【課題】載物台の粗動および微動の切換時に測定対象物が位置ずれを起こすことがなく、載物台の移動が滑らかな載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】載物台および固定部材のいずれか一方に回転可能かつ載物台の移動方向に対して平行に支持された送り軸２１と、この送り軸２１を回転させる微動送りハンドルと、載物台および固定部材のいずれか他方に回転可能かつ送り軸２１と回転軸線が交差するように設けられた複数のころ７４とを有する摩擦移動機構と、ころ７４を送り軸２１に対して当接および離脱させる切換手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】ステージを移動面に沿って移動させる。
【解決手段】移動面を移動するステージに対して用力を供給する用力供給装置（１５５）が、第１軸部（２３２）、第１支持部（２３４，２３５）、第２軸部（２３８）及び第２支持部（２３９）を備え、第１軸部は第１支持部により第１軸の方向及び第１軸回りに移動可能に支持され、第２軸部は第２支持部により第２軸の方向及び第２軸回りに移動可能に支持されている。このように用力供給装置を少なくとも４自由度を有する機構とすることにより、ステージが２次元面内で、第１、第２軸方向、及び各軸回りの回転方向に移動しても、用力供給装置がその移動の妨げとなることがないので、流体の供給にチューブなどの配管を用いる場合と比較して、チューブを引きずることによるステージの位置制御性の低下を完全に回避することができる。 （もっと読む）

【課題】試料移動ステージをスライドさせて生じるスライドの変形が試料テーブルに伝達されることを防止する試料移動ステージに関する。
【解決手段】ベースフレームに取り付けられ第１のガイドブロックに沿って移動する第１のスライド、および前記第１のスライドに取り付けられかつ第２のガイドブロックに沿って移動する第２のスライドが相互横断方向に取り付けられる可動部と、前記第２のスライドに形成されたひずみメカニズムモジュール５０を仲介して取り付けられた試料テーブルによって試料を移動させる。前記ひずみメカニズム５０は、上下方向に沿って一定間隔で上記第２のスライドの上面を規則的に貫通する多数の緩衝孔５３と、前記緩衝孔５３の中心に当たるように切断され、かつ上記試料テーブルが取り付けられるブリッジ部５６および取付部５２の変形空間を提供する多数の変形ライン５４とからなり、スライドによる変形が試料テーブルに伝達されない。 （もっと読む）

【課題】リニアテーブルを構成する可動テーブルの駆動・制御をするための制御アンプをリニアテーブル外に設置すると、所定装置への組み込みに時間がかかっていた。
【解決手段】本発明のリニアテーブルは、エンコーダとリニアモータとを併設した可動テーブルと、可動テーブルの直下に制御アンプを一体化して配置した構造である。
本発明のリニアテーブルは、上記のような構成にすることでリニアテーブルの所定装置への組込み時間の迅速を図るとともに省配線化を実現する。 （もっと読む）

【課題】ステージの変形や変位を抑制しつつ、高精度に傾斜できるステージ装置を提供する。
【解決手段】支持部材１７が傾斜すると、その方向（連結部１７ｃの幅方向即ちステージ２１の面に垂直な方向）の連結部１７ｃの剛性は比較的高いので、それに応じて支持部１７ｂも傾斜する。また相対変位部１７ａと支持部１７ｂとを連結する連結部１７ｃは、その面に垂直な方向即ちステージ２１の面に沿った方向の剛性が低く、また隣接する相対変位部１７ａ、１７ａはばね板１７ｄにより連結されているので、固定された相対変位部１７ａに対して、ステージ２１の面に沿った方向に変形しやすくなっており、図４の二点鎖線で誇張して示すように、変位した相対変位部１７ａにおけるステージ２１の面に沿った方向の変位を許容し、ストレスを解放するようにしている。 （もっと読む）

【課題】精度向上を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、円弧状に形成されたアリ条部１ａを有するベース１と、このベース１に対向して設けられると共に、アリ条部１ａに嵌合するアリ溝２ａを有するプレート２と、このプレート２をアリ条部１ａに沿って移動させる移動手段６と、アリ条部１ａに嵌合して摺動するアリ溝２ａは、対向する面２ａ’、２ａ”を有し、この対向する面２ａ’、２ａ”の内、少なくとも、一方の面２ａ’は、がたつきを有してプレート２に取り付けられているものである。 （もっと読む）

【課題】ベース部材に凹部が存在している場合でも、不測の挙動を示すことを抑制する。
【解決手段】第一部材の第一面１０Ａに形成された溝部１４の内側に設けられた第一流体吹出部１１と、溝部１４とは異なる第一面１０Ａ内の領域に設けられた第二流体吹出部２１Ａ、２１Ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】高精度で位置及び運動を制御することができる装置を提供する。
【解決手段】１以上の整流リニアモータであって、リニアモータは、ガイドレスステージを、１つの長い直線方向に動かし、ある平面において、微動のヨー回転を行わせる。単一のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を保持するキャリア／従動子は、長い直線運動の方向に動くステージを概ね追従するように制御される。ＶＣＭは、ある平面において、電磁力を与えて、長い直線運動の方向に直交する直線方向に、ステージを微動させる。これにより、適正なアライメントが得られる。整流型リニアモータの一方の要素（つまり、コイル又は磁石）が、平面上を自在に動くことのできる駆動フレームの上に設けられる。駆動フレームは、反作用力によって駆動され、装置の重心位置を維持する働きを持つ。１つのリニアモータを使用する場合には、２つのＶＣＭを用いて、ヨー回転を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】ロッキング装置を具備したＸ−Ｙステージ駆動装置と、これを採用した情報保存機器を提供する。
【解決手段】Ｘ−Ｙステージと、Ｘ−Ｙステージを弾性支持し、Ｘ−Ｙステージのコーナーを支持する弾性ビームを具備する支持部とＸ−Ｙステージを第１方向と、第１方向と直交する第２方向とに駆動する駆動部と、Ｘ−Ｙステージの回転を阻止するスティフナと、スティフナを静電気力で固定するロッキング装置とを具備することを特徴とするロッキング装置を具備したＸ−Ｙステージ駆動装置である。 （もっと読む）

【課題】
簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
移動部材３は、定盤１上に配置されたガイドレール２、２に沿って移動可能なスライダ３ｄ、３ｄを取り付けた第１の脚部３ａと、定盤１に対して非接触状態で支持された第２の脚部３ｂとにより支持されているので、移動に際しての抵抗が少なく、リニアモータ５に大きな駆動力を必要としないためコンパクトな構成とできる。又、スライダ３ｄ、３ｄは、静圧軸受に比べ一般的に剛性や負荷容量が高い代わりに駆動抵抗が大きいという特徴があるので、スライダ３ｄ、３ｄ側をリニアモータ５によって駆動することにより、駆動時における移動部材３の姿勢変化を抑えることができ、ロストモーションを抑えることで高精度な位置決めを実現できる。 （もっと読む）

【課題】 ヨーイング、ピッチング及びローリング、コギング、速度制御におけるループゲイン、デッドタイム発生回路に起因する位置決め精度向上の障害要因に対応した補正手段を備えた、複数のスライダ部を有するＸＹステージを実現する。
【解決手段】 格子プラテン上のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
独立に位置制御される複数のスライダ部を有し、これらスライダ部の夫々は、スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する位置制御手段と、スライダ部のＺ軸まわりのヨーイングを補正するヨーイング補正手段を備える。 （もっと読む）