【課題】不活性ガス中の低濃度の有機溶媒の濃度を継続的に検出する方法、不活性ガス中の有機溶媒の濃度を低濃度に調整する方法、不活性ガス中の有機溶媒の濃度を継続的に検出する装置、湿式法による有機デバイスの製造方法の提供。
【解決手段】ガス検出装置で不活性ガス中の有機溶媒ガスの濃度を検出する方法であって、
前記ガス検出装置に前記有機溶媒ガスを含んだ前記不活性ガス及び酸素ガス、又は酸化性ガスを供給し、前記有機溶媒ガスの濃度を検出することを特徴とする不活性ガス中の有機溶媒ガス濃度の検出方法。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式ガスセンサの吸着期間が十分に得られて分解能の向上を図る。
【解決手段】サンプルガスの各成分を分離ガスに分離するカラム１０と、その分離ガスを低温駆動時に吸着し且つ高温駆動時に当該吸着した分離ガスを燃焼する触媒を有する吸着燃焼式ガスセンサ１１と、低温駆動と高温駆動とを交互に繰り返すように吸着燃焼式ガスセンサ１１の駆動を制御する駆動制御手段２０ａと、高温駆動時に吸着燃焼式ガスセンサ１１が出力したセンサ出力に基づいて分離ガスを分析する分析手段２０ｂと、を有し、吸着燃焼式ガスセンサ１１にサンプルガスをキャリアガスで流すガスクロマトグラフ装置において、分離ガスを任意の所定量に分割した定量ガスを周期的に吸着燃焼式ガスセンサ１１に流し且つ該定量ガスが吸着燃焼式ガスセンサ１１に停滞するように、流路におけるキャリアガスの流れを調整するキャリアガス調整手段８を有する。 （もっと読む）

【課題】ＧＣオーブン内で水素等の可燃性ガスの漏洩により爆発などの危険な事態が生じることを防止するためのシステムを提供する。
【解決手段】ガス検出システムの一例はガスクロマトグラフオーブンと、ガス検出器と、試料ガス移動デバイスと、フロー検出器とを備えている。ガス検出方法の一例は上記オーブンから試料ガスを流出させる工程と、その流量が最小値以下であるかどうかを判定する工程と、上記試料ガス中の、可燃性ガスなどの第１のガスの濃度が最大値以上であるかどうかを判定する工程とを備えている。上記流量または上記濃度がエラー状態を示すかまたは限界値から外れている場合、警報応答が開始される。上記警報応答には、上記第１のガスの上記オーブンへの流れを遮断し、安全ガスなどの第２のガスを上記オーブンに流すことが含まれていてもよい。 （もっと読む）

【課題】燻蒸庫内酸化エチレン濃度の測定を経時的にかつ正確に行う。
【解決手段】燻蒸ガスＧ中の可燃性ガスと接触して触媒燃焼を生じさせる触媒を有し，触媒燃焼による燃焼熱で電気抵抗値が変動する接触燃焼式ガスセンサＤＳを有する検知部１０と，燻蒸庫Ｃ内の燻蒸ガスＧを接触燃焼式ガスセンサＤＳへ導入する燻蒸ガス導入管２０および燻蒸ガス用電磁弁ＳＶ１〜ＳＶ３と，接触燃焼式ガスセンサＤＳへエアＡを導入するエア導入管３０およびエア用電磁弁ＳＶ４−１と，燻蒸ガス用電磁弁ＳＶ１〜ＳＶ３とエア用電磁弁ＳＶ４−１とを間欠的に作動させて所定時間のみ接触燃焼式ガスセンサＤＳへ燻蒸ガスＧを導入させて燻蒸ガスＧ中の可燃性ガスの濃度を測定させ，その後，接触燃焼式ガスセンサＤＳへエアＡを導入させてセンサＤＳ回りの燻蒸ガスＧを掃気させるという動作を間欠的に繰り返し実行させる制御部４０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 本発明では、撥水フィルタなどによって水の浸入を抑制しながらガスのみを積極的に取り込むように構成されるガス通流部の目詰まりによるガスの取込量の減少を抑制するとともに、取り込んだガスの滞留を抑制することができるガスセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】 水素センサ１は、希釈ガス中に含まれる水素を検出するガス検出素子５０と、ガス検出素子５０を収容する素子収容部３４と、素子収容部３４内に希釈ガスを取り込むガス通流部７０と、を備えて、希釈ガスが流れる出口側配管６に設けられている。そして、ガス通流部７０は、素子収容部３４の底壁３４ｃに２つ設けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明では、撥水フィルタなどによって水の浸入を抑制しながらガスのみを積極的に取り込むように構成されるガス通流部の目詰まりを抑制することができるガスセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】 水素センサ１は、希釈ガス中に含まれる水素を検出するガス検出素子５０と、ガス検出素子５０を収容する素子収容部３４と、素子収容部３４内に希釈ガスを取り込むガス通流部７０と、を備えて、希釈ガスが流れる出口側配管６に設けられている。そして、素子収容部３４が、出口側配管６の内面６ｂから突出するように設けられるとともに、ガス通流部７０が、略水平方向を向くように素子収容部３４の周壁３４ａに設けられている。 （もっと読む）