【課題】大径のワークを正確に効率良く破損等の不具合を生じることなく切断することができるワイヤーソーによるワークの切断方法を提供する。
【解決手段】ワークの切断の際には、ソーワイヤ１は、噛み合い部分Ｍの両端である入出部Ａにおいて、砥粒スラリー６の砥液面の上方に位置しており、入出部Ａにおいて砥粒スラリー６内に浸漬されていない。また、砥粒スラリー６の砥液面がソーワイヤの入出部Ａと、ソーワイヤ１のワーク押し付け方向に向かって最も変位している最大撓み部Ｂとの間に位置するように、ソーワイヤ１及びワークＷは砥粒スラリー６内に浸漬されている。さらに、各ノズル４ｒ，４ｌは、ソーワイヤ１の入出部Ａの外側に砥粒スラリー６が供給される被噴射位置Ｐが位置するように位置している。 （もっと読む）

【課題】 Ｒｘ０．０１μｍ、Ｒｙ０．１０μｍ前後の鏡面を有する長さが５〜１０ｍのＴ−ダイを製作加工する。
【解決手段】 平面研削装置の機枠６の前後に取り付けた一対のワーク表面クーラント液供給管２０ａ，２０ｂよりクーラント液を常時ワークｗを固定する磁気チャック１３表面に供給して磁気チャック表面全域にクーラント液膜を形成させてワーク全域温度を一定に保ち、ダイヤモンド砥石車３による２ステージ以上の研削加工を行う。 （もっと読む）

【課題】 長さが５〜１０ｍのＴ−ダイを真直度１．０μｍ以下の精度に加工したい。
【解決手段】 平面研削装置の機枠６の前後に取り付けた一対のワーク表面クーラント液供給管２０ａ，２０ｂよりクーラント液を常時ワークｗ表面に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させてワーク全域温度を一定に保ち、砥石車３による研削加工を行う。 （もっと読む）

【課題】低コストでしかも高精度な内面を有する筒状金型の製造方法を提供する。
【解決手段】筒状金型を形成するに際し、鋳鉄製パイプ８の内面８ｂを機械加工したあと、鋳鉄製パイプ８の内面８ｂにメッキを施し、その後、研削加工する。 （もっと読む）

【課題】良好な円盤状基板の内周研磨に加え、研磨剤による軸受の摩耗等をより抑制した研磨装置を提供する。
【解決手段】円盤状基板の内周面を研磨する研磨装置７０において、研磨液が入れられる液槽７３と、軸方向に沿って中心に開孔を有する円盤状基板が複数枚装着され、装着孔を備えた基板ホルダ５０と、円盤状基板の開孔に挿入され開孔を研磨するブラシ６０と、液槽７３の外部に設けられ、ブラシ６０の一端と他端とが各々固着される固着部が互いに水平方向に同軸的に離間した位置に設けられた第１の回転軸７１および第２の回転軸７２と、この第１の回転軸７１および第２の回転軸７２を回転させる駆動手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 小径の金型や光学レンズなどの凹面の研削においても、砥石の成形作業の効率化をはかり、良好に研削加工することができる研削方法および研削装置を提供する。
【解決手段】 研削装置に取り付けられた研削用のワーク１と工具４の砥石部３をカバー５で覆い、そのカバー５の一部に取り付けられた超音波振動素子９によってカバー５内の研削液に振動エネルギーを与える。カバー５内に研削液を流入させるための研削液供給管８を設ける。とくに、研削液をカバー５内で循環させながらワーク１を研削する。 （もっと読む）

【課題】エッジ研磨時にデバイス面に薬液やスラリーが飛散することがなく、被処理基板の移動を少なくして処理効率を上げるとともに小型で安価に実現できるベベル処理方法及びベベル処理装置を提供すること。
【解決手段】被処理基板Ｗのベベル部を含むエッジ部を研磨するベベル処理部７を用いたベベル処理方法において、ベベル処理部７によりエッジ部の一部を覆い、エッジ部を覆った状態で被処理基板Ｗを１周又は複数周回転させてベベル処理部７で覆われたエッジ部に洗浄液を供給してエッジ部を研磨するとともに、エッジ部の外周縁に沿った比較的長い流路を形成してエッジ部を洗浄した後に、使用済み洗浄液及び研磨で被処理基板Ｗから離脱したカス等の種々の物質を吸引・排出することにより、研磨されたエッジ部がベベル処理部７から抜け出る際にエッジ部が乾燥状態となるように処理する。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面１ａを細かな面粗度に加工でき、且つ作業環境に優れた研削方法を提供する。
【解決手段】本発明の研削方法は、ワーク表面１ａおよびその表面に接触する砥石面２ａが冷却液中に浸漬された状態で実施されるので、冷却効果が高い。また、砥石２には、砥石面２ａの周縁部から径方向中心部に向かってテーパ状に凹む窪みが形成され、砥石面２ａの周縁部のみがワーク表面１ａに接触している。これにより、ワーク１と砥石２との接触面積が小さくなるため、研削加工時の発熱量を少なくできる。
また、加工中の砥石２は、窪みの一部がワーク１の外周より径方向外側に覗いた状態で砥石面２ａがワーク表面１ａに接触しており、そのワーク１の外側に覗く窪みに向けて、ノズル６ｂから噴流が供給されるため、研削時に発生した切屑を冷却液中に排出でき、切屑による砥石２の目詰まりを防止できる。 （もっと読む）