【課題】駆動源が非常停止したときにワークを落下させることなくワークを保持できるロボットハンドを提供する。
【解決手段】一対の落下防止機構４０Ｌ・４０Ｒを具備し、一対の落下防止機構４０Ｌ・４０Ｒは、ワーク１００を把持するときにワーク１００に接触する把持カム４１と、把持カム４１を回動可能に支持する回転支点ピン４２と、を備え、各把持カム４１・４１は、ワーク１００を把持するときに、一対の駆動フィンガー３０Ｌ・３０Ｒをワーク１００に近接させることにより、ワーク１００に押圧され、各把持カム４１・４１には、ワーク１００を把持している状態で、ワーク１００の自重によりワーク１００へ近接する方向Ｂ１・Ｂ２への回動力が加えられ、把持カム４１にワーク１００へ近接する方向Ｂ１・Ｂ２への回動力が加えられることにより、把持カム４１によるワーク１００に対する押圧力が増加する。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気の下で用いることができるとともに、軽量かつ簡素な構成とすることができ、搬送時におけるワークの横ずれを確実に防いで搬送速度向上にも寄与することができるワーク保持機構を提供する。
【解決手段】平板状のワークＷを水平に保持するためのワーク保持機構は、ワークＷが載せられるベース部材１と、ベース部材１の所定箇所に設けられた複数のガイド部材２とを備え、ガイド部材２は、ベース部材１に対して回転自在に支持される軸部２０と、ベース部材１にワークＷが載せられる際、このワークＷの周縁部における下面一部に当接することにより、軸部２０を支点として下方に押し下げられる当接部２１と、当接部２１が下方に押し下げられると、軸部２０を支点として上方に押し上げられることにより、ワークＷの周縁部における側面一部に対向した姿勢をとる規制部２２とを有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】高度な制御装置やセンサの必要なくしてフィンガーからのワークの滑り落ちや姿勢変化を未然に且つ確実に防止できるロボットハンドを提供する。
【解決手段】相互に対向する少なくとも二つのフィンガー４，４を有する掴み動作型のロボットハンドであって、フィンガー４，４が把持したワークＷの自重に応じてその把持力を上昇させる機能を備えている。具体的には、ワークＷに直接接触してこれを把持することになる把持面を有するグリップ爪６がフィンガー本体５に対しスライド可能となっていて、把持したワークＷの自重に応じて把持面をワークＷに押し付ける方向にグリップ爪が６スライドするようになっている。
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【課題】駆動源を必要とせず、単純な構成でシリコンウェハ等の基板を適切に把持する基板把持機構の提供。
【解決手段】開放端部において把持部材１１のそれぞれを支持するアーム部２１を有し、把持部材１１を基板１００の中心軸回りに一体的に回転させる回転機構２０と、基板１００の中心軸を中心とする環状を呈するリング８と、アーム部２１にリング８をフローティングマウントするフローティングマウント機構３１１と、一端部にリング押え３１１ｂを支持し、アーム部２１の開放端部に揺動自在に支持された揺動部材３１２を有し、リング８に発生する慣性力を、把持部材１１の回転を開始又は停止する際に揺動部材３１２の他端部を基板１００の端縁から中心軸に向かう方向に揺動させる揺動力に変換する伝達機構３１と、を備える。 （もっと読む）