【課題】低コストで電圧可変な電源を用いた試験システムを実現する。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験システムであって、被試験デバイスに電源電力を供給する電源装置と、被試験デバイスの所定の特性を測定して、被試験デバイスの良否を判定する試験部とを備え、電源装置は、入力端子に与えられる入力電圧に応じた電源電圧を生成し、且つ、制御端子に与えられる制御信号に応じて電源電圧を調整して出力する電源部と、電源部が出力する電源電圧と、所定の参照電圧との差分に応じて制御信号を生成し、電源部の制御端子に入力する帰還部と、被試験デバイスに供給すべき電源電圧に応じて、参照電圧を制御する電圧制御部とを有する試験システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】 定電圧または定電流を出力する出力アンプの出力を第１のスイッチを介して測定対象物に印加し、また第２のスイッチを介して測定対象物の電圧を前記出力アンプに帰還すると共に、出力アンプの出力端子と第２のスイッチとの間に第１の抵抗を配置したＤＣモジュールでは、測定確度を確保するために第１の抵抗に高抵抗を用いるので、浮遊容量を充電するために時間がかかり、無印加モードから電流印加モードに切り替える際に時間がかかってしまうという課題を解決する。
【解決手段】 第１の抵抗に並列に第３のスイッチを接続し、切り替えの際にこの第３のスイッチをオンにして第１の抵抗を短絡するようにした。浮遊容量を急速に充電することができるので、切り替え時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】バイパスコンデンサにおける誘電体吸収電流の影響を除去して、対象デバイスに流れる電源電流を測定する。
【解決手段】対象デバイスに電力を供給する電源装置であって、設定値に応じた電圧を出力する電力供給部と、電力供給部から対象デバイスに流れる電源電流を測定する測定部と、電源電流を測定する場合に、電力供給部と同期して所定の電圧を出力する同期電源部と、電力供給部から対象デバイスに電力を伝送する伝送路と、伝送路と基準電位の間に設けられるバイパスコンデンサと、同期電源部と伝送路の間に設けられる補償コンデンサとを備える電源装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】高電流レンジでの充電時間をできる限り長くすることにより、セトリング特性の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】入力した電圧を増幅して出力する出力アンプ４とＤＵＴ２との間に並列に配置される抵抗値が夫々異なる複数の抵抗５Ａ〜５Ｅと、ＤＵＴ２の容量に基づいて、抵抗５Ａ〜５Ｅから１の抵抗を選択する抵抗選択部２５と、出力アンプ４の出力電圧を制限する電流制限部９と、抵抗５Ａ〜５Ｅから１の抵抗を選択的に接続する第１のスイッチＳＷ１の切り替え制御を行なう手段であって、電流制限部９が出力アンプ４の出力電圧を制限しているときに、抵抗選択部２５が選択した抵抗を接続するように第１のスイッチＳＷ１の切り替え制御を行なうスイッチ制御部２６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】負荷への印加電圧が可変であっても、小型化が可能な電源装置および半導体試験システムを実現することにある。
【解決手段】負荷に印加する印加電圧をフィードバックして設定電圧との誤差を求め、この誤差に基づいて出力アンプが負荷への電流量を増減させて負荷に所定の電圧を印加する電源装置に改良を加えたものである。本装置は、出力アンプの電源電圧の電圧レベルを、設定電圧の電圧レベルに追従させる電圧変換部を設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】被試験デバイスに供給する電源電圧の変化を制御する。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、基準電圧を供給する基準電圧供給部と、基準電圧供給部の正側端子および負側端子の間に、被試験デバイスと並列にドレイン端子およびソース端子が接続された電界効果トランジスタと、基準電圧供給部の正側端子及び負側端子の間に、被試験デバイスの正側電源端子および負側電源端子間、並びに、電界効果トランジスタのドレイン端子およびソース端子間に対して直列に接続されたインダクタンスと、電界効果トランジスタのゲート電圧を制御することにより、被試験デバイスに供給する電源電圧を変化させる制御部と、電源電圧の変化に応じた被試験デバイスの特性に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】出力電圧がステップ状に変化する電圧発生回路を有する半導体試験装置において、オーバシュート及びアンダーシュートを確実に検出し、かつそのピーク電圧を精密に測定する。
【解決手段】電圧発生回路３０の出力電圧２４を定める制御信号２０に基づき生成された電圧Ｖ１と、電圧Ｖ１より比較電圧２１ａ、２１ｂだけ高い又は低い第１及び第２基準電圧２２ａ、２２ｂを生成する。オーバシュート電圧検出回路７は、出力電圧２４が第１及び第２基準電圧２２ａ、２２ｂの範囲外となったときオーバ及びアンダーシュート検出信号２５ａ、２５ｂを送出する。基準電圧２２ａ、２２ｂは、出力電圧２４の負荷の影響をうけることなく生成されるから、電圧Ｖ１に正確に追従する。このため、オーバシュート等の検出、ピーク電圧の測定が正確になされる。 （もっと読む）