能かつ平行移動可能に保持する参照レンズアライメント機構４と、可干渉光９の集光位置を撮像素子１３が取得する画像から検出できるようにしたスクリーン１５と、参照レンズアライメント機構４の移動量を制御する演算処理部１２とを備え、演算処理部１２は、スクリーン１５が進出されたときに撮像素子１３が取得する画像を解析して、参照レンズ３ｂの光軸と光軸Ｐ１とが一致するように移動量の制御を行い、スクリーン１５が退避されたときに、撮像素子１３が取得する干渉縞画像を解析して、参照レンズ３ｂと被検面２ａとでキャッツアイを構成する位置関係に調整するように移動量の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】補正部を保持する際にかかる応力を抑えて、補正部に生じる応力の波面収差への影響を排除することができる透過波面干渉計を提供すること。
【解決手段】被検レンズＬを透過した検査光を反射して、再び被検レンズＬに透過させて被検光を形成する反射面８ｂと、被検レンズＬを透過しない検査光を反射して参照光を形成する参照面５ａと、を備え、被検光と参照光とを重ねて干渉縞を形成する透過波面干渉計であって、被検レンズＬを透過した検査光が入射する第一面８ａが形成され、第一面８ａに入射した検査光を反射するように反射面８ｂが配された凸レンズ８と、第一面８ａと固着される第二面１０ａが設けられて凸レンズ８と被検レンズＬとの間に配された補正板（補正部）１０と、をさらに備えている。 （もっと読む）