【課題】信頼性が高い検査結果を得ることができる検査治具を提供すること。
【解決手段】検出電極１０２を有する静電容量センサーシート１００の検査をするために検出電極１０２に接続される検査装置に適用される検査治具１０であって、静電容量センサーシート１００との間に空気層を生じさせる凹部１３を有し静電容量センサーシート１００が載置される載置台１１と、凹部１３内に設けられ、載置台１１に載置された静電容量センサーシート１００の厚さ方向からみたときに検出電極１０２と重なる位置で静電容量センサーシート１００を支持する柱状部１５と、検査装置と電気的に接続され柱状部１５との間に検出電極１０２が挟まれるように静電容量センサーシート１００に押し当てられる押し子１７と、静電容量センサーシート１００の厚さ方向の一方の表面を柱状部１５に密着させる密着手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 測定条件に応じて供試体台を移動させても脚部をターンテーブルに収めることができる供試体台を提供する。
【解決手段】 供試体台１０は、天板１１、脚部１７等によって構成される。天板１１の下面１１Ｂには後方に引出し可能な引出し部１３が設けられ、引出し部１３の下面１３Ｂに円弧状の回転移動ガイド１６が設けられる。脚部１７は、天板１１の左，右両側に設けられる。各脚部１７は、前側回転部１９と後側固定部２０からなる下側脚部１８と、後側回転部２８と前側移動部２９からなる上側脚部２７とによって構成される。天板１１を後方に移動させるときには、下側脚部１８に対して、上側脚部２７および天板１１を後方に移動させる。このとき、後側回転部２８と前側回転部１９を天板１１の中心側に向けて回転移動させる。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】一方の基板の位置補正に要する時間を他方の基板の検査時間内に吸収し、全体的な処理時間の短縮を図った基板検査方法及び基板検査装置を提供する
【解決手段】並んで配置された第１，第２の搬送レール１１，１２にそれぞれ搬入されて所定の検査位置に停止した基板２１，２２に対し、各基板２１，２２の表面に沿って二次元的に移動するプローブ１ａ〜１ｄを用いて電気的検査を行う基板検査方法において、一方の搬送レール１１の検査位置にある基板２１をプローブ１ａ〜１ｃにより検査している期間に、他方の搬送レール１２に搬入された基板２２の位置を位置検出カメラ４ｄにより検出して基板２２を検査位置に停止させる処理を完了し、基板２１の検査終了後に、プローブ１ａ〜１ｃを移動させて直ちに基板２２の検査を開始する。 （もっと読む）

【課題】パネル受けを交換することなく、及び被検査体が偏光板を備えるか否かに関わりなく、被検査体を正しく検査可能にすることにある。
【解決手段】平板状被検査体の検査装置は、第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成する４つの第２のベースと、少なくとも１つの第２のベースに対応されて、対応する第２のベースを昇降させる少なくとも１つの昇降装置を含む。昇降装置は、上下方向に貫通した第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成するように枠状に、第１のベースの上方に配置された４つの長い第２のベースと間に配置されて、対応する第２のベースを第１のベースに昇降可能に支持させる。 （もっと読む）

【課題】コストの上昇を抑えつつ小形化する。
【解決手段】基板１００を搬送可能に構成された搬送機構１２と、撮像処理を実行して基板１００の画像を撮像する撮像部１３と、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で撮像部１３を移動可能に構成された移動機構１４と、制御部とを備え、制御部は、移動機構１４を制御して撮像部１３を第１位置Ｐ１に移動させると共に、撮像部１３を制御して第１位置Ｐ１において撮像処理を実行させた後に、移動機構１４を制御して撮像部１３を第２位置Ｐ２に移動させると共に、撮像部１３を制御して第２位置Ｐ２において撮像処理を実行させ、第１位置Ｐ１における撮像処理によって撮像された画像に基づいて搬送機構１２を制御して第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に向けての基板１００の搬送を開始させ、第２位置Ｐ２における撮像処理によって撮像された画像に基づいて搬送機構１２を制御して基板１００の搬送を停止させる。 （もっと読む）

【課題】製造工程における位置誤差を解消して、位置精度を高め、検査精度を高め、基板上の検査対象領域の正確な位置を取得する。
【解決手段】基板検査装置１は、荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査させて得られる走査画像に基づいて基板検査を行う基板検査装置において、走査画像から基板上の検査対象領域の特定部位の座標データを取得する座標データ取得手段７を備える。基板検査において、座標データ取得手段で取得した座標データに基づいて走査画像上の検査位置を特定することで、誤差によるずれに影響されることなく基板検査を行う。 （もっと読む）

