【課題】高精度な位置制御及び速度制御を実現可能とする。
【解決手段】エンコーダ装置４０から出力される正弦波のアナログＡ相及びＢ相信号を、信号処理回路５０で次のように変換する。即ち、信号処理回路５０では、アナログＡ相及びＢ相信号をディジタル化して無逓倍のディジタルＡ相及びＢ相信号を生成すると共に、アナログＡ相及びＢ相信号を４倍に逓倍且つディジタル化して、ディジタル逓倍Ａ相信号及びディジタル逓倍Ｂ相信号を生成する。更には、ディジタルＡ相及びＢ相信号の排他的論理和（ＸＯＲ）信号を、ディジタルＺ相信号として生成する。位置検出部６１は、ディジタル逓倍Ａ相信号及びディジタル逓倍Ｂ相信号に基づき、対象物の位置を検出する。一方、速度検出部６３１，６３２，６３３は、ディジタルＡ相信号、又は、ディジタルＺ相信号、又は、ディジタルＡ相及びＢ相信号の両者に基づき、対象物の速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】
ファイバの長さと波長可変光源の掃引周期（掃引速度）とに起因して発生するＦＢＧの反射波長の測定時の波長ずれを補正することによって、高速波長掃引の可能な波長可変光源を用いて測定の高速化を行った場合でもＦＢＧの反射波長を正確に測定できるＦＢＧセンサシステムを提供する。
【解決手段】
受光器１４から出力される電気信号ｂと波長可変光源１０の発振波長の情報を持った電気信号ｃとからＦＢＧ１３ａ〜１３ｃの反射波長を仮の反射波長λ_Ｔとして測定し、測定したこの仮の反射波長λ_Ｔに基づいて、予めメモリ１６ｃに記憶されている、ファイバ１２ａ〜１２ｃの長さと波長可変光源１０の掃引速度とに起因して発生するＦＢＧ１３ａ〜１３ｃの反射波長の測定時の波長ずれを補正するための波長補正値λ_Ｃを読み出し、読み出したこの波長補正値λ_Ｃで上記仮の反射波長λ_Ｔを補正してＦＢＧ１３ａ〜１３ｃの反射波長λ_Ｆを求める。 （もっと読む）

【課題】回転体や各種移動体表面に形成されたマークとそれを検出するセンサとの距離変動や角度変動が生じたりあるいは回転体や各種移動体の速度変動が生じてもて高精度にマークを検出して回転体や各種移動体の移動量を安定して検出する。
【解決手段】所定の周期パターンで配列されて設けられた複数の反射マーク１８とスリット１９によって構成されるスケール１７のほぼ同じ位置に、光ヘッド部２２ａ，２２ｂから波長の異なる光ビームを照射し、スケール１７の反射マーク１８から反射した光あるいはスリット１９を透過した光を検出して、オフセット変動を除去するとともに、スケール１７の隣接した位置に光ビームを照射しても、検出した光ビームは他方の光ビームの散乱光や迷光を受光することなく、Ｓ／Ｎの高いマーク検出信号を得る。 （もっと読む）