【課題】 この発明は、移動量の計測にＧＰＳを利用することなくユーザの歩幅を求めて歩幅データを補正することのできる測位装置、その歩幅データ補正方法およびプログラムを提供する。
【解決手段】 被写体の撮影を行う撮影手段と、加速度を検出する加速度センサと、方位を計測する方位センサと、歩幅データを記憶する歩幅データ記憶手段と、直線状の移動経路上の複数の地点（Ｘ１，Ｘ２）でそれぞれ行われた撮影の情報に基づき複数の地点（Ｘ１，Ｘ２）間の距離を算出する距離算出手段と、この距離とこの移動中に計数された歩数に基づいて歩幅データを補正する歩幅補正手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】偏位量を求めるべき２つのデータ列間において、３点内挿法に用いる相関量を算出するために用いられるデータの端部に大きな変動がある場合においても、２つのデータ列間の偏位量を高精度に求める。
【解決手段】基本データ列｛Ａ（ｉ）｝および偏位データ列｛Ｂ（ｉ＋ｋ）｝の間の相関量Ｄ（ｋ）の極大値を与えるｋがｋ＝２である場合であって、基本データ列｛Ａ（ｉ）｝における整数ｉの範囲がｉ＝４〜８であるとする。３点内挿法に用いる相関量Ｄ（ｋ−１）、Ｄ（ｋ＋１）の算出の際に、極大を示す相関量Ｄ（ｋ）の算出に用いた偏位データＢ（６）〜Ｂ（１０）以外の偏位データＢ（５）、Ｂ（１１）を除外して算出する。こうした３点内挿法により、特に大きな変動を有する偏位データＢ（１１）の影響を受けずに、高精度かつ安定的に、極大相関量に対する偏位量を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ平坦度などの製造プロセス条件に対して最適なスキャン速度を設定することを可能とし、露光性能と生産性を高いレベルで両立させて歩留まりの良い露光を実現する。
【解決手段】実露光に先立って、ウェハ面形状のフォーカス・レベリング軌道を求め、前記軌道を用いた場合のレチクルステージとウェハステージ２との相対位置誤差を推定する。更にスキャン速度算出手段６により、同期誤差の移動平均・移動標準偏差の期待値を、代表的なスキャン速度複数通りに対してそれぞれ算出した後、プロセスに見合った同期誤差のしきい値を満たす最大スキャン速度を各ショット毎に求め、それに応じた露光量等を再設定し、コンソール８に実際に設定された１ショット毎のスキャン速度を表示する。 （もっと読む）