【課題】電気検査工程において、画像認識装置及びそれに連動した軸等を用いた高価な機器等を用いることなく、より安価な構成で高精度なアライメントを行う機構を提供する。
【解決手段】プローブのアライメント機構であって、キャリア１は、位置決め手段として、ワーク５の端子側端部が配置される位置決めピンブロック２と、前記位置決めピンブロック２上に前記端子側端部を挟むように並べて配置された２つの位置決めピン３と、を有しており、前記アライメント部は、位置決め手段として、前記２つの位置決めピン３の間に挿入されて前記ワークの端子側端部を押圧することが可能な位置決めブロック１０を有しており、前記位置決めブロック１０の面取り量をａ、前記位置決めピンの面取り量をｂ、両者の差をＤとするとき、Ｄ＜ａ＋ｂ・・・（１）の関係を満たす、プローブのアライメント機構。 （もっと読む）

【課題】障害の発生を未然に防いで検査作業の効率化を図る。
【解決手段】故障の発生を予知する故障予知装置において、装置に組み込まされた駆動モータのトルクを検出するトルク検出手段と、当該トルク検出手段で検出したトルクの変動を監視する監視手段と、当該監視手段で監視するトルクが設定基準値の範囲外にあるとき、前記駆動モータの停止、異常メッセージ表示又は警告のいずれか１又は複数を行うことを特徴とする制御部とを備えた。故障予知方法は、前記故障予知装置の処理機能と同様の構成を有する。また、検査装置には、前記故障予知装置の機能を組み込んだ。 （もっと読む）

【課題】 被検査体が接触子に落下することを防止すること
【解決手段】 検査装置は、平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を有するプローブブロックを備えるプローブユニットと、前記パネル受け面の外側に位置された複数の保護部材とを含む。複数の保護部材は前記矩形の少なくとも１つの辺の方向に間隔をおいており、また各保護部材の上端は前記接触子の高さ位置の上方に位置されている。 （もっと読む）

【課題】 特性検査装置或いはテーピング装置でのオフセット教示を簡略化すること、また、オフセット教示することによりチップ部品の特性検査を確実に行うことこと。
【解決手段】 特性検査装置５２は、チップ部品Ａに設けられたバンプ１００に向かい延びた接触端子７５を有したプローブ７３と、プローブとバンプとの重なった像を側方から撮像するカメラ８３を備え、カメラにより撮像された画像を表示するモニタ９０に表示させながら、操作スイッチ９２を操作し、接触端子７５とバンプ１００との位置を相対的に移動させる移動手段させ、移動量に基づいて、接触端子とバンプ１００とのずれを検出する。 （もっと読む）

【課題】手押し検査の際に、検査対象板の端子とプローブとのズレを防止する。
【解決手段】検査対象板を検査する検査装置である。前記検査対象板に接触して検査信号を印可するプローブユニットを備えた。このプローブユニットは、装置のフレーム側に固定されるプローブベースと、基端が当該プローブベースに支持され、先端に備えたプローブを前記検査対象板の各端子に臨ませて正確に位置決めして支持するプローブブロックと、前記検査対象板を支持してこの検査対象板のズレを防止する位置ズレ防止機構とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームのコンタクトピンの設置位置と、プローバフレームの内部配線およびコンタクトピンとＴＦＴ基板の電極との導通とを同時に検査し、コンタクトピンの設置位置と、プローバフレームの内部配線およびコンタクトピンとＴＦＴ基板の電極との導通とが共に良であるか、あるいは少なくとも何れか一つが不良であるかを同時に検査する。
【解決手段】ＴＦＴ基板検査装置用プローバフレームのコンタクトピンを上方に向けて載置する検査ステージと、検査ステージと対向して配置される検査用センサヘッドと、一端を検査用センサヘッドに接続し、他端を検査ステージ上に載置したＴＦＴ基板検査装置用プローバフレームの内部配線に接続し、この接続端間の導通状態を検査する検査部と、検査用センサヘッドを、検査ステージに対してＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向の３次元方向にそれぞれ独立して移動自在とする駆動機構を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとを位置合わせするための時間を短縮する。
【解決手段】メインチャンバー３内に設けたプローバーフレーム７にアライメント用の撮像手段８を設け、この撮像手段８によって基板上のアライメントマーク１８を撮像することによって、プローバーフレーム７と基板１０との位置関係を位置検出手段１１で直接に求め、この位置関係に基づいてステージ制御手段１２によりステージの移動を制御して、基板１０をプローバーフレーム７に対して位置合わせする。 （もっと読む）

