【課題】ディスクカッタに噴射される水の使用量を抑制する。
【解決手段】この携帯用切断機１０は、エンジン等の駆動源によりディスクカッタ２８を駆動して被削材の切断作業を行うために使用される。ディスクカッタ２８にはノズル３７から水が噴射され、ディスクカッタ２８が冷却されるとともに粉塵の発生が抑制される。ディスクカッタ２８が被削材に接触すると、歪みゲージ５３ａ，５３ｂからの信号により接触状態が判定されてノズル３７から水が噴射され、接触しなくなるとノズル３７に対する水の供給が停止される。 （もっと読む）

【課題】加工を妨げることなく作業者に水がかかることを防止した防水シート、該防水シートを装着した注水式電動工具を提供する。
【解決手段】ハウジング２０の下方へ突出させたスピンドル２１に円盤状の研磨工具２６を装着すると共に、ハウジングの下端部に、円盤状の研磨工具の少なくとも後半部を上方から覆う保護カバー３０の上端に設けた筒状部３１を装着して、保護カバーの内部への注水機構４１、４２、４３を具備してなる注水サンダ１に用いられて、弾性材料からなる防水シート５０であって、前端に、保護カバーの筒状部に着脱可能な装着部を有し、装着部を筒状部に装着した平面視で保護カバーよりも後方へ突出する長さを有する。 （もっと読む）

【課題】基板のデバイス領域に研磨屑が付着することを防止して、歩留まりを向上させることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨装置は、基板Ｗをその表面（デバイスが形成されている面）が下を向くように真空吸着などにより保持し、基板Ｗを回転させる基板保持機構３と、基板保持機構３に保持された基板Ｗの周縁部に研磨具２３を押圧する研磨機構３０とを備える。基板Ｗを回転させることにより基板Ｗの周縁部と研磨具２３とが摺接し、これにより基板Ｗの周縁部が研磨具２３によって研磨される。使用される研磨具としては、研磨テープや固定砥粒が挙げられる。 （もっと読む）