【課題】迷光が回路要素に入射するのを防止できる光学リードヘッドを提供する。
【解決手段】リードヘッドとスケールトラックとの測定軸方向に沿った変位を測定するための光学リードヘッドは、スケールトラックへ光源光を出力するように構成された照明部と、モノリシック検出器構造と、を備える。モノリシック検出器構造はスケールトラックからのスケール光を受光するように構成された第１トラック光検出器部と、第１金属層と、第２金属層と、第１金属層と第２金属層との間に形成された複数のダミービア３７１と、を備える。複数のダミービア３７１は、第１金属層と第２金属層の間の層を通り抜ける光の伝達を遮るように配置され、かつ、複数のダミービア３７１はモノリシック検出器構造上の回路要素間を接続するための複数の有効ビアを製造する工程と同じ工程によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】容易且つ安価に構成でき、高精度な目盛の測定誤差の校正を可能とする。
【解決手段】光電式エンコーダ１００は、スケール１０、検出ユニット２０、演算部３０を有する。検出ユニット２０は、少なくとも３つの検出部２１〜２３を有する。各検出部は、第１検出部２１及び第２検出部２２間の測定点の間隔が、物理的に配置可能な最小間隔ｄとなるように配置され、第２検出部２２及び第３検出部２３間の測定点の間隔が、最小間隔ｄよりも大きな間隔となるように配置される。第１検出部２１の測定点の出力を１ステップ前の他の検出部の測定点に合わせるように制御しつつ検出ユニット２０をステップさせてサンプリングを行う。各検出部の測定点の間隔がすべてｄ以上となるにもかかわらず、ｄ以下のサンプリング間隔で測定誤差を算出し、自律校正曲線を得てスケールの位置情報を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダにおいて、三角関数演算の回数を削減する。
【解決手段】エンコーダは、周期パターン１１が設けられたスケール１０と、スケールとの相対移動が可能であり、周期パターンを読み取って、それぞれ周期パターンに応じた変化周期を有し、かつ互いに位相が異なる複数のアナログ信号を出力するセンサ２０と、該センサから出力された複数のアナログ信号を時分割でアナログ−デジタル変換して複数のデジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部３０と、複数のデジタル信号から位相を検出する位相検出部６０と、スケールとセンサとの相対移動速度と位相検出部により検出された位相とを用いて補正値を算出し、該補正値と位相検出部により検出された位相とから補正位相を算出する補正部７０と、該補正位相を用いて、スケールとセンサとの相対移動方向での位置を求める位置検出部８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造を容易にしつつ小型化することが可能な、光全周エンコーダ及びモータシステムを提供すること。
【解決手段】回転軸ＡＸ上に位置する発光部１１１が一面側に配置された基板１１０と、基板１１０の他面側において回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、回転軸ＡＸを中心とし複数の回転スリットＳ２，Ｓ３を有する２つの回転トラックＴ２，Ｔ３を有するディスク１４０と、発光部１１１から照射された光を、ディスク１４０の外周方向のほぼ全域に向けて放射状に導き、回転トラックＴ２，Ｔ３に導く導光部１２０とを有し、導光部１２０は、回転トラックＴ２に間接的に対向する略リング状の照射入光面１２６を有し、該面１２６から回転トラックＴ２に向けて出射するために光を放射状に導くインクレ用第１導光部１２３等と、放射状に導いた光の一部を回転トラックＴ３に導くアブソ用第２導光部１２９３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターンから、簡単な処理回路を用いて高速でアブソリュートパターン信号とインクリメンタルパターン信号を分離する。
【解決手段】アブソリュートパターン１２Ａとインクリメンタルパターン１２Ｂを統合したＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターン１２Ｃを有する絶対測長型エンコーダにおいて、前記アブソリュートパターン１２Ａ由来の明暗信号と前記インクリメンタルパターン１２Ｂ由来の明暗信号とに振幅差が生じるように設計された撮像光学系（レンズ１４）と、前記ＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターン１２Ｃからの受光信号を、前記振幅差を利用してアブソリュートパターン信号とインクリメンタルパターン信号に分離する信号処理系（比較器２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】符号板の回転数が高くなった場合でも適切に誤動作を検出することができるエンコーダ及びエンコーダのパターン検出方法を提供すること。