【課題】メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を制御することによって、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとの正確な位置合わせを可能とし、基板電極とプローブピンとの接触不良を低減する。
【解決手段】メインチャンバー上に撮像手段を設置し、この撮像手段によってプローバーフレーム上に設けたアライメントマークを撮像することによって、メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置制御を可能とするものである。メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を制御可能とすることで、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとの正確な位置合わせを可能し、これによって、基板電極とプローブピンとの接触不良を低減する。 （もっと読む）

【課題】コンタクト位置観察用テープを用いることなくプローブピンの接触位置が確認できるプローバフレームおよびＴＦＴアレイ検査装置を提供する。
【解決手段】プローバフレーム１０のプローブピンの近傍に撮像手段を設け、撮像手段で取得した撮像画像によってプローブピンと電極との接触状態を監視し、プローブピンの接触位置を確認する。プローバフレームは、プローバフレームの枠体を構成するフレーム材と、フレーム材においてＴＦＴ基板６と対向する対向面上に、ＴＦＴ基板上に設けられた電極と接触するための複数のプローブピンからなる少なくも一つのプローブピン配列、および、少なくとも一つのプローブピン配列に並置された撮像手段を備える。撮像手段は、並置されたプローブピン配列の少なくとも一つのプローブピンを撮像し、撮像画像によって電極配列に対するプローブピン配列の位置関係の撮像画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴ液晶基板検査装置において、従来のコンタクト位置観察用テープを用いることなくプローブピンの接触位置を確認する。
【解決手段】プローブピンの接触位置の確認を、ＴＦＴ液晶基板にプローブピンを接触した後にＳＥＭ像を取得し、このＳＥＭ像中のプローブピンの位置からプローブピンの接触位置を確認する。これによってコンタクト位置観察用テープを用いることなくプローブピンの接触位置を確認する。プローブピンをＴＦＴ液晶基板に接触した後、電子線をＴＦＴ液晶基板に照射して検出器によって二次電子を検出してＳＥＭ像を取得し、取得したＳＥＭ像からプローブピンの接触位置を求め、求めた接触位置とコンタクトパッドの位置との位置関係から位置ずれ方向および位置ずれ量を求める。 （もっと読む）

【課題】所望する傾斜状態で電子デバイスの電気的特性の検査を行なうことができる電子デバイス検査装置を提供する。
【解決手段】加速度センサー等の電子デバイスを検査する電子デバイス検査装置に、電子デバイスを温度調整する温度調整手段３０、鉛直方向と直交する第１の水平方向を軸心として第１のモータ３５により回転される第１の軸部３６、第１の水平方向を軸心として回転される挟持手段２８、挟持手段２８の固定された第１の軸部３６を第２のモータ３８により任意の角度に回転させる第２の軸部３９を備える。これにより、挟持手段２８に挟持された電子デバイスを保持した治具７を、第１の軸部３６と第２の軸部３９からなる２軸により任意の方向に自由に傾斜させることができるので、温度調整手段３０で所定の温度になされた電子デバイスを所望する任意の方向に傾斜させた状態で電気的特性の検査を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アレイテスト装置と、アレイテスト装置の基板一地点位置測定方法を提供する。
【解決手段】本発明におけるアレイテスト装置は、テスト部と、テストモジュールと、位置表示部材とを含む。テスト部は、テストされる基板を支持する。テストモジュールは、少なくとも水平移動可能に配され、テスト部に配された基板の不良位置を検出する少なくとも一つのモジュレーターヘッドを備える。位置表示部材は、テスト部の水平方向の外郭にモジュレーターヘッドの移動経路上でモジュレーターヘッドと隣接して配され、基準位置マーク及び少なくとも一つの対応位置マークが形成された位置表示部材を含む。モジュレーターヘッドは、基準カメラ及び少なくとも一つの隣接カメラが配されたカメラアセンブリーを備え、位置表示部材の基準位置マークは、基準カメラによって撮像され、対応位置マークは、隣接カメラによって撮像される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アレイテスト装置と、アレイテスト装置の基板一地点位置測定方法と、カメラアセンブリーに撮像された特定位置座標測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のアレイテスト装置は、テストされる基板を支持するテスト部を備える。少なくとも一つのモジュレータヘッドは、テスト部上に隣接配置され少なくともテスト部に位置した基板の不良位置を検出する。モジュレータヘッドは、固定ブロックを備える。カメラアセンブリーは、基準カメラ及び隣接カメラが一定に配されるように、固定ブロックに結合される。座標測定用モジュレータブロックは、固定ブロックに分離可能に結合され、カメラアセンブリと基板との間に位置し、カメラアセンブリを成すカメラの焦点距離に合わせて配された位置表示部材を備える。位置表示部材は、基準カメラによって撮像される基準位置マーク及び隣接カメラに撮像される少なくとも一つの対応位置マークが形成される。 （もっと読む）