【課題】エンコーダの検査を高精度且つ容易に行うことが可能なサーボモータを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、シャフトＳＨに連結され、複数の反射スリット１１１からなるスリットアレイＳＡが円周方向に沿って形成された円板状のディスク１１０と、スリットアレイＳＡに光を照射する点光源１２１、及び、点光源１２１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光する受光アレイ１２２を備えた光学モジュール１２０と、光学モジュール１２０が設けられる基板１３０と、モータＭのハウジング１０に固定され、ディスク１１０を内部に収容しつつ、光学モジュール１２０がスリットアレイＳＡと対向するように基板１３０を支持する、円筒状の支持部材１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光学式エンコーダにおいて、スケールと受光部とが周期パターンの周期方向に直交する方向に相対変位しても、良好な精度で位置検出を行えるようにする。
【解決手段】エンコーダは、光を反射または透過する光学部が第１の方向に第１の周期で形成された周期パターンを有するスケール２と、該スケールとの第１の方向での相対移動が可能であり、光源１から射出されて光学部を介した検出光を光電変換して第１の周期に応じた変化周期を有する信号を出力する受光部３とを有する。光学部は、第２の方向にて隣り合う複数の部分ｅ〜ｈが互いに第１の方向にシフトしたパターン形状を、第２の方向に第２の周期ｔで有する。光源の第２の方向での幅ｗが、ｗ＝（ａ＋ｂ）／ｂ・ｎｔなる条件を満足する。ｎは自然数であり、光源から周期パターンまでの距離と周期パターンから受光部までの距離との比をａ：ｂとする。 （もっと読む）

【課題】スケールからの反射光による像のコントラストを高くし光検出器の誤検出を防ぐ。
【解決手段】下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置された反射型光学式スケールであって、下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置され、第１領域は、波長λの光の反射率が第２領域よりも高く、第１領域は、下地部材の上に配された反射部材と、反射部材の上に配された第１材料で構成された層と、第１材料で構成された層の上に配された第２材料で構成された層と、で構成され、第２領域は、下地部材の上に配された第２材料で構成された層で構成され、第１材料および第２材料は、光について透過性を有し、第１材料は、反射部材および第２材料よりも光の屈折率が低く、第２材料は、下地部材よりも光の屈折率が低く、第１材料および第２材料の光学膜厚は、第１領域の方が第２領域よりも光の反射率が大きくなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】安価に光学系の歪みをキャンセルしてスケールの位置情報の検出精度を向上させる。
【解決手段】光電式エンコーダは、発光素子１１と、スケール１２と、レンズ１３と、ＰＤＡ１４と、信号処理演算回路２０とを備える。信号処理演算回路２０は、歪みテーブル２１と、歪み補償回路２２と、信号解析回路２３とを備える。歪みテーブル２１は、例えば予めレンズ１３等の光学系の設計値から歪みシミュレーションによって得られた歪み情報Δｅ_ｉに基づき算出されている。歪み補償回路２２は、歪みテーブル２１を参照すると共に、ＰＤＡ１４の各ＰＤ４１の位置情報に基づいて、各ＰＤ４１の位置ｘ_ｉを仮想的にｘ_ｉ−Δｅ_ｉの位置に配置変更して光学系の歪みを除去し、ＰＤＡ１４からの明暗信号を補正する。位置解析回路２３は、この補正された明暗信号に基づいて、スケール１２の位置を解析する。 （もっと読む）