【解決手段】パターンを有し、回転軸を中心として回転する回転部と、パターンを検出する第一パターン検出部と、当該第一パターン検出部とは別にパターンを検出する第二パターン検出部と、第一パターン検出部又は第二パターン検出部における検出異常の有無を検出する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】２次元アブソリュートエンコーダの高分解能化に有利な技術を提供する。
【解決手段】互いに直交する第１方向および第２方向に沿って所定のピッチでマークが２次元配列されたスケールと、第１方向に配列された第１個数のマークを検出し、第２方向に配列された第２個数のマークを検出する検出器と、第１及び第２方向におけるスケールの絶対位置を、検出器の出力に基づいて、それぞれ決定する処理部とを備える。各マークは、第１方向における位置を示すための量子化された第１符号の情報と第２方向における位置を示すための量子化された第２符号の情報とを有する。処理部は、第１個数のマークの検出結果から第１符号列を生成し、第１符号列から第１方向におけるスケールの絶対位置を求め、第２個数のマークの検出結果から第２符号列を生成し、第２符号列から第２方向におけるスケールの絶対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】基準位置を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダは、位置情報パターンと基準位置を示す基準位置パターンとを有するスケールと、位置情報パターンを検出した位置情報信号を出力する位置情報検出部と、基準位置パターンを検出して、第１信号と第２信号とを出力する基準位置検出部と、第１信号と第２信号とに基づいて、基準位置の近傍位置を示す基準位置近傍信号、及び、基準位置を示す基準信号を生成する信号生成部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 光学系の改善によりより大きな光学信号のコントラストを得られるように工夫し、それによって、その後の工程において信号処理の安定化や高信頼性化を図ることが可能なエンコーダとそのエンコーダを搭載したアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 光学検出器と光源の間に遮光板を設け、その遮光板が上記光学検出器寄りに設置し、それによって、迷光を低減させて信号のコントラストを改善させ、その後の工程において信号処理の安定化や高信頼性化を図ることが可能となるもの。 （もっと読む）

【課題】回転情報の制御の精度低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部、及び中空部から外周面へ通じる貫通孔を有する第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転数制御の精度の低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部を有する第１軸部と第２軸部とがユニバーサルジョイントで互いに接続された第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型かつ高精度な位置検出が可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターン列はＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向にそれぞれ異なるピッチを有する複数の領域２３Ａ、２５Ａを有し、領域２５Ａのエネルギー分布の振幅がスケールのＸ方向の位置に従って変化するように構成されている。エンコーダは、受光素子アレイ１６Ａの出力信号からそれぞれ対応する領域の振幅を取得する第１、第２の振幅取得手段３７、３８と、第１、第２の振幅取得手段３７、３８が取得した複数の領域の２つの振幅の比で表される振幅信号Ｓ＿ａｍｐをスケールの絶対位置を表す絶対位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なスケールの位置検出をすること
【解決手段】エンコーダにおいて、パターン列は、移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列されたＸ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。信号処理手段３０は、受光素子アレイの出力からピッチＰ１の位相を取得する第１の位相取得手段３２を有する。エンコーダは、領域２３を検出する複数の受光素子１７Ａの出力信号に対して受光素子アレイ上の位置に応じた重みを使用して重み付けをし、重みは、第１の位相取得手段の空間周波数応答のピッチＰ２に対応する空間周波数を含む所定の範囲において、重み付け有の値が重み付け無の値以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】検出波形の誤差成分を低減し、高精度な位置検出を可能とする。
【解決手段】スケールの透過率分布または反射率分布を、測位方向に垂直な方向の積分値が測位方向に均一な変調振幅となる細周期パターンに対応した変調成分と、測位方向に均一な変調振幅となる粗周期パターンに対応した変調成分と、の加算された値となる分布とする。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの低コスト化を図りつつ、エンコーダの信頼性を向上する。
【解決手段】エンコーダ２７は、起動時等にスライダが停止した状態で、独立して点灯される複数の光源を用いて複数の絶対位置を検出し、この複数の絶対位置の差が所定範囲内に収まっているかどうかに基づいてエラーの判定を行うことで、高い信頼性を確保する。これとともに、エンコーダ２７は、起動後は、インクリメンタルスケール５１を用いインクリメンタルエンコーダとして用いられることで、低コスト、及びコンパクトな構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上させることができるエンコーダ、光学モジュール及びサーボシステムを提供すること。
【解決手段】複数の反射スリットが測定軸に沿って並べられたスリットアレイＳＡ１，ＳＡ２と、スリットアレイの一部に対向し測定軸Ｃ上で相対移動可能な光学モジュール１３０とを備え、光学モジュールは、スリットアレイに光を照射する点光源１３１と、スリットアレイと平行な面内において測定軸と垂直な幅Ｒ方向で点光源に対してオフセットした位置に配置され、点光源から照射されて反射スリットで反射された反射光をそれぞれ受光する複数の受光素子が測定軸に沿って並べられた受光アレイＰＡ１，ＰＡ２とを有し、複数の受光素子は、測定軸方向で点光源に近い受光素子ほど幅方向の長さが短い形状をそれぞれ有し、幅方向における点光源と反対側の端部Ｅｎが測定軸に沿った位置になるように並べられる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、回転体の相対回転角および絶対回転角を検出することができる光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】相対回転角検出部２２は、相対回転角検出用受光部２０からの出力信号を受けて、コードホイール１の透過領域としての光オン部１１ａ，１１ｂおよび遮断領域としての光オフ部１２からの光量の相違に基づいて、コードホイール１の相対回転角を検出する。一方、絶対回転角検出部２３は、絶対回転角検出用受光部２１からの出力信号を受けて、コードホイール１の第１の領域としての第１光オン部１１ａおよび第２の領域としての第２光オン部１１ｂからの光量の相違に基づいて、コードホイール１の絶対回転角を検出する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を維持しつつ、小型で、製造コストの低いエンコーダ等を提供する。
【解決手段】エンコーダユニット４０は、主動歯車５０と、主動歯車５０に噛み合っている従動歯車６０、７０とに形成された光学トラック５４，６４，７４それぞれからの光に基づいて、シャフト３０の回転数を検出する。したがって、いずれの従動歯車６０、７０も主動歯車５０に直接噛み合っていることから、歯車のバックラッシュの累積等による信頼性の低下を防ぐことができるとともに、エンコーダユニット４０及びモータユニット１０を小型にできる。 （もっと読む）

【課題】精度の点で有利なアブソリュートロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】第１軸の周りに一定の周期で複数のマークが配列され第２軸を回転中心として回転するスケールと、前記周期よりも小さいピッチで配置された複数の光電変換素子によって複数のマークの中の一部のマークを検出する第１検出器及び第２検出器のそれぞれから出力される周期信号に基づいて第１検出器の位置におけるスケールの絶対回転角度を算出する算出部と、を備える。前記算出部は、第１検出器から出力された周期信号の振幅を量子化することによってデータ列を生成し、該データ列を第１角度データに変換し、第１検出器及び第２検出器から出力された周期信号の振幅をそれぞれ規格化し、該振幅が規格化された周期信号を平均化し、該平均化された周期信号の位相から第１角度データよりも最小単位が小さい第２角度データを算出し、第１角度データと第２角度データとを合成する。 （もっと読む）

【課題】偏光コード化されて位相のずれた走査検知信号を生成し、そして出来るだけ簡単に構成されている光学式位置測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの測定方向に沿って互いに相対的に可動で配設されている基準尺と走査検知プレートの、相対位置を検出するための光学式位置測定装置に関するものである。光源から発光された光束が第一格子により、偏光状態を互いの間で直角に方向付けできる少なくとも二つの分光光束に分割される。その分光光束が、再び一緒にされて一つの合成光束になり、その合成光束から検知ユニットにおいて、移動に関係する複数の走査検知信号を生成することができる。分光光束の光路に偏光手段が配設されており、それに入射する分光光束に対するその偏光作用を、基準尺の運動自由度に沿って偏光周期を使って周期的に変更でき、そのとき偏光手段の偏光周期が第一格子の目盛周期より大きい。 （もっと読む）