【課題】リサージュ信号の検出を停止した場合にも、測定精度の低下を抑制可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダは、スケールと、前記スケールに光を照射すると共に供給される電流に応じて光量を変化させる光源と、前記スケールにより反射された光を受光すると共に位相のずれた２相正弦波状信号を出力する受光部とを備えるエンコーダであって、前記２相正弦波状信号によって形成されるリサージュ波形に含まれる理想的リサージュ波形からの振幅誤差を含む誤差を検出し、検出された誤差を累積演算して新たな補正値とすることで、動的に前記補正値を更新する誤差検出部と、前記振幅誤差に基づく補正値に応じて前記光源に供給する電流を調整する光源駆動処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】容易且つ安価に構成でき、高精度な目盛の測定誤差の校正を可能とする。
【解決手段】光電式エンコーダ１００は、スケール１０、検出ユニット２０、演算部３０を有する。検出ユニット２０は、少なくとも３つの検出部２１〜２３を有する。各検出部は、第１検出部２１及び第２検出部２２間の測定点の間隔が、物理的に配置可能な最小間隔ｄとなるように配置され、第２検出部２２及び第３検出部２３間の測定点の間隔が、最小間隔ｄよりも大きな間隔となるように配置される。第１検出部２１の測定点の出力を１ステップ前の他の検出部の測定点に合わせるように制御しつつ検出ユニット２０をステップさせてサンプリングを行う。各検出部の測定点の間隔がすべてｄ以上となるにもかかわらず、ｄ以下のサンプリング間隔で測定誤差を算出し、自律校正曲線を得てスケールの位置情報を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダにおいて、三角関数演算の回数を削減する。
【解決手段】エンコーダは、周期パターン１１が設けられたスケール１０と、スケールとの相対移動が可能であり、周期パターンを読み取って、それぞれ周期パターンに応じた変化周期を有し、かつ互いに位相が異なる複数のアナログ信号を出力するセンサ２０と、該センサから出力された複数のアナログ信号を時分割でアナログ−デジタル変換して複数のデジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部３０と、複数のデジタル信号から位相を検出する位相検出部６０と、スケールとセンサとの相対移動速度と位相検出部により検出された位相とを用いて補正値を算出し、該補正値と位相検出部により検出された位相とから補正位相を算出する補正部７０と、該補正位相を用いて、スケールとセンサとの相対移動方向での位置を求める位置検出部８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】モータ軸の回転量を検出するための検出ユニットにおいて、エンコーダとしての信頼性を簡便に高める。
【解決手段】入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、複数の受光素子は、光の光量分布に応じて所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】中心射影方式に基づく回転式位置測定装置について、検査光路上における個々の構成部材間の最適でない間隔についてより影響度を抑え、及び／又は検査すべき被検査物の汚れの影響を極力受けないようにすること。
【解決手段】光源１０と、被検査物２０を備えたスリット板と、検出装置３０とを備える構成とするとともに、スリット板を光源１０及び検出装置３０に対して回転軸Ｒを中心として回転可能とし、相対回転時に回転角度に応じた位置信号を検出装置３０によって検出可能であり、回転軸Ｒ上の光源１０を被検査物２０から第１の距離ｕだけ離間させて配置し、検出装置３０を、第１の距離ｕとは異なる第２の距離ｖだけ被検査物２０から離間させて配置した。 （もっと読む）

【課題】位置検出器の走査組立品のキャリアに対する放射線源の所定の位置決めを簡単な手段によって可能にする。
【解決手段】放射線源が、異なる位置でそれぞれの電気導体要素に電気接触していて、この放射線源４をキャリア１に対する調整軌道に沿って異なる位置に配置できるようにするため、キャリア１の電気導体要素と放射線源４の電気接続要素４４，４６とが、導通部分を形成し、放射線源４をキャリア１に対して固定する前に、この放射線源４が、この放射線源４と電気導体要素との間の電気接触を維持しながら調整軌道に沿ってキャリア１に対して導通部分に接して移動可能である。 （もっと読む）

【課題】雰囲気温湿度が変化するような場合でも、高精度の位置測定を行うことができる位置測定装置を提供する。
【解決手段】コリメートレンズ２を透過した光のうち、ビームスプリッタ３で反射された光は、集光レンズ８により、ＣＣＤ９の受光面に集光される。光源１が振動して光ビームの位置が変われば、ＣＣＤ９に入射する光ビームの位置が変化するので、ＣＣＤ９の出力変動から、光ビームの振動中心を知ることができる。制御装置１０は、この振動中心を検出し、振動中心が予め定められた位置となるように、光源１を加振しているピエゾ素子１１に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】十分に平行に配設された二つのプレート間で、高精度で干渉計方式により間隔測定するための機構を提供する。
【解決手段】光源３．１から発せられた光束が、第一プレート１にある分光器要素１．２に傾斜して当たり、そこで反射される参照光束と透過する測定光束に分割される。測定光束は第二プレート２にあるリフレクタ要素２．２に当たり、そこで第一逆反射を受ける。参照光束は第一屈折要素３．２ａを、測定光束は第二屈折要素３．２ｂを通過し、二つの光束は引き続いて、それぞれ関連配置された逆反射器３．３を通過して、測定光束は第三屈折要素３．２ｃを、参照光束は第四屈折要素３．２ｄを通過する。そして参照光束は第一プレート１で反射を、測定光束は第二プレート２のリフレクタ要素２．２で第二逆反射を受け、それにより二つの光束が、共直線で検知ユニット３の方向に伝播し、そこで位相がずれた複数の走査検知信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】符号板の回転数が高くなった場合でも適切に誤動作を検出することができるエンコーダ及びエンコーダのパターン検出方法を提供すること。
【解決手段】パターンを有し、回転軸を中心として回転する回転部と、パターンを検出する第一パターン検出部と、当該第一パターン検出部とは別にパターンを検出する第二パターン検出部と、第一パターン検出部又は第二パターン検出部における検出異常の有無を検出する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基準位置を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、基準位置を示す基準位置パターンと位置情報パターンとを有するスケールと、スケールに光を照射する光源と、光を変調させる変調信号を生成する変調部と、変調信号に基づいて変調された変調光によって位置情報パターンを検出した位置情報信号に基づいて、スケールの位置情報を検出する位置情報検出部と、変調光によって基準位置パターンを検出した検出信号を出力する基準位置受光部と、検出信号に基づいて、基準位置を検出する基準位置検出部と、を備え、基準位置検出部は、光を変調することによって生じる基準位置の変位を補正する補正部を備える。 （もっと読む）

【課題】大型化し、検出精度等にも不都合が生じる磁気センサの使用をなくし、小型かつ安価なコストで、また５μｍ以下の分解能で１０ｍｍ以上の長距離検出を可能にする。
【解決手段】反射面ｓａと非反射面ｓｂを移動物の移動方向に交互に並べた反射板１２を設け、反射型フォトセンサ９の受光素子８には、移動物の移動方向でそれぞれ異なる受光領域を持つ複数の受光部８ａ，８ｂを設け、この２つの受光部８ａ，８ｂから位相差の異なる信号を出力し、これら２つの信号に対し例えばリニア値演算を施すことにより、反射板１２及び移動物の位置を検出する。また、３分割受光部から３つの信号の出力することで中点電位をも算出し、この中点電位を基準にしたリニア値演算を行ってもよい。上記受光部では、その受光領域の一部を遮光し、検出出力の直線性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、光学式エンコーダの原点信号検出を行うこと。
【解決手段】光源1と、配列方向に相対移動が可能なインクリメンタル信号生成用パターン5を有するメインスケール4と、光源1で照明されたメインスケール4を透過、または、反射した光束を受光し、インデックススケールを兼ねる複数のフォトダイオードから成る第1のフォトダイオードアレイと、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される第2のフォトダイオードアレイを有するインクリメンタル信号検出部2と、第2のフォトダイオードアレイからの出力信号を処理するインクリメンタル信号処理部3を有し、メインスケール4が、複数のインクリメンタル信号生成用パターン5と同一ピッチの原点信号生成用パターン9を有し、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される原点信号検出部10からの出力信号を処理する原点信号処理部11を有する。 （もっと読む）

【課題】光学系の高さを低くするとともに、回折格子からの０次光の影響を低減して計測精度を向上する。
【解決手段】Ｘ軸のエンコーダ１０Ｘは、第１部材６に設けられ、Ｘ方向を周期方向とする回折格子１２Ｘと、可干渉性のある計測光ＭＸ１及び参照光ＲＸ１を供給するレーザ光源１６と、第２部材７に設けられ、計測光ＭＸ１を回折格子１２Ｘに向けてリトロー角から所定角度ずれた角度で反射する傾斜ミラー３２ＸＡと、回折格子１２Ｘからの回折光と参照光ＲＸ１との干渉光を検出する光電センサ４０ＸＡと、光電センサ４０ＸＡの検出信号を用いて第１部材６に対する第２部材７のＸ方向の相対移動量を求める計測演算部４２Ｘと、を備える。 （もっと読む）

【課題】歯車機構を備えた位置検出装置と光学式エンコーダ装置とを備えたエンコーダを提供する。
【解決手段】ハウジング３が第１の収納部１１と第２の収納部１３との間に軸受けホルダ９を備えている。軸受けホルダ９は、歯車機構２１と光学式エンコーダ装置７とを隔離する隔壁部を構成する。歯車機構２１と光学式エンコーダ装置７とを隔離すると、歯車機構２１から発生する磨耗粉やグリスが飛散して、光学式エンコーダ装置７の構成部品に付着することを確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）

【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転が規制された非回転体であるエンコーダ本体２ａと、エンコーダ本体２ａに回転自在に軸支された回転体である回転軸３とを有し、エンコーダ本体２ａに対する回転軸３の相対的な回転角度を検出する相対的角度検出手段としてのロータリエンコーダ２と、エンコーダ本体２ａの絶対的な回転角度を検出する絶対角度検出手段としての非接触角度検出手段２０とを備える。これにより、ロータリエンコーダ２が検出した回転角度を、非接触角度検出手段２０で検出した回転角度に基づいて補正することができ、回転角度を高精度且つ短時間で測定することが可能となる。 （もっと読